驱动电路、角速度检测装置、电子设备以及移动体制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够使驱动信号的抖动减少的驱动电路、角速度检测装置、电子设备以及移动体。驱动电路包括：第一转换部，其具有第一运算放大器和第一电容，并且将从角速度检测元件的第一电极输出且向所述第一运算放大器输入的第一信号蓄积在所述第一电容中而转换为电压；第一相位调节部，其根据所述第一转换部的输出信号而对驱动所述角速度检测元件的驱动信号的相位进行调节，并且对所述驱动信号的频带进行限制；以及驱动信号生成部，其根据所述第一相位调节部的输出信号而生成所述驱动信号。

Driving circuit, angular speed detecting device, electronic device and moving body

The invention provides a driving circuit, an angular speed detecting device, an electronic device and a moving body which can reduce the jitter of a driving signal. The driving circuit includes a first conversion portion having a first operational amplifier and a first capacitor, and the output from the first electrode of the angular velocity detecting element and a first signal to the first operational amplifier input stored in the first capacitor and converted to voltage; the first phase of the adjustment, according to the output signal of the first the conversion part and phase driving signals for driving the angular velocity detecting element is adjusted, and the driving signal frequency limit; and the drive signal generating unit according to the output signal of the first phase adjustment part and generates the driving signal.

【技术实现步骤摘要】
驱动电路、角速度检测装置、电子设备以及移动体
本专利技术涉及一种驱动电路、角速度检测装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
搭载角速度检测装置(陀螺传感器)并根据所检测出的角速度而实施预定的控制的各种电子设备或系统被广泛使用。在专利文献1中公开有一种具备驱动电路的角速度检测装置，其中，所述驱动电路通过I/V转换电路而对从以水晶为材料的传感器元件输出的电流进行接收并转换为电压信号，并以使该电压信号的振幅成为固定的方式而对驱动传感器元件的驱动信号的振幅进行调节。然而，近年来，开发出一种使用硅MEMS(MicroElectroMechanicalSystem，微机电系统)技术而对角速度进行检测的角速度检测装置。在使用了硅MEMS技术的角速度检测装置中，由于无需像专利文献1所记载的角速度检测装置那样对水晶进行加工而形成传感器元件，因此，具有能够以更低的成本实现的优点。但是，在使用了硅MEMS技术的角速度检测装置中，由于从传感器元件输出的电流(检测信号)与从如专利文献1所记载的以水晶为材料的传感器元件输出的电流相比较非常地小，因此当通过专利文献1所记载的I/V转换电路而对该非常小的电流进行接收时，无法充分地放大，从而所转换的电压信号的S/N将降低，驱动信号的抖动将增加。这样一来，由于向角速度检测电路中所包含的同步检波电路输入的参照信号是根据驱动信号生成的，因此，其结果导致角速度检测装置的检测精度降低。专利文献1：日本特开2014-197010号公报
技术实现思路
本专利技术鉴于以上的问题点而被完成，根据本专利技术的数个方式，能够提供一种可使驱动信号的抖动减少的驱动电路。此外，根据本专利技术的数个方式，能够提供一种可使角速度的检测精度提高的角速度检测装置。此外，根据本专利技术的数个方式，能够提供一种使用了该角速度检测装置的电子设备以及移动体。本专利技术为了解决前文所述的问题的至少一部分而被完成，其能够作为以下的方式或者应用例而实现。应用例1本应用例所涉及的驱动电路包括：第一转换部，其具有第一运算放大器和第一电容，并且将从角速度检测元件的第一电极输出且向所述第一运算放大器输入的第一信号蓄积在所述第一电容中而转换为电压；第一相位调节部，其根据所述第一转换部的输出信号而对驱动所述角速度检测元件的驱动信号的相位进行调节，并且对所述驱动信号的频带进行限制；以及驱动信号生成部，其根据所述第一相位调节部的输出信号而生成所述驱动信号。在本应用例所涉及的驱动电路中，由于第一转换部并非通过使第一信号流经电阻而转换为电压，而是将第一信号蓄积在第一电容中而转换为电压，因此，即使第一信号较小也能够充分地放大。由于在该第一转换部中被充分放大的信号相对于第一信号而相位超前，因此，在第一相位调节部中，实施相位调节而满足振荡条件，并且对频带进行限制而使噪声成分衰减，从而使S/N提高。并且，由于驱动信号生成部根据提高了S/N的第一相位调节部的输出信号而生成对角速度检测元件进行驱动的驱动信号，因此，能够使驱动信号的抖动减少。应用例2在上述应用例所涉及的驱动电路中，也可以采用如下方式，即，所述第一相位调节部包括用于对所述驱动信号的相位进行调节的第一移相电路和用于对所述驱动信号的频带进行限制的第一滤波器。根据本应用例所涉及的驱动电路，由于能够独立地进行由第一移相电路实施的驱动信号的相位调节和由第一滤波器实施的驱动信号的频带的限制，因此电路设计容易，并易于实现电路面积的减小以及激振动作的稳定。应用例3在上述应用例所涉及的驱动电路中，也可以采用如下方式，即，所述第一移相电路为全通滤波器。根据本应用例所涉及的驱动电路，由于第一转换部的输出信号即便经过第一移相电路，振幅也不会衰减，因此能够维持较高的S/N。应用例4在上述应用例所涉及的驱动电路中，也可以采用如下方式，即，所述第一滤波器为低通滤波器。根据本应用例所涉及的驱动电路，由于第一转换部的输出信号通过从第一滤波器经过而使高频噪声衰减，因此能够使S/N提高。应用例5在上述应用例所涉及的驱动电路中，也可以采用如下方式，即，所述第一滤波器被设置在与所述第一移相电路相比靠后级。根据本应用例所涉及的驱动电路，即使第一转换部的输出信号在经过第一移相电路时，重叠有在第一移相电路中所产生的噪声，该噪声也会通过第一滤波器而衰减，因此能够使S/N提高。应用例6上述应用例所涉及的驱动电路也可以采用如下方式，即，包括：第二转换部，其具有第二运算放大器和第二电容，并且将从所述角速度检测元件的第二电极输出且向所述第二运算放大器输入的第二信号蓄积在所述第二电容中而转换为电压；和第二相位调节部，其根据所述第二转换部的输出信号而对所述驱动信号的相位进行调节，并且对所述驱动信号的频带进行限制，所述驱动信号生成部根据所述第一相位调节部的输出信号以及所述第二相位调节部的输出信号而生成所述驱动信号。在本应用例所涉及的驱动电路中，由于第一转换部将第一信号蓄积在第一电容中而转换为电压，第二转换部将第二信号蓄积在第二电容中而转换为电压，因此，即使第一信号以及第二信号较小也能够充分地放大。由于在该第一转换部中被充分放大的信号相对于第一信号而相位超前，因此，在第一相位调节部中，实施相位调节而满足激振条件，并且对频带进行限制而使噪声成分衰减，从而使S/N提高。同样地，由于在第二转换部中被充分放大的信号相对于第二信号而相位超前，因此在第二相位调节部中，实施相位调节而满足激振条件，并且对频带进行限制而使噪声成分衰减，从而使S/N提高。并且，由于驱动信号生成部根据提高了S/N的第一相位调节部的输出信号以及第二相位调节部的输出信号而生成对角速度检测元件进行驱动的驱动信号，因此能够使驱动信号的抖动减少。所述第二相位调节部可以包括用于对所述驱动信号的相位进行调节的第二移相电路和用于对所述驱动信号的频带进行限制的第二滤波器。所述第二移相电路可以为全通滤波器。所述第二滤波器也可以为低通滤波器。所述第二滤波器也可以被设置在与所述第二移相电路相比靠后级。应用例7在上述应用例所涉及的驱动电路中，也可以采用如下方式，即，所述驱动信号生成部具有：比较器，其对所述第一相位调节部的输出信号的电压和所述第二相位调节部的输出信号的电压进行比较；以及电平转换电路，其对所述比较器的输出信号的电压电平进行转换并生成所述驱动信号。应用例8本应用例所涉及的角速度检测装置具备：上述的任一驱动电路；角速度检测电路，其对从所述角速度检测元件输出的检测信号进行接收，并生成角速度信号；以及所述角速度检测元件。根据本应用例所涉及的角速度检测装置，由于具备能够使驱动信号的抖动减少的驱动电路，因此能够提高角速度的检测精度。应用例9本应用例所涉及的电子设备具备上述的角速度检测装置。应用例10本应用例所涉及的移动体具备上述的角速度检测装置。根据这些应用例，由于具备能够使角速度的检测精度提高的角速度检测装置，因此，例如也可以实现能够以更高的精度来进行基于角速度的变化的处理的电子设备以及移动体。附图说明图1为示意地表示角速度检测元件的俯视图。图2为示意地表示角速度检测元件的剖视图。图3为用于对角速度检测元件的动作进行说明的图。图4为用于对角速度检测元件的动作进行说明的图。图5为用于对角速度检测元件的动作进行说明的图。图6为用于对角速度检测元件的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动电路，包括：第一转换部，其具有第一运算放大器和第一电容，并且将从角速度检测元件的第一电极输出且向所述第一运算放大器输入的第一信号蓄积在所述第一电容中而转换为电压；第一相位调节部，其根据所述第一转换部的输出信号而对驱动所述角速度检测元件的驱动信号的相位进行调节，并且对所述驱动信号的频带进行限制；以及驱动信号生成部，其根据所述第一相位调节部的输出信号而生成所述驱动信号。

【技术特征摘要】
2016.03.04 JP 2016-0423481.一种驱动电路，包括：第一转换部，其具有第一运算放大器和第一电容，并且将从角速度检测元件的第一电极输出且向所述第一运算放大器输入的第一信号蓄积在所述第一电容中而转换为电压；第一相位调节部，其根据所述第一转换部的输出信号而对驱动所述角速度检测元件的驱动信号的相位进行调节，并且对所述驱动信号的频带进行限制；以及驱动信号生成部，其根据所述第一相位调节部的输出信号而生成所述驱动信号。2.如权利要求1所述的驱动电路，其中，所述第一相位调节部包括用于对所述驱动信号的相位进行调节的第一移相电路和用于对所述驱动信号的频带进行限制的第一滤波器。3.如权利要求2所述的驱动电路，其中，所述第一移相电路为全通滤波器。4.如权利要求2所述的驱动电路，其中，所述第一滤波器为低通滤波器。5.如权利要求2所述的驱动电路，其中，所述第一滤波器被设置在与所述第一移相电路相比靠后级。6.如权利要求1所述的驱动电路...

【专利技术属性】
技术研发人员：金本啓，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP