The invention provides a nitrogen oxide gas sensor preparation method, the metal indium is added to dilute nitric acid, heating, adding ammonia, filtered, washed and dried, the In (OH) 3 to stir in glacial acetic acid, and deionized water, heating, adding ethanol In2O3, ultrasound, nanocrystalline, heating ethanol solution adding TEOS, then the gel is baked at 120 DEG C after calcination at 500 DEG C, cooling after grinding, In2O3 doped SiO2 nanocrystals; the SiO2 doped In2O3 nanocrystals, carboxymethyl cellulose is added to terpineol in grinding, coating on the gas sensing device, drying after aging, i.e.. The sensor has a linear response to NO2 in 1 30ppm concentration range, wide linear range.
【技术实现步骤摘要】
一种含氮氧化物气体传感器的制备方法
本专利技术属于金属氧化物半导体气体传感器
，具体涉及一种含氮氧化物气体传感器的制备方法。
技术介绍
大气污染是日益严重的世界性问题，含氮氧化物（NOx：NO和NO2）是典型的大气污染物，可引起酸雨，光化学雾等。NO在空气中能自动氧化成NO2，因此，空气中的含氮氧化物主要是指NO2。空气中的二氧化氮主要来自汽车和炼油厂燃烧产生的废气，对呼吸道有强烈的刺激作用，严重时造成肺损害甚至肺水肿。因此对NO2的监测也越来越受到关注。如前所述，用于NO2监测的仪器主要有基于光学方法如Saltzman法、化学发光法的分析仪器。这些仪器虽然能够给出精确的分析数据，但是他们多为大型分析仪器，运行成本高且需要日常维护，不适合室外监测。为了满足在位、实时检测的需要，最有前途的办法是使用气体传感器监测NO2，金属氧化物半导体气体传感器具有体积小、成体低廉等特点，能够简便地监测空气中的NO2，易实现仪器的自动化和微型化。
技术实现思路
解决的技术问题：本专利技术的目的是提供一种含氮氧化物气体传感器的制备方法，所得传感器具有优异的响应恢复性能。技术方案：一...
【技术保护点】
一种含氮氧化物气体传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1，将金属铟1g加至稀硝酸50‑100mL中，加热至30‑40℃，保温30‑40min，滴加氨水20‑40mL，过滤，洗净并干燥，得到In(OH)3沉淀；步骤2，将步骤1所得In(OH)3加至冰醋酸50‑100mL中，搅拌，加入去离子水30‑50mL，加热至30‑40℃，保温30‑40min，滴加乙醇30‑50mL，超声，得到In2O3纳米晶；步骤3，将正硅酸乙酯的乙醇溶液5‑10mL滴加至步骤2所得In2O3纳米晶中，加热至40‑50℃，保温3‑4h，得凝胶；步骤4，将步骤3所得凝胶在120℃下烘焙后在50...
【技术特征摘要】
1.一种含氮氧化物气体传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1，将金属铟1g加至稀硝酸50-100mL中，加热至30-40℃，保温30-40min，滴加氨水20-40mL，过滤，洗净并干燥，得到In(OH)3沉淀；步骤2，将步骤1所得In(OH)3加至冰醋酸50-100mL中，搅拌，加入去离子水30-50mL，加热至30-40℃，保温30-40min，滴加乙醇30-50mL，超声，得到In2O3纳米晶；步骤3，将正硅酸乙酯的乙醇溶液5-10mL滴加至步骤2所得In2O3纳米晶中，加热至40-50℃，保温3-4h，得凝胶；步骤4，将步骤3所得凝胶在120℃下烘焙后在500℃下灼烧，冷却后研磨，得到掺杂SiO2的In2O3纳米晶；步骤5，将掺杂SiO2的In2O3纳米晶0.5-1g...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪洋，李训红，汪雪婷，
申请(专利权)人：江苏时瑞电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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