一种共聚焦激光测量方法技术

本发明专利技术公开了一种共聚焦激光测量方法，光束沿着球头接触面半径从内向外、按照不同半径的同心圆等步长测量，获得一组数据：（x,y,depth），画出三维模拟图。本发明专利技术的有益效果是：利用共聚焦点模拟测量球头形状，采用球面等高线分层扫描的方式，形成与标准测量球头一致的形状对工件表面测量，形成与标准测量球头完全一致的测量接触面，其测量方法能够应用于非光滑表面，并在基准溯源的标准下实现测量数据的一致。

A confocal laser measurement method

The invention discloses a confocal laser measurement method, the beam radius ball contact surface from the inside out, according to the different radius of concentric circle step measurement, obtain a set of data: (x, y, depth), draw a three-dimensional simulation map. The invention has the advantages that the simulation measure ball shape by using CO focus, using the spherical contour scanning mode, the formation and standard measure ball shape consistent on the workpiece surface measurement, measurement and measurement standard form contact ball head completely consistent, the measuring method can be applied to non smooth surface, and achieve the measurement the consistency of data in the reference traceable standards.

【技术实现步骤摘要】
一种共聚焦激光测量方法
本专利技术涉及共聚焦激光测量
，特别是一种共聚焦激光测量方法。
技术介绍
现有共聚焦技术仅能应用于光滑表面，而在非光滑表面应用时测量数据在与溯源基准静态比较时数据不等，因此，带来基准溯源误差。其主要原因是非光滑表面的粗糙度的影响，光斑直径太小，而基准球头较大，在表面不光滑的情况下，两者数据形成差异。传统探针是一个球头，通常0.5-3mm不等，在测量时接触面远远大于共聚焦光点，在非光滑表面的测量时，由于球头接触的点为表面峰值的集合，共聚焦测量光点在U级，常常测量时会在表面的峰值和谷底。在两种测量对比时，产生误差。因此，在以球头探针计量溯源时无法同一。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种能够应用于非光滑表面并在基准溯源的标准下实现测量数据的一致共聚焦激光测量方法。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：一种共聚焦激光测量方法，光束沿着球头接触面半径从内向外、按照不同半径的同心圆等步长测量，获得一组数据：(x,y,depth)，画出三维模拟图。进一步的，所述的光束沿着球头接触面半径从内向外，按照不同半径的同心圆等步长测量，获得一组数据：本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种共聚焦激光测量方法，其特征在于：光束沿着球头接触面半径从内向外、按照不同半径的同心圆等步长测量，获得一组数据：(x,y,depth)，画出三维模拟图。

【技术特征摘要】
1.一种共聚焦激光测量方法，其特征在于：光束沿着球头接触面半径从内向外、按照不同半径的同心圆等步长测量，获得一组数据：(x,y,depth)，画出三维模拟图。2.根据权利要求1所述的一种共聚焦激光测量方法，其特征在于：所述的光束沿着球头接触面半径从内向外，按照不同半径的同心圆等步长测量，获得一组数据：(x,y,depth)的具体操作步骤为：S1、设同心圆半径r的值域范围为[0,r]，原点坐标(x,y)设为(0，0)，采样步长为step；S2、计算所有的采样半径列表radius；S3、添加原点至采样列表Pos；S4、循环每个采样半径：计算采样步数：steps，计算旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓岗，吕守涛，李凯，谢永强，
申请(专利权)人：成都茵普精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51