The invention discloses a transmission shaft for laser scribing machine, according to the weight ratio of 30, including 10 nickel chrome 1 3 copies, 2 copies, 1 copper SC 4 5 copies, 6 copies, 3 manganese aluminum 1 2 copies, 1.5 copies and 0.5 se Ti 50 70, through powder metallurgy process and annealing to obtain high strength, friction resistance, good oxidation resistance, the use of driving wheel long period, so as to reduce the production cost.
【技术实现步骤摘要】
一种用于激光划片机的传动轴
本专利技术涉及微电子机械
,尤其涉及一种用于激光划片机的传动轴。
技术介绍
在半导体集成电路的应用中,晶元是最关键的技术,因而激光划片机被广泛使用到晶元切割的技术中,其中工业用激光划片机最为广泛使用,工业用激光划片机一般包括激光头以及驱动该激光头移动的驱动装置,所述驱动装置包括传动轴,所以对传动轴的性能要求比较高,但是现有技术中的划片机的传动轴并没有很好的耐摩擦、耐热抗氧化性能,导致传动轴的使用寿命很短,划片机使用一段时间就得更换传动轴,从而增加了生产成本。
技术实现思路
为克服上述缺点,本专利技术的目的在于提一种用于激光划片机的传动轴,其传动轴强度高、耐摩擦、抗氧化性能好,使用周期长,降低生产成本。为了达到以上目的,本专利技术采用的技术方案是:一种用于激光划片机的传动轴,按照重量份比例包括镍10-30份、铬1-3份、铜1-2份、钪4-5份、锰3-6份、铝1-2份、硒0.5-1.5份和钛50-70份。进一步地,按照重量份比例包括镍20份、铬2份、铜1.5份、钪4.5份、锰4份、铝1份、硒1份和钛66份。进一步地,按照重量份比例包括镍15份、铬2.5份、铜2份、钪4份、锰4.5份、铝2份、硒1份和钛69份。进一步地,按照重量份比例包括镍25份、铬1.5份、铜1份、钪5份、锰5份、铝2份、硒1.5份和钛59份。进一步地,所述一种用于激光划片机的传动轴的生产方法,包括以下步骤:1)采用高压氮气雾化法得到合金粉末进行模压,在5-7kPa压力下冷等静压制,时间为1.5-3.5h;2)冷等静压坯在1000-1300℃下挤压成型;3)将步骤 ...
【技术保护点】
一种用于激光划片机的传动轴,其特征在于:按照重量份比例包括镍10‑30份、铬1‑3份、铜1‑2份、钪4‑5份、锰3‑6份、铝1‑2份、硒0.5‑1.5份和钛50‑70份。
【技术特征摘要】
1.一种用于激光划片机的传动轴,其特征在于:按照重量份比例包括镍10-30份、铬1-3份、铜1-2份、钪4-5份、锰3-6份、铝1-2份、硒0.5-1.5份和钛50-70份。2.根据权利要求1所述的一种用于激光划片机的传动轴,其特征在于:镍20份、铬2份、铜1.5份、钪4.5份、锰4份、铝1份、硒1份和钛66份。3.根据权利要求1所述的一种用于激光划片机的传动轴,其特征在于:按照重量份比例包括镍15份、铬2.5份、铜2份、钪4份、锰4.5份、铝2份、硒1份和钛69份。4.根据权利要求1所述的一种用于激光划片机的传动轴,其特征在于:按照重量份比例包括镍25份、铬1.5份、铜1份、钪5份、锰5份、铝2份、硒1.5份和钛59份。5.根据权利要求1所述的一种用于激光划片机的传动轴...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭勇,张展嘉,
申请(专利权)人:苏州光宝科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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