一种阵列基板、显示面板以及电子设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种阵列基板、显示面板以及电子设备，阵列基板包括：透明基板；设置在透明基板上的多个阵列排布的像素单元，像素单元包括薄膜晶体管，薄膜晶体管包括：栅极、源极、漏极以及有源区；同一行像素单元中，相邻薄膜晶体管的有源区之间具有第一绝缘氧化结构，第一绝缘氧化结构由与有源区同层的半导体层氧化制成。本实用新型专利技术通过隔离氧化的方法图案化半导体层，形成薄膜晶体管的有源区，可以形成线宽更小的绝缘氧化结构图案化半导体层，且绝缘隔离效果更好，不会出现短路问题。而相对于传统工艺的通过刻蚀方式图案化半导体层，在像素单元密度较大时，相邻像素单元之间的薄膜晶体管容易发生短路问题。

【技术实现步骤摘要】
一种阵列基板、显示面板以及电子设备
本技术涉及显示装置
，更具体地说，涉及一种阵列基板、显示面板以及电子设备。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，越来越多的具有显示功能的电子设备广泛的应用于人们人日常生活以及工作当中，为人们的日常生活以及工作带来了巨大的便利，成为当今人们不可或缺的重要工具。显示面板是电子设备实现显示功能的重要部件。以液晶显示面板为例，一般包括：相对设置的阵列基板以及彩膜基板；设置在阵列基板与彩膜基板之间的液晶层。阵列基板具有多个阵列排布的像素单元、多条栅极线以及多条数据线，其中，像素单元具有薄膜晶体管。薄膜晶体管具有栅极、有源区、源极以及漏极，其中，有源区为半导体层。随着电子设备分辨率的不断提高，显示面板中单位面积内像素单元的个数越来越多，这会导致同一行像素单元中相邻薄膜晶体管之间的间距越来越小，现有技术中同一行像素单元中相邻薄膜晶体管的有源区之间容易发生短路问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种阵列基板、显示面板以及电子设备，解决了同一行像素单元中相邻薄膜晶体管的有源区之间短路的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种显示面板的阵列基板，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板的阵列基板，其特征在于，包括：透明基板；设置在所述透明基板上的多个阵列排布的像素单元，所述像素单元包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：栅极、源极、漏极以及有源区；其中，同一行所述像素单元中，相邻所述薄膜晶体管的有源区之间具有第一绝缘氧化结构，所述第一绝缘氧化结构由与所述有源区同层的半导体层氧化制成。

【技术特征摘要】
1.一种显示面板的阵列基板，其特征在于，包括：透明基板；设置在所述透明基板上的多个阵列排布的像素单元，所述像素单元包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：栅极、源极、漏极以及有源区；其中，同一行所述像素单元中，相邻所述薄膜晶体管的有源区之间具有第一绝缘氧化结构，所述第一绝缘氧化结构由与所述有源区同层的半导体层氧化制成。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述半导体层包括多条平行且间隔设置的条状区域，所述条状区域沿第一方向延伸，所述第一方向平行于所述透明基板；其中，每一个所述条状区域用于形成一行所述像素单元的薄膜晶体管的有源区。3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，同一所述薄膜晶体管中，所述有源区包括：第一部分以及第二部分；所述第一部分通过过孔与所述源极连接；所述第二部分通过过孔与所述漏极连接。4.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述透明基板设置有多条平行且间隔分布的栅极线；和多条平行且间隔分布的数据线；所述栅极线沿所述第一方向延伸，所述数据线沿第二方向延伸，所述栅极线和所述数据线绝缘交叉形成多个与所述像素单元一一对应的像素区域，每个像素区域设置有一个所述像素单元；所述第一方向与所述第二方向垂直，且均平行于所述透明基板；所述有源区还包括第三部分，同一所述薄膜晶体管中，所述第一部分与所述第二部分在所述第一方向上相对设置，所述第三部分连接所述第一部分以及所述第二部分，所述第一部分与所述第二部分之间具有第二绝缘氧化结构，所述第二绝缘氧化结构由与所述有源区同层的半导体层氧化制成。5.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，所述半导体层远离所述透明基板一侧具有第一绝缘层，所述第一绝缘层具有多个第一开口和多个第二开口；其中，在垂直于所述透明基板的方向上，所述第一开口与所述第一绝缘氧化结构一一相对设置，所述第二开口与所述第二绝缘氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘婵，张磊，
申请(专利权)人：厦门天马微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35