太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备制造技术

本发明专利技术涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备。太阳能电池镀膜设备包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；传输装置用于将载板依次传输至预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；预热腔室的出口与氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，第一隔离机构用于使预热腔室与氧化腔室连通或断开；氧化腔室的出口与镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，第二隔离机构用于使氧化腔室与镀膜腔室连通或断开。本发明专利技术能够在一个设备中连续对硅片进行镀膜，无需对硅片反复上料和下料，从而降低了硅片的污染程度和破碎率。

Solar cell coating equipment and solar cell chain production equipment

The invention relates to the technical field of solar cell production, in particular to a solar cell coating device and a solar cell chain production equipment. Solar cell coating equipment including transmission device, a preheating chamber, oxidation chamber and coating chamber; transmission device for the carrier plate sequentially transmitted to the preheating chamber, oxidation chamber and a coating chamber; a first closed chamber is arranged between the import and export of the preheating chamber and oxidation chamber, inside the first closed chamber is provided with a first isolation mechanism, the first the isolation mechanism for preheating chamber and oxidation chamber connected or disconnected; provided with second cavity between import export and oxidation coating chamber chamber, second closed chamber is arranged inside the second isolation mechanism, second isolation mechanism for the oxidation chamber and the coating chamber is connected or disconnected. The invention can continuously coating the silicon wafer in a device without repeatedly feeding and cutting the silicon wafer, thereby reducing the pollution degree and the crushing rate of the silicon wafer.

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备
本专利技术涉及太阳能电池生产
，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备。
技术介绍
在太阳能电池生产过程中，氧化硅钝化层和非晶硅镀膜层的形成对于提升电池转化效率起着至关重要的作用。目前，传统的生产工艺是分两步进行，首先在700-900℃管式火炉里通入氧气，在晶硅片表面慢慢生长出氧化硅钝化层，然后再将晶硅片从管式火炉转移到另一个化学气相沉积腔室中进行沉积非晶硅镀膜层。在将晶硅片在两个设备之间转移的过程中，需要对晶硅片多次上料和下料，操作繁琐，不仅增加了晶硅片的污染程度和破碎率，同时也导致生产效率下降，制造成本升高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种太阳能电池镀膜设备，以解决在现有镀膜过程中由于需要对晶硅片多次上料和下料而导致的晶硅片的污染程度和破碎率高、生产效率低的技术问题。本专利技术的目的还在于提供一种太阳能电池链式生产设备，以解决现有的太阳能电池生产设备存在的由于需要对晶硅片多次上料和下料而导致的晶硅片的污染程度和破碎率高、生产效率低技术问题。基于上述第一目的，本专利技术提供了一种太阳能电池镀膜设备，包括传输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于：包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；所述传输装置用于将载板依次传输至所述预热腔室、所述氧化腔室和所述镀膜腔室；所述预热腔室的出口与所述氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，所述第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，所述第一隔离机构用于使所述预热腔室与所述氧化腔室连通或断开；所述氧化腔室的出口与所述镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，所述第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，所述第二隔离机构用于使所述氧化腔室与所述镀膜腔室连通或断开。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于：包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；所述传输装置用于将载板依次传输至所述预热腔室、所述氧化腔室和所述镀膜腔室；所述预热腔室的出口与所述氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，所述第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，所述第一隔离机构用于使所述预热腔室与所述氧化腔室连通或断开；所述氧化腔室的出口与所述镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，所述第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，所述第二隔离机构用于使所述氧化腔室与所述镀膜腔室连通或断开。2.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述第一隔离机构和所述第二隔离机构均为阀门。3.根据权利要求2所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述阀门为真空闸阀。4.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述第一隔离机构为第一隔板，所述第二隔离机构为第二隔板；所述第一封闭腔室的内部设置有第一伸缩装置，所述第一伸缩装置用于使所述第一隔板打开或关闭；所述第二封闭腔室的内部设置有第二伸缩装置，所述第二伸缩装置用于使所述第二隔板打开或关闭。5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：上官泉元，庄正军，朱广东，侯岳明，杨玉杰，
申请(专利权)人：常州比太科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32