树脂组合物和板状被加工物的固定方法技术

本发明专利技术提供树脂组合物和使用树脂组合物的板状被加工物的固定方法，所述树脂组合物能够将固定板状被加工物时在内部产生的应力抑制地较低，且能够维持较高的生产率。本实施方式的树脂组合物(15)为固定板状被加工物(11)的树脂组合物，其构成为在由(甲基)丙烯酸酯和增塑剂或反应性稀释剂构成的组合物中含有光聚合引发剂。在第1方式的树脂组合物中，组合物的构成含有30质量％以上45质量％以下的具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯、5质量％以上15质量％以下的不具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯、40质量％以上65质量％以下的作为酯的增塑剂。

Resin composition and method for fixing sheet shaped article

The invention provides a resin composition and method of use of fixed plate resin composition of the processed material, the resin composition can be fixed plate material to be processed when the internal stress generated by inhibition is low, and can sustain high productivity. The resin composition embodiment (15) for fixing the plate workpiece (11) of the resin composition, which has the structure in a (meth) acrylate composition containing photoinitiator and plasticizer or reactive diluent in a. In the resin composition first, composition containing 30 mass% more than 45 mass% with carbamate bond (methyl) acrylate, 5 mass% to 15 mass% or less with carbamate bond (methyl) acrylate, 40 mass% of 65 mass% or more of the following as ester plasticizer.

【技术实现步骤摘要】
树脂组合物和板状被加工物的固定方法
本专利技术涉及用于固定晶片等板状被加工物的树脂组合物和使用树脂组合物的板状被加工物的固定方法。
技术介绍
成为半导体器件(器件)的材料的晶片通常是用带锯、线锯等工具从由硅、碳化硅、氮化镓等半导体形成的晶锭中切出而得到的。如此刚切出之后的晶片(刚切割的晶片，Asslicedwafer)中存在翘曲、起伏。因此，提出了在该晶片的单面上涂布树脂并使其固化，然后对相反侧的面进行磨削，由此除去翘曲、起伏而使晶片平坦的加工方法(参照例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-148866号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题通常含有水、溶剂等液体的树脂在使液体挥发时会发生收缩。此外，用光、热进行固化的固化型树脂在固化前后，体积发生变化，从而容易发生收缩。将固化时的收缩率高的树脂用于固定晶片等板状被加工物时，由于树脂的收缩，在板状被加工物的内部会产生应力。在内部产生应力的状态下，对板状被加工物进行磨削使其平坦时，内部的应力在除去树脂时被释放，会再次出现翘曲、起伏(所谓的回弹)。为了解决该问题，使用固化时的收缩率充分低的树脂，将施加在板状被加工物的力抑制地较小即可。但是，收缩率低的树脂难以固化，不适合板状被加工物的固定。此外，至固化结束之前需要较长的时间，因此生产率也降低。本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种树脂组合物和使用树脂组合物的板状被加工物的固定方法，所述树脂组合物能够将固定板状被加工物时在内部产生的应力抑制地较低，且能够维持较高的生产率。用于解决课题的手段为了解决上述课题，实现目的，本专利技术为固定板状被加工物的树脂组合物，其特征在于，在由(甲基)丙烯酸酯和增塑剂或反应性稀释剂构成的组合物中含有光聚合引发剂。根据该构成，增塑剂或反应性稀释剂降低固化时的收缩率，由此能够实现在抑制收缩的同时能够在短时间固化的树脂组合物。因此，能够得到将固定板状被加工物时在内部产生的应力抑制地较低的树脂组合物。优选的是，树脂组合物含有30质量％以上45质量％以下的具有氨基甲酸酯键(urethanebond)的(甲基)丙烯酸酯、5质量％以上15质量％以下的不具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯、40质量％以上65质量％以下的增塑剂。增塑剂优选酯。具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯显示出高的固化性和低的收缩率，不具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯显示出高的固化性和高的收缩率，作为增塑剂的酯显示出低的收缩率。通过以适当的分量混合这样的多种材料，能够实现在抑制收缩的同时能够在短时间固化的树脂组合物。因此，能够得到将固定板状被加工物时在内部产生的应力抑制地较低的树脂组合物。优选的是，树脂组合物含有35质量％以上70质量％以下的具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯、30质量％以上65质量％以下的反应性稀释剂。反应性稀释剂优选具有单一环氧基的醚。根据这些构成，将具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯和分子内具有单一环氧基的反应性稀释剂混合而组成组合物，因此能够降低该组合物中的具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯的比率。此外，与分子内具有多个环氧基相比，反应性稀释剂在分子内具有单一环氧基，因此能够将组合物的粘性抑制地较低。通过将组合物的粘性抑制地较低、且降低组合物中的具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯的比率，能够实现在抑制收缩同时能够在短时间固化的树脂组合物，因此能够得到将固定板状被加工物时在内部产生的应力抑制地较低的树脂组合物。此外，本专利技术为使用上述树脂组合物的板状被加工物的固定方法，其特征在于，具备：树脂组合物供给步骤，向工作台(stage)与板状被加工物的第1面之间供给树脂组合物；按压步骤，实施该树脂组合物供给步骤后，从板状被加工物的第2面侧施加朝向该第1面的力，将板状被加工物向该工作台按压，从而将该树脂组合物铺展在整个该第1面上；和固化步骤，实施该按压步骤后，照射光使该树脂组合物固化。专利技术效果对于本专利技术的树脂组合物，在由(甲基)丙烯酸酯和增塑剂或反应性稀释剂构成的组合物中含有光聚合引发剂，因此，增塑剂或反应性稀释剂降低固化时的收缩率，由此能够实现在抑制收缩的同时能够在短时间固化的树脂组合物。因此，能够得到能够将固定板状被加工物时在内部产生的应力抑制地较低，且能够维持较高生产率的树脂组合物。附图说明图1为示出经本实施方式的树脂组合物固定的板状被加工物的示例的立体图。图2为示出经树脂组合物固定的板状被加工物的示例的部分截面图。图3为示出固定板状被加工物的固定装置的构成例的立体图。图4为示意性示出使用树脂组合物固定板状被加工物的固定方法的第1步骤的局部截面侧视图。图5为示意性示出使用树脂组合物固定板状被加工物的固定方法的第2步骤的局部截面侧视图。图6为示意性示出使用树脂组合物固定板状被加工物的固定方法的第3步骤的局部截面侧视图。图7为示意性示出使用树脂组合物固定板状被加工物的固定方法的第4步骤的局部截面侧视图。图8为汇总使用第1方式的树脂组合物的实施例的结果的图表。图9为汇总使用第2方式的树脂组合物的实施例的结果的图表。具体实施方式对于用于实施本专利技术的方式(实施方式)，参照附图进行详细的说明。本专利技术并不限于以下实施方式中记载的内容。此外，以下记载的构成要素中包含本领域技术人员容易想到的内容、实质上相同的内容。进一步，以下记载的构成可以适当组合。此外，可以在不脱离本专利技术的主旨的范围内进行构成的各种省略、置换或变更。本实施方式的树脂组合物用于例如晶片等板状被加工物的固定。图1为示出经本实施方式的树脂组合物固定的板状被加工物的示例的立体图，图2为示出经树脂组合物固定的板状被加工物的示例的部分截面图。如图1所示，板状被加工物11是用带锯、线锯等工具从由例如硅、碳化硅、氮化镓等半导体形成的圆柱状的晶锭切出的圆盘状的晶片(刚切割的晶片)。如图2所示，伴随从晶锭的切出，该板状被加工物11上存在翘曲、起伏。存在翘曲、起伏的板状被加工物11不适合器件等的形成。因此，需要用树脂组合物固定板状被加工物11使其平坦化。例如使涂布在板状被加工物11的背面(第1面)11b侧的树脂组合物15固化，形成平坦的基准面15S，然后对板状被加工物11的正面(第2面)11a侧进行磨削，由此能够除去板状被加工物11的正面(第2面)侧的翘曲、起伏。图3为示出固定板状被加工物的固定装置的构成例的立体图。如图3所示，固定装置2具备：送出辊4，供给呈辊状卷绕的膜13；和卷取辊6，卷取从送出辊4送出的膜13。送出辊4和卷取辊6分别与电动机等旋转驱动源(未图示)连接，使膜13从送出辊4侧移动至卷取辊6侧。膜13由例如聚烯烃等柔软的树脂材料形成。固定装置2在送出辊4的上方具备狭缝涂布机等树脂供给单元8。该树脂供给单元8向从送出辊4送出的膜13的正面13a侧供给液态的树脂组合物15。对于树脂组合物15的叙述在后文进行。固定装置2在树脂供给单元8的上方具备上下一对的辊10，12，将板状被加工物11定位在被供给了树脂组合物15的膜13的正面13a上。下侧的辊10改变膜13的行进方向，将被供给了树脂组合物15的正面13a侧定位于上方。隔着树脂组合物15，在膜13的正面13a上载置板状被加工物11。在本实施方式中，使板状被加工物11的背面11b本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种树脂组合物，其为固定板状被加工物的树脂组合物，其特征在于，在由(甲基)丙烯酸酯和增塑剂或反应性稀释剂构成的组合物中含有光聚合引发剂。

【技术特征摘要】
2016.02.12 JP 2016-0248151.一种树脂组合物，其为固定板状被加工物的树脂组合物，其特征在于，在由(甲基)丙烯酸酯和增塑剂或反应性稀释剂构成的组合物中含有光聚合引发剂。2.如权利要求1所述的树脂组合物，其中，所述组合物含有30质量％以上45质量％以下的具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯、5质量％以上15质量％以下的不具有所述氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯、40质量％以上65质量％以下的所述增塑剂。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：原田晴司，下谷诚，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP