【技术实现步骤摘要】
薄皮工件固定装置
本技术属于激光切割
,尤其涉及一种薄皮工件固定装置。
技术介绍
激光切割机经常用于切割一些0.5mm-1mm厚度的薄片工件,为了将工件固定,经常采用蓝膜固定工件,真空吸盘整体吸附来达到固定的目的,传统的玻璃刻槽及铝板打孔均有平面精度不高,吸附效果不佳,不易脱离等缺陷,而硅晶圆隐形切割机对吸盘平行面度和平行度要求较高,需要更好的薄片工件固定结构。
技术实现思路
本技术提供一种平面度、吸附效果好的薄皮工件固定装置。本技术提供一种薄皮工件固定装置,其包括陶瓷吸盘、陶瓷吸盘过渡板、马达、马达过渡板、以及料环定位及吸附件;其中,所述马达安装在所述马达过渡板上;所述陶瓷吸盘过渡板安装在所述马达上;所述陶瓷吸盘和料环定位及吸附件均安装在所述陶瓷吸盘过渡板上。优选地,所述陶瓷吸盘位于所述料环定位及吸附件的内部。优选地,还包括安装所述马达过渡板的直线二维平台。优选地,还包括连接在所述马达过渡板和直线二维平台的马达定位件。优选地,还包括吸附薄皮工件的料环。优选地,所述料环放置在所述陶瓷吸盘上且由所述料环定位及吸附件固定。优选地,所述陶瓷吸盘包括不锈钢的基体和由该基体支撑的吸盘表面。优选地,所述吸盘表面设有多个孔。本技术采用微孔陶瓷精密加工制成的陶瓷吸盘,陶瓷吸盘表面的平面度和平行度高,真空吸附效果好,破真空后易脱离,结构尺寸稳定,长时间工作不变形;陶瓷吸盘采用顶丝调整水平,方便;使用料环定位和吸附件,方便对工件整体固定和定位;本技术提高了载台的平行度和平面度,改善了吸附效果,使工件不容易脱离。附图说明图1为本技术薄皮工件固定装置的立体图;图2为图1所示薄皮工件 ...
【技术保护点】
一种薄皮工件固定装置,其特征在于,其包括陶瓷吸盘、陶瓷吸盘过渡板、马达、马达过渡板、以及料环定位及吸附件;其中,所述马达安装在所述马达过渡板上;所述陶瓷吸盘过渡板安装在所述马达上;所述陶瓷吸盘和料环定位及吸附件均安装在所述陶瓷吸盘过渡板上。
【技术特征摘要】
1.一种薄皮工件固定装置,其特征在于,其包括陶瓷吸盘、陶瓷吸盘过渡板、马达、马达过渡板、以及料环定位及吸附件;其中,所述马达安装在所述马达过渡板上;所述陶瓷吸盘过渡板安装在所述马达上;所述陶瓷吸盘和料环定位及吸附件均安装在所述陶瓷吸盘过渡板上。2.根据权利要求1所述的薄皮工件固定装置,其特征在于:所述陶瓷吸盘位于所述料环定位及吸附件的内部。3.根据权利要求1所述的薄皮工件固定装置,其特征在于:还包括安装所述马达过渡板的直线二维平台。4.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹园德,郭坤铎,黄浩,江凯,王明,刘立文,李福海,曾威,高云峰,
申请(专利权)人:大族激光科技产业集团股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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