双栅极生物敏感场效应晶体管及阈值校准方法技术

本发明专利技术的实施例提供了一种生物敏感场效应晶体管包括衬底、第一控制栅极和第二控制栅极。衬底具有第一侧和与第一侧相对的第二侧、源极区和漏极区。在衬底的第一侧上设置第一控制栅极。在衬底的第二侧上设置第二控制栅极。第二控制栅极包括在衬底的第二侧上设置的感测膜。源极区和第二控制栅极之间偏置的电压小于第二控制栅极的阈值电压。本发明专利技术的实施例还提供了一种用于传感阵列的阈值失配校准的方法。

【技术实现步骤摘要】
双栅极生物敏感场效应晶体管及阈值校准方法
本专利技术的实施例涉及半导体领域，更具体地涉及双栅极生物敏感场效应晶体管及阈值校准方法。
技术介绍
生物传感器是用于感测和检测生物分子的器件且基于电子、电化学、光学和机械检测原理操作。包括晶体管的生物传感器是电学地感测生物实体或生物分子的电荷、光子和机械性能的传感器。传感器检测生物实体或生物分子的浓度或通过特定反应物和生物实体/生物分子之间的相互作用或反应来来检测。这样的生物传感器在信号转换中快捷且能够使用半导体工艺制造以及易于应用于集成电路和MEMS。场效应晶体管(FET)包括源极、漏极和栅极，并且可以用作用于各种类型目标的传感器。创建生物敏感场效应晶体管或生物有机场效应晶体管(BioFET)以检测生物分子，包括例如H+、Ca2+、DNA、蛋白质和葡萄糖。包含目的分子(moleculeofinterest)的电解质用作Bio-FET栅极。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供了一种生物敏感场效应晶体管(BioFET)，包括：衬底，具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，所述衬底具有源极区和漏极区；至少一个第一控制栅极，设置在所述衬底的所述第一侧上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种生物敏感场效应晶体管(BioFET)，包括：衬底，具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，所述衬底具有源极区和漏极区；至少一个第一控制栅极，设置在所述衬底的所述第一侧上；以及至少一个第二控制栅极，设置在所述衬底的所述第二侧上，所述第二控制栅极包括在所述衬底的所述第二侧上设置的感测膜，其中，所述源极区和所述第二控制栅极之间偏置的电压小于所述第二控制栅极的阈值电压。

【技术特征摘要】
2015.12.07 US 14/961,5881.一种生物敏感场效应晶体管(BioFET)，包括：衬底，具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，所述衬底具有源极区和漏极区；至少一个第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄毓杰，黄睿政，谢正祥，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71