薄膜材料的测试系统及测试方法技术方案

本发明专利技术实施例公开了一种薄膜材料的测试系统及测试方法，其中测试系统包括支撑框架和拉力设备；支撑框架包括位于两端的固定部，以及用于连接位于两端的固定部的保护条，固定部和保护条围成一镂空结构，位于两端的固定部用于固定测试结构的两端；拉力设备上设置有夹具，夹具用于夹持支撑框架上位于两端的固定部和测试结构的两端进行拉伸测试。本发明专利技术使得薄膜材料的单轴拉伸测试简单，降低了对拉力设备和夹具的特殊要求。

【技术实现步骤摘要】
薄膜材料的测试系统、测试方法、测试结构及其制作方法
本专利技术涉及单轴拉伸测试领域，具体涉及薄膜材料的测试系统、测试方法、测试结构及其制作方法。
技术介绍
现有针对薄膜样品进行单轴拉伸测试时，利用微加工技术形成测试结构，将测试结构与支撑梁相连，通过移动平台和拉力设备进行单轴拉伸测试。但是该方法的缺点是由于悬空的测试结构有支撑梁相连，测试结构承受的力还需要计入支撑梁变形的影响，因此可能导致额外的误差；而且由于测试结构变形不能太大，因此不适宜测试大变形的材料；另外，整个测试装置需要放在扫描电子显微镜(SEM)中进行观察测量，不适合常规操作，限制了其应用范围。现有技术中，针对金属材料、多层复合材料、高聚物材料的测试较多，针对介电材料、尤其是针对低介电常数(Low-K/Ultra-Low-k)材料的进行测试的非常少。在90纳米节点以下的芯片中，为降低RC延迟，引入铜布线和Low-K/UltraLow-K材料作为电介质。Low-K材料比较脆弱，容易在芯片后续封装过程中出现失效破坏，因此掌握其基本力学性质非常重要。误差小、最直接的方法是单轴拉伸实验。实际产品使用中的Low-K材料尺寸非常微小，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜材料的测试系统，其特征在于，包括支撑框架和拉力设备；所述支撑框架包括位于两端的固定部，以及用于连接所述位于两端的固定部的保护条，所述固定部和所述保护条围成一镂空结构，所述位于两端的固定部用于固定测试结构的两端；所述拉力设备上设置有夹具，所述夹具用于夹持所述支撑框架上位于两端的固定部和所述测试结构的两端进行拉伸测试。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜材料的测试系统，其特征在于，包括支撑框架和拉力设备；所述支撑框架包括位于两端的固定部，以及用于连接所述位于两端的固定部的保护条，所述固定部和所述保护条围成一镂空结构，所述位于两端的固定部用于固定测试结构的两端；所述拉力设备上设置有夹具，所述夹具用于夹持所述支撑框架上位于两端的固定部和所述测试结构的两端进行拉伸测试。2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述测试结构包括薄膜材料和载体，所述载体位于所述薄膜材料的两端，且位于所述薄膜材料的同一表面，所述载体粘结在所述支撑框架的两个固定部，以将所述测试结构固定在所述支撑框架上。3.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述保护条与所述固定部通过卡口或者螺栓连接。4.一种基于权利要求1-3任一所述的测试系统的测试方法，其特征在于，包括：将测试结构的两端固定在支撑框架的位于两端的固定部上；将所述支撑框架的位于两端的固定部，以及所述测试结构的两端夹持在拉力设备的夹具上；断开所述支撑框架上的保护条；通过所述拉力设备对所述测试结构进行单轴拉伸测试。5.根据权利要求4所述的测试方法，其特征在于，所述测试结构包括薄膜材料和载体，所述载体位于所述薄膜材料的两端，且位于所述薄膜材料的同一表面，所述将测试结构的两端固定在支撑框架的位于两端的固定部上具体为...

【专利技术属性】
技术研发人员：王磊，张文奇，王珺，杨辰，
申请(专利权)人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司，复旦大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32