原位时间分辨光栅衍射效率光谱测量装置和方法制造方法及图纸

一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置和方法，测量装置包括超连续谱激光器、声光滤波器、光阑、偏振片、分束器、待测光栅、参考光高速探测器、聚焦透镜、积分球、测试光高速探测器和快电子学组件。超连续谱激光器和声光滤波器用于产生单色光束，参考光高速探测器用于测量参考光束的强度，积分球和测试光高速探测器用于测量衍射光束的强度，快电子学组件用于数据采集和数据处理。本发明专利技术在测量过程中，仪器的所有机械部件始终保持静止，光栅衍射效率光谱的测量速度因而得到了大大的提高，可实现原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量。

【技术实现步骤摘要】
原位时间分辨光栅衍射效率光谱测量装置和方法
本专利技术涉及平面光栅衍射效率光谱的测量领域，特别是一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置和方法。
技术介绍
衍射光栅作为重要的色散元件，在光谱分析、强激光、集成电路、光通信、光学精密测量等领域有着广泛的应用，而衍射效率光谱是光栅最重要的性能指标之一，光栅衍射效率光谱的准确测量对于评价光栅的性能、改进光栅的加工工艺有着重要的意义。目前国际上普遍采用的光栅衍射效率光谱测量仪器[1,2]的结构如图1所示，主要包括光源1、单色器2、光阑3、起偏器4、分束器5、参考光探测器6、待测光栅固定机架7、旋转转盘8、待测光栅9、探测器连接杆10和测试光探测器11，基于该测量系统，光栅衍射效率光谱测量的主要过程如下：①在激光光源关闭的情况下测量参考光探测器和测试光探测器的暗场强度值；②打开激光光源，在光路中不放置样品，使测试光束照射在积分球上，然后被测试光探测器所收集；③把单色器的工作波长设置为λ1，然后测量参考光探测器和测试光探测器的明场强度值；④把单色器的工作波长依次设置为λ2,λ3……λn，分别重复步骤③，得到各个波长下参考光探测器和测试光探测器的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置，其特征在于，包括超连续谱激光光源(1)、滤波器(12)、光阑(3)、偏振片(4)、分束器(5)、参考光高速探测器(13)、待测光栅(9)、聚焦透镜(14)、积分球(15)、测试光高速探测器(16)和快电子学组件(17)；沿所述的超连续谱激光光源(1)的光束出射方向依次放置所述的声光滤波器(12)、光阑(3)、偏振片(4)和分束器(5)，该分束器(5)将入射光束分为反射光束和透射光束，该反射光束作为参考光束，在该参考光束传播方向是所述的参考光高速探测器(13)，所述的透射光束作为测试光束，在该测试光束传播方向是待测光栅(9)，测试光束经所述衍射光栅(9...

【技术特征摘要】
1.一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置，其特征在于，包括超连续谱激光光源(1)、滤波器(12)、光阑(3)、偏振片(4)、分束器(5)、参考光高速探测器(13)、待测光栅(9)、聚焦透镜(14)、积分球(15)、测试光高速探测器(16)和快电子学组件(17)；沿所述的超连续谱激光光源(1)的光束出射方向依次放置所述的声光滤波器(12)、光阑(3)、偏振片(4)和分束器(5)，该分束器(5)将入射光束分为反射光束和透射光束，该反射光束作为参考光束，在该参考光束传播方向是所述的参考光高速探测器(13)，所述的透射光束作为测试光束，在该测试光束传播方向是待测光栅(9)，测试光束经所述衍射光栅(9)衍射后，入射到所述的聚焦透镜(14)，经该聚焦透镜(14)聚焦后，射入所述的积分球(15)后，漫反射光被所述的测试光高速探测器(16)接收，该测试光高速探测器(16)的输出端与所述的快电子学组件(17)的第一输入端相连，所述的参考光高速探测器(13)的输出端与所述的快电子学组件(17)的第二输入端相连，所述的滤波器(12)的输出端与所述的快电子学组件(17)的第三输入端相连。2.如权利要求1所述的原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置，其特征在于，所述的滤波器(12)为声光滤波器或液晶可调谐滤波器。3.利用权利要求1所述的原位时间分辨测量光栅衍射效率光谱的测量装置进行测量的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：①在超连续谱激光光源(1)关闭的情况下测量参考光高速探测器(13)和测试光高速探测器(16)的暗场强度值；②在光路中不...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵建达，刘世杰，王圣浩，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31