一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪制造技术

本发明专利技术公开了一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪，沿入射光方向依次包括：入射光准直装置；一层基底，采用透明材料制作；一个构建在所述基底其中一个表面上的挡光层中的衍射孔二维阵列，所述挡光层由不透明材料制作，所述衍射孔二维阵列包括一系列具有不同孔径尺寸的衍射孔，且各衍射孔孔径尺寸与入射光波长接近，各衍射孔的深度与挡光层厚度相同；包括多个探测像素元的探测阵列芯片，所述探测阵列芯片的探测信号输出端与一计算分析部件连接；所述衍射孔二维阵列中各个衍射孔与所述探测阵列芯片中的探测像素元的位置非一一对应。本发明专利技术在保证与现有衍射孔阵列结构微型光谱仪性能相当的前提下，更易于加工，制作成本更低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光谱仪，尤其涉及一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪，属于光谱测量

技术介绍
光谱仪作为一种研究物质的光谱信息的测量仪器，随着科技的飞速发展，其应用范围也越来越广。传统光谱仪存在众多缺陷，如傅里叶光谱仪体积大，对振动敏感，不适合便携实时测量；而光栅衍射型光谱仪分辨率不高，价格也不菲。一篇中国专利公开了一种衍射孔阵列结构微型光谱仪(名称为“衍射孔阵列结构微型光谱仪及其高分辨率复原方法”，公开号为CN102564586A，公开日为2012年7月11日)。该微型光谱仪包括一层基底，采用透明材料制作；一个构建在基底上表面的挡光层中的衍射孔二维阵列，该挡光层由不透明材料制成，该衍射孔二维阵列中的各个孔的孔径大小不等，孔径尺寸与入射光波长接近，各个衍射孔的深度相同且都等于挡光层厚度；基底下方设有探测阵列芯片，该探测阵列芯片采用电荷耦合元件CCD或者互补金属氧化物半导体元件CMOS，每一个衍射孔的正下方都对应设置探测阵列芯片中的一个像素元，这些像素元经过校准后，能确保相同波长、相同功率的光入射到这些像素元时，各像素元输出的数据相同；基底和探测阵列芯片有两种设计，一是在探测阵本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪，沿入射光方向依次包括：入射光准直装置；一层基底，采用透明材料制作；一个构建在所述基底其中一个表面上的挡光层中的衍射孔二维阵列，所述挡光层由不透明材料制作，所述衍射孔二维阵列包括一系列具有不同孔径尺寸的衍射孔，且各衍射孔孔径尺寸与入射光波长接近，各衍射孔的深度与挡光层厚度相同；？包括多个探测像素元的探测阵列芯片，所述探测阵列芯片的探测信号输出端与一计算分析部件连接；其特征在于，所述衍射孔二维阵列中各个衍射孔与所述探测阵列芯片中的探测像素元的位置非一一对应。

【技术特征摘要】
1.一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪，沿入射光方向依次包括 入射光准直装置； 一层基底，采用透明材料制作； 一个构建在所述基底其中一个表面上的挡光层中的衍射孔二维阵列，所述挡光层由不透明材料制作，所述衍射孔二维阵列包括一系列具有不同孔径尺寸的衍射孔，且各衍射孔孔径尺寸与入射光波长接近，各衍射孔的深度与挡光层厚度相同； 包括多个探测像素元的探测阵列芯片，所述探测阵列芯片的探测信号输出端与一计算分析部件连接； 其特征在于，所述衍射孔二维阵列中各个衍射孔与所述探测阵列芯片中的探测像素元的位置非一一对应。2.如权利要求I所述基于衍射孔阵列的微...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨涛，李兴鳌，何浩培，黄维，周源，李伟，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：发明
国别省市：