一种高精度干涉仪气体静压减振基座制造技术

本发明专利技术目的在于提供一种应用于高精度变频干涉仪的气体静压减振基座，主要包括减振基座支撑基体、减振基座台面、左右侧连接板、左右底面压板、立柱和以及多孔质材料块等结构和部件组成；减振基座四个圆柱形立柱和采用天然花岗岩材料，有助于保证工作台的稳定性；减振基座台面、左右侧连接板和、左右底面压板和及对应的多孔质材料块等组成气浮结构，可以实现减振基座的减振及隔振作用，左右侧连接板、前后挡板及软质材料保证气浮过程减振基座台面稳固，左右底板及减振基座台面分布有特殊设计布局的多孔质材料块及气体通道实现气浮过程中气隙的均匀性及稳定不变性。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度干涉仪气体静压减振基座
本专利技术涉及一种高精度干涉仪气体静压减振基座。
技术介绍
随着科学技术发展，精密及超精密机械制造越来越重要，因此超精密测量技术也越来越重要，干涉仪则是其中一种重要的精密测量方法的仪器，在各个领域尤其是在光学测量领域应用越来越重要。与此同时，气体静压气浮导轨具有摩擦功耗低、运动精度高、低速时不出现爬行和蠕动、运动平稳、寿命长、无污染等一系列优点，广泛应用于三坐标测量机、超精密机床、电子加工、医疗器械领域。但是目前机床领域一般采用的双气体静压气浮导轨运动设计，两个导轨之间存在气压差导致气隙不均的缺点，没有充分发挥气浮精度高、平稳性好优点。与此同时，目前多数减振基座采用四柱气体弹簧支撑设计，同样存在着没有充分发挥气浮精度高、平稳性好优点。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术提出的问题，提供一种高精度干涉仪气体静压减振基座，其可以实现变频干涉仪使用过程中振动的减弱及隔振的作用，保证变频干涉仪平稳工作。为解决现有技术存在的问题，本专利技术的技术方案是：一种高精度干涉仪气体静压减振基座，包括气浮结构，其特征在于：还包括左立柱和右立柱，所述的左立柱和右本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度干涉仪气体静压减振基座，包括气浮结构，其特征在于：还包括左立柱（11）和右立柱（13），所述的左立柱（11）和右立柱（13）设置于气浮结构的底部，所述的气浮结构包括减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（5）、支撑基座（3）、左侧底座（4）、右侧底座（6）、前侧挡板（10）和后侧挡板（12），所述的减振基座台面（1）、左侧底座（4）和右侧底座（6）的外侧分别设置有若干进气孔（15），所述的减振基座台面（1）底部两侧分别设置有左连接板（2）和右连接板（3），左连接板（2）和右连接板（5）的底部设置有左侧底座（4）和右侧底座（6），左侧底座（4）和右侧底座（6）的宽度大于左连接板（...

【技术特征摘要】
1.一种高精度干涉仪气体静压减振基座，包括气浮结构，其特征在于：还包括左立柱（11）和右立柱（13），所述的左立柱（11）和右立柱（13）设置于气浮结构的底部，所述的气浮结构包括减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（5）、支撑基座（3）、左侧底座（4）、右侧底座（6）、前侧挡板（10）和后侧挡板（12），所述的减振基座台面（1）、左侧底座（4）和右侧底座（6）的外侧分别设置有若干进气孔（15），所述的减振基座台面（1）底部两侧分别设置有左连接板（2）和右连接板（3），左连接板（2）和右连接板（5）的底部设置有左侧底座（4）和右侧底座（6），左侧底座（4）和右侧底座（6）的宽度大于左连接板（2）和右连接板（3）的宽度，所述的支撑基座（3）设置于的减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（3）、左侧底座（4）和右侧底座（6）围成的腔体内，所述的减振基座台面（1）底部设置有侧多孔制材料块（7）、中间多孔制材料块（8）和中心多孔制材料（9），中间多孔制材料块（8）有4块组成环状，中心多孔制材料（9）设置于4块中间多孔制材料块（8）内，侧多孔制材料块（7）设置有4块，围绕环状的中间多孔制材料块（8）的圆周设置；所述的左侧底座（4）、右侧底座（6）与支撑基座（3）接触的上表面处设置有多孔制材料块（14），所述的左侧底座（4）、右侧底座（...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱学亮，王红军，刘丙才，田爱玲，董龙超，裴宁，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61