下载一种高精度干涉仪气体静压减振基座的技术资料

文档序号:16033163

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本发明目的在于提供一种应用于高精度变频干涉仪的气体静压减振基座,主要包括减振基座支撑基体、减振基座台面、左右侧连接板、左右底面压板、立柱和以及多孔质材料块等结构和部件组成;减振基座四个圆柱形立柱和采用天然花岗岩材料,有助于保证工作台的稳定性...
该专利属于西安工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安工业大学授权不得商用。

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