压平机及其压板加热及冷却结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种压平机及压板加热及冷却结构，所述压平机包括一固定压板、一活动压板、多个驱动装置及多个压力传感器。活动压板能朝向固定压板移动，该些驱动装置各通过一连动单元连接于活动压板，以驱动活动压板移动。该些压力传感器分别设置于该些连动单元上，能用于侦测活动压板压力，以调整该些驱动装置的输出设定。因此，使活动压板的压制力量得以平均，压平效果较佳。

Flattening machine and its press plate heating and cooling structure

The utility model relates to a pressing machine and a heating and cooling structure of a press plate, wherein the press machine comprises a fixed pressing plate, a movable pressing plate, a plurality of driving devices and a plurality of pressure sensors. The movable platen can move toward the fixed platen, each of which is connected to the movable platen by a linkage unit to drive the movable platen to move. The pressure sensors are respectively arranged on the linkage units and can be used for detecting the pressure of the movable platen, so as to adjust the output settings of the driving devices. As a result, the pressing force of the movable platen is averaged, and the flattening effect is better.

【技术实现步骤摘要】
压平机及其压板加热及冷却结构
本技术涉及一种压平机，尤其涉及一种能用于压平晶圆等工件的压平机及其压板加热及冷却结构。
技术介绍
集成电路的制造主要以晶圆为基本材料，经过表面氧化膜的形成和感光剂的涂布后，结合光罩进行曝光、显像，使晶圆上形成各类型的电路，再经过蚀刻、光阻液的去除及不纯物的添加后，进行金属蒸发，使各组件的线路及电极得以形成，最后再进行晶圆探针检测，然后切割成芯片，再经过粘着、联机及包装等组配工艺而成电子产品。然而晶圆在制造的过程中，有可能因为研磨、涂布或烘烤等加工而产生弯曲，因此必需利用晶圆压平机来压平，使得晶圆可以维持较佳的平整度。现有晶圆压平机包括一固定压板及一活动压板，活动压板连接于一驱动装置，驱动装置可驱动活动压板相对固定压板移动，以便将置于固定压板及活动压板之间的晶圆压平。但是，活动压板以单个驱动装置驱动，活动压板的压制力量难以平均，使得晶圆压平的效果不佳，晶圆有可能发生破裂的情况。此外，现有晶圆压平机只能利用输送热风至机体中，用于协助晶圆加热，因此晶圆压平的效果不佳。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题，在于提供一种压平机及其压板加热及冷却结构，使得工件压平的效果较佳。为了解决上述的技术问题，本技术提供一种压平机，包括：一固定压板；一活动压板，能朝向所述固定压板移动；多个驱动装置，分别通过各自的连动单元连接于所述活动压板，以驱动所述活动压板移动；以及多个压力传感器，分别设置于所述连动单元上，能用于侦测所述活动压板的压力，以调整所述多个驱动装置的输出设定。优选地，所述多个驱动装置为伺服马达，且所述多个驱动装置设为至少四个，所述多个驱动装置分别通过各自的所述连动单元连接于所述活动压板靠近对角线的位置。优选地，所述连动单元能根据所述压力传感器进行单一调整或组合调整。优选地，所述连动单元各包含一螺杆及一导杆，所述螺杆连接于所述驱动装置，且所述螺杆螺接于一螺座，所述导杆的一端连接于所述螺杆，所述导杆的另一端连接于所述活动压板，所述驱动装置能驱动所述螺杆转动，使所述螺杆相对所述螺座移动，以带动所述导杆及所述活动压板移动。优选地，所述压力传感器分别设置于所述连动单元的导杆上，并通过一控制调整装置回馈信号。优选地，所述固定压板及所述活动压板上各设有加热单元及冷却单元，所述加热单元能用于加热所述固定压板及所述活动压板，所述冷却单元能用于冷却所述固定压板及所述活动压板。优选地，所述加热单元包含第一加热单元及第二加热单元，所述冷却单元包含第一冷却单元及第二冷却单元，所述第一加热单元及所述第一冷却单元设置于所述固定压板上，所述第二加热单元及所述第二冷却单元设置于所述活动压板上。为了解决上述技术问题，本技术还提供一种压平机压板加热及冷却结构，包括：一固定压板；一活动压板，能朝向所述固定压板移动；至少一个驱动装置，所述至少一个驱动装置通过至少一连动单元连接于所述活动压板，以驱动所述活动压板移动；多个加热单元，所述多个加热单元分别设置于所述固定压板及所述活动压板上，能用于加热所述固定压板及所述活动压板；以及多个冷却单元，所述多个冷却单元分别设置于所述固定压板及所述活动压板上，能用于冷却所述固定压板及所述活动压板。优选地，所述多个加热单元包含第一加热单元及第二加热单元，所述多个冷却单元包含第一冷却单元及第二冷却单元，所述第一加热单元及所述第一冷却单元设置于所述固定压板上，所述第二加热单元及所述第二冷却单元设置于所述活动压板上。优选地，所述连动单元上设置有压力传感器，能用于侦测所述活动压板的压力，以调整所述至少一个驱动装置的输出设定。本技术的有益效果：本技术压平机设有多个驱动装置，以驱动活动压板移动，并于该些连动单元上分别设置有压力传感器，能用于侦测该活动压板上多点的压力值，以调整该些驱动装置的输出设定，使活动压板的压制力量得以平均，使得工件压平的效果较佳，且能避免工件破裂。本技术固定压板及活动压板皆设有加热单元及冷却单元，可对固定压板及活动压板提供加热及冷却效果，固定压板及活动压板加热时，可使工件的压平速度加快，也可使工件的压平效果较佳。为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本技术加以限制者。附图说明图1为本技术压平机第一实施例的立体图。图2为图1的Ⅱ-Ⅱ剖视图。图3为图1的Ⅲ-Ⅲ剖视图。图4为图1的Ⅳ-Ⅳ剖视图。图5为图1的Ⅴ-Ⅴ剖视图。图6为本技术压平机第二实施例的立体图。图7为本技术压平机第二实施例的立体外观图。图8为本技术压平机第二实施例的平面图。具体实施方式[第一实施例]请参阅图1及图2，本技术提供一种压平机，包括一固定压板1、一活动压板2、多个驱动装置3及多个压力传感器4。该固定压板1优选呈水平状的设置，以便将工件(如晶圆、基板等)放置在固定压板1上。活动压板2优选呈水平状的设置，活动压板2可设置于固定压板1的上方，活动压板2可朝向或背向固定压板1移动，活动压板2朝向固定压板1移动时，可用于压平放置在固定压板1上的工件。该些驱动装置3各通过一连动单元5连接于活动压板2，以驱动活动压板2移动。驱动装置3及连动单元5的结构并不限制，在本实施例中，该些驱动装置3为伺服马达，且该些驱动装置3设有至少四个，该些驱动装置3可固定于一固定架6(如图6所示)上，该些个驱动装置3分别通过连动单元5连接于活动压板2靠近对角线的位置。该些驱动装置3为独立控制，其分别通过连动单元5驱动活动压板2移动。在本实施例中，该连动单元5各包含一螺杆51及一导杆52，螺杆51连接于驱动装置3，螺杆51可呈直立的设置，也就是说，螺杆51可垂直于活动压板2。螺杆51螺接于一螺座53，导杆52的一端(上端)连接于螺杆51，导杆52的另一端(下端)连接于活动压板2。导杆52可穿设于一导座54，导座54适当的固定于压平机内部，导座54可用于引导导杆52稳定地移动。该驱动装置3能驱动螺杆51转动，使螺杆51相对螺座53移动，以便带动导杆52及活动压板2移动，在本实施例中，该活动压板2为上、下移动。在本实施例中，固定压板1上设有多个导柱11，该些导柱11竖立设置于固定压板1上，且活动压板2上设有多个导孔21，该些导孔21与该些导柱11相对应，且该些导孔21与该些导柱11滑动配合，从而引导活动压板2稳定地移动。该些压力传感器4分别设置于该些连动单元5上，能用于侦测活动压板2压力，进而调整该些驱动装置3的输出设定。压力传感器4可为荷重元(loadcell)，例如可为S型荷重元。压力传感器4可设置于连动单元5上适当的位置，在本实施例中，该些压力传感器4分别设置于该些连动单元5的导杆52上，并由一控制调整装置(图略)，回馈信号。压力传感器4可设置于导杆52的上端处或下端处，也就是说，压力传感器4可设置于导杆52的上端与螺杆51的下端之间，压力传感器4也可设置于导杆52的下端与活动压板2的上端之间。连动单元5能依压力传感器4进行单一调整或组合调整，也就是说，该些连动单元5可以单独进行调整，或组合进行调整。当活动压板2朝向固定压板1移动时，可利用固定压板1及活动压板2压制多个工件，以将放置于活动压板2及本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压平机，其特征在于，包括：一固定压板；一活动压板，能朝向所述固定压板移动；多个驱动装置，分别通过各自的连动单元连接于所述活动压板，以驱动所述活动压板移动；以及多个压力传感器，分别设置于所述连动单元上，能用于侦测所述活动压板的压力，以调整所述多个驱动装置的输出设定。

【技术特征摘要】
1.一种压平机，其特征在于，包括：一固定压板；一活动压板，能朝向所述固定压板移动；多个驱动装置，分别通过各自的连动单元连接于所述活动压板，以驱动所述活动压板移动；以及多个压力传感器，分别设置于所述连动单元上，能用于侦测所述活动压板的压力，以调整所述多个驱动装置的输出设定。2.根据权利要求1所述的压平机，其特征在于，所述多个驱动装置为伺服马达，且所述多个驱动装置设为至少四个，所述多个驱动装置分别通过各自的所述连动单元连接于所述活动压板靠近对角线的位置。3.根据权利要求1所述的压平机，其特征在于，所述连动单元能根据所述压力传感器进行单一调整或组合调整。4.根据权利要求1所述的压平机，其特征在于，所述连动单元各包含一螺杆及一导杆，所述螺杆连接于所述驱动装置，且所述螺杆螺接于一螺座，所述导杆的一端连接于所述螺杆，所述导杆的另一端连接于所述活动压板，所述驱动装置能驱动所述螺杆转动，使所述螺杆相对所述螺座移动，以带动所述导杆及所述活动压板移动。5.根据权利要求4所述的压平机，其特征在于，所述压力传感器分别设置于所述连动单元的导杆上，并通过一控制调整装置回馈信号。6.根据权利要求1所述的压平机，其特征在于，所述固定压板及所述活动压板上各设有加热单元及冷却单元，所述加热单元能用于加热所述固定压板及所述活动压板，所述冷却单元能用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：许海津，徐荣和，陈泰安，
申请(专利权)人：志圣工业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71