反转机和基板研磨装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供使基板上下反转的小型的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。使基板(W)上下反转的反转机(100)具有：用于载置基板(W)的第一机械臂对(21a)；与所述第一机械臂对(21a)彼此相对的第二机械臂对(21b)；开闭机构(23)，对所述第二机械臂对(21b)进行开闭，以把持载置在所述第一机械臂对(21a)上的基板(W)；以及旋转机构(22)，使所述第一机械臂对(21a)和所述第二机械臂对(21b)绕规定的轴线(21)旋转，从而使所述基板(W)上下反转，其中，该规定的轴线(21)设定于它们的内侧且沿着所述第一机械臂对(21a)和所述第二机械臂对(21b)的延伸方向。

Reversing machine and substrate grinding device

The present invention provides a small reversing machine for turning a substrate up and down, and a substrate grinding device having such an inversion machine. The substrate (W) on the reversal of the reverse machine (100) is used for carrying the substrate (W) on the first arm (21a); and the first mechanical arm of (21a) opposite second manipulators (21b); opening and closing mechanism (23), on the second the mechanical arm of (21b) to control the opening and closing, carrying on the first arm of (21a) on the substrate (W); and the rotating mechanism (22), the first (21a) on the mechanical arm and the second arm of the axis (21b) Regulations (21) rotation, so that the substrate (W) on the reverse, the axis of the provisions of the (21) set in their inside and along the first mechanical arm of (21a) and the second arm of the extension direction (21b).

【技术实现步骤摘要】
反转机和基板研磨装置
本专利技术涉及使基板上下反转的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。
技术介绍
在以往的倒角研磨装置中，为了去除附着于倒角部的异物，大多使用研磨台，只对基板的周缘部进行研磨，而不对基板的背面进行研磨。在这种倒角研磨装置中，只对基板的表面进行清洗即可，可以不对背面进行清洗。与此相对，近年来，开发了一种与基板的倒角部的研磨一同还对基板的背面进行研磨的倒角研磨装置(例如专利文献1)。在这种倒角研磨装置中，为了对基板的背面进行清洗，需要使基板上下反转。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-150178号公报在此，若在用于使该基板反转的反转机中设置用于将上下反转后的基板交接给基板搬运装置的暂置台、或用于将基板放置于暂置台的升降机构，则存在装置会大型化的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这种问题而完成的，本专利技术的课题在于提供一种使基板上下反转的小型的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。用于解决课题的手段根据本专利技术的一个方式，提供一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对；开闭机构，该开闭机构对所述第二机械臂对进行开闭以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对绕规定的轴线旋转，从而使所述基板上下反转，所述规定的轴线设定于所述第一机械臂对和所述第二机械臂的内侧且沿着所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的延伸方向。

【技术特征摘要】
2015.09.14 JP 2015-1805021.一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对；开闭机构，该开闭机构对所述第二机械臂对进行开闭以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对绕规定的轴线旋转，从而使所述基板上下反转，所述规定的轴线设定于所述第一机械臂对和所述第二机械臂的内侧且沿着所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的延伸方向。2.根据权利要求1所述的反转机，其特征在于，所述规定的轴线是所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的对称轴。3.一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对，且构成为开闭自如以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述基板上下反转，并使得上下反转前的所述基板的位置与上下反转后的所述基板的位置大致一致。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的反转机，其特征在于，该反转机构成为所述旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述第一机械臂对的机械臂部件与所述第二机械臂对的机械臂部件的位置关系分别互换。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的反转机，其特征在于，具有：第一冲洗喷嘴,该第一冲洗喷嘴对被把持的所述基板的上表面供给冲洗水；以及第二冲洗喷嘴，该第二冲洗喷嘴对被把持的所述基板的下表面供给冲洗水。6.根据权利要求5所述的反转机，其特征在于，具有清洗槽，该清洗槽收纳所述第一机械臂对、所述第二机械臂对、所述第一冲洗喷嘴以及所述第二冲洗喷嘴。7.根据权利要求6所述的反转机，其特征在于，在所述清洗槽，在与所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于下侧的机械臂对对应的位置设置有能够使所述基板进出的开口，该反转机具有设置于所述开口的闸门。8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的反转机，其特征在于，构成所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的机械臂部件具有至少三个用于把持所述基板的挡块。9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的反转机，其特征在于，还具有槽口校准器，该槽口校准器将设置于所述基板的槽口校正到规定位置。...

【专利技术属性】
技术研发人员：赤泽贤一，小林贤一，谷泽昭寻，保科真穗，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP