【技术实现步骤摘要】
一种用于精密双面研磨机的水液分离装置
本技术涉及一种机床辅助设备,更具体地说,它涉及一种水液分离装置。
技术介绍
在半导体行业和太阳能行业中,需要将硅片加工至很高的尺寸精度和形状精度。其中,使用精密双面研磨机甚至可以达到加工精度的极限。在精密双面研磨机的使用过程中,会分别排放清洗污水和研磨废液,通常都是使用同一个废液桶收集废液。这两种液体成分差异显著,而后者需要进入环保处置程序,因此通常需要利用水液分离装置对混合后的排放液体进行分离处置。现在很多精密研磨设备中采用气压缸或电机带动的水液分离装置,实现了水液分离的自动化。但是此类设备通常需占据巨大的操作空间,操作繁琐、维护困难,工作状态不稳定。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种用于精密双面研磨机的水液分离装置。为解决技术问题,本技术的解决方案是:提供一种用于精密双面研磨机的水液分离装置,包括顶部敞口的中空箱体;在箱体中部的相对两个侧壁上分别设有通孔,一根水平方向的摆杆贯穿通孔,摆杆的两端露出于箱体侧壁且安装在支撑架上;摆杆上装有一个分液槽,分液槽的横截面呈U形,且槽的方向垂直于摆杆,分液 ...
【技术保护点】
一种用于精密双面研磨机的水液分离装置,包括顶部敞口的中空箱体;其特征在于,在箱体中部的相对两个侧壁上分别设有通孔,一根水平方向的摆杆贯穿通孔,摆杆的两端露出于箱体侧壁;摆杆上装有一个分液槽,分液槽的横截面呈U形,且槽的方向垂直于摆杆,分液槽能够以摆杆为轴相对于箱体转动;箱体的底部设有一个用于分隔箱体的突起部位,当分液槽相对箱体转动至一定角度时,该突起部位能与分液槽的底部相接触以限制其转动幅度;箱体的底部被突起部位分隔为两个独立空间,在突起部位的两侧的箱体底部分别设有开孔,开孔处接有排放管。
【技术特征摘要】
1.一种用于精密双面研磨机的水液分离装置,包括顶部敞口的中空箱体;其特征在于,在箱体中部的相对两个侧壁上分别设有通孔,一根水平方向的摆杆贯穿通孔,摆杆的两端露出于箱体侧壁;摆杆上装有一个分液槽,分液槽的横截面呈U形,且槽的方向垂直于摆杆,分液槽能够以摆杆为轴相对于箱体转动;箱体的底部设有一个用于分隔箱体的突起部位,当分液槽相对箱体转动至一定角度时,该突起部位能与分液槽的底部相接触以限制其转动幅度;箱体的底部被突起部位分隔为两个独立空间,在突起部位的两侧的箱体底部分别设有开孔,开孔处接有排放管。2.根据权利要求1所述的水液分离装...
【专利技术属性】
技术研发人员:傅林坚,沈文杰,严浩,宛沪生,何守龙,胡志伟,周锡峰,吴兵兵,邱敏秀,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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