一种半导体闭管扩散用真空设备制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种半导体闭管扩散用真空设备
本技术涉及半导体闭管扩散
，尤其涉及一种半导体闭管扩散用真空设备。
技术介绍
半导体闭管扩散工艺中，需要将装有扩散源和外延片的一端开口石英管抽真空到低于10e-4pa，然后用氢氧焰将另一端熔断密封，再进行高温扩散。这是因为高真空坏境可以避免扩散源在高温下氧化，提高扩散源蒸汽压，从而实现在本征半导体中高浓度掺杂。传统闭管扩散工艺中，扩散泵是一种油气泵浦，正常使用之前，需要将里面的油加热到约200℃，影响生产效率，而且油蒸汽会对扩散源造成污染，影响扩散质量。另一方面，现有的半导体闭管扩散工艺中所采用的设备均是一组气泵对应着单一的工位接口，以至于半导体闭管扩散工艺中的气泵资源没有充分发挥相应的功能。
技术实现思路
本技术实施例的目的之一在于克服传统闭管扩散工艺中，扩散泵是一种油气泵浦，正常使用之前，需要将里面的油加热到约200℃，影响生产效率，而且油蒸汽会对扩散源造成污染，影响扩散质量。本技术实施例的另一个目的在于，基于克服上述问题基础上，进一步解决气泵架构中，与气泵相关联的工位接口结构，限制了气泵最大利用率，影响了最终的加工效率。本技术是这...
【技术保护点】
一种半导体闭管扩散用真空设备，其特征在于，所述真空设备包括：工位接口(1)、放气阀(2)、第一电阻规(3)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)、电离规(6)、分子泵(7)、第二电阻规(8)、前级阀(9)和机械泵(10)，所述工位接口(1)通过旁路连接所述机械泵(10)；所述工位接口(1)还通过主路串联所述分子泵(7)后连接到所述机械泵(10)；位于所述旁路上，在所述工位接口(1)与所述机械泵(10)之间串联有所述放气阀(2)、所述第一电阻规(3)、所述旁抽阀(4)；位于所述主路上，在所述工位接口(1)与所述机械泵(10)之间串联有所述主抽阀(5)、所述电离规(6)、所述分子泵(7)...
【技术特征摘要】
1.一种半导体闭管扩散用真空设备，其特征在于，所述真空设备包括：工位接口(1)、放气阀(2)、第一电阻规(3)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)、电离规(6)、分子泵(7)、第二电阻规(8)、前级阀(9)和机械泵(10)，所述工位接口(1)通过旁路连接所述机械泵(10)；所述工位接口(1)还通过主路串联所述分子泵(7)后连接到所述机械泵(10)；位于所述旁路上，在所述工位接口(1)与所述机械泵(10)之间串联有所述放气阀(2)、所述第一电阻规(3)、所述旁抽阀(4)；位于所述主路上，在所述工位接口(1)与所述机械泵(10)之间串联有所述主抽阀(5)、所述电离规(6)、所述分子泵(7)、所述第二电阻规(8)和所述前级阀(9)。2.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述放气阀(2)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)和前级阀(9)为电磁阀或者机械阀。3.根据权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述真空设备还包括工位传感器(111)和比较器(101)，所述工位传感器(111)、放气阀(2)、第一电阻规(3)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)、电离规(6)、分子泵(7)、第二电阻规(8)、前级阀(9)和机械泵(10)，连接所述比较器(101)；其中，工位传感器(111)、第一电阻规(3)、电离规(6)和第二电阻规(8)，连接所述比较器(101)的输入端；所述放气阀(2)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)、分子泵(7)、前级阀(9)和机械泵(10)，连接所述比较器(101)的输出端。4.根据权利要求3所述的真空设备，其特征在于，所述比较器(101)为比较器集成芯片LM339，所述LM339包括比较器1、比较器2、比较器3和比较器4，则放气阀(2)和工位传感器(111)信号进行逻辑与之后连接比较器1的正向输入端，比较器1的输出端连接机械泵(10)和旁抽阀(4)，用于在放气阀(2)关闭且工位传感器(111)检测到有石英管时，控制所述机械泵(10)和旁抽阀(4)的打开；第一电阻规(3)连接比较器2的反向输入端，比较器2的输出端连接旁抽阀(4)和前级阀(9)，用于在第一电阻规(3)检测值小于0.1Pa时，控制所述旁抽阀(4)的关闭和前级阀(9)的打开；第二电阻规(8)连接比较器3的反向输入端，比较器3的输出端连接分子泵(7)和主抽阀(5)，用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡艳，岳爱文，钟行，刘科，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，武汉电信器件有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42
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