【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构驱动转动；连接板安装于滚珠丝杠且与双直线导轨滑动连接，随着滚珠丝杠的转动沿双直线轨道的方向上升或下降；升降臂与连接板固定连接，由连接板的运动带动上升或下降。本技术的石英舟升降装置结构紧凑，受力合理且维护方便。【专利说明】半导体扩散设备的石英舟升降装置
本技术涉及硅片加工
，特别涉及一种半导体扩散设备的石英舟的升降装置。
技术介绍
半导体扩散设备是集成电路制造的重要工艺设备，是一种要求能长时间连续工作，具有优异的控温精度及良好的可靠性、稳定性的自动控制设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。在半导体扩散设备内部安装有各种零部件，如石英舟升降机构、热交换器、传硅片机械手、过滤器、自动炉门等，而考虑到设备经济性，对半导体扩散设备整体尺寸有具体要求，其内部空间尺寸有限，如何在有限的空间内，在保证功能满足、结构...
【技术保护点】
一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，其特征在于，包括：?驱动机构；?支撑件，其横截面为U形；?双直线导轨，直立地对称设置在所述支撑件两侧；?由所述驱动机构驱动转动的滚珠丝杠，其设置于所述支撑件中部；?连接板，安装于所述滚珠丝杠且与所述双直线导轨滑动连接，随所述滚珠丝杠的转动沿所述双直线轨道的方向上升或下降；以及?承载石英舟的升降臂，与所述连接板固定连接，由所述连接板的运动带动上升或下降。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林欣家，郝琪，董金卫，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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