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本实用新型涉及半导体闭管扩散技术领域，尤其涉及一种半导体闭管扩散用真空设备。所述真空设备包括：工位接口、放气阀、第一电阻规、旁抽阀、主抽阀、电离规、分子泵、第二电阻规、前级阀和机械泵，所述工位接口通过旁路连接所述机械泵；所述工位接口还通过主...该专利属于武汉光迅科技股份有限公司;武汉电信器件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉光迅科技股份有限公司;武汉电信器件有限公司授权不得商用。