一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统，涉及晶体元器件制造检测技术领域。包括：立体拍摄结构、立体显示结构和控制模块，立体拍摄结构包括图像变换模块和图像拍摄模块，图像拍摄模块包括摄影镜组单元和感光芯片单元，图像变换模块、摄影镜组单元和感光芯片单元按照从左到右的顺序依次设置，显示单元放置于投影镜组的上侧，视窗镜放置于投影镜组的下侧，且视窗镜与水平方向呈一定角度设置。采用上述方案后，能够实现对微小元件进行3D成像，同时还能以3D显示的方式把立体图像展示出来，大大简化检查工作提升检测能力，为生产高品质小型化晶体元器件提供了有力的保障。

A stereoscopic display device and a 3D image reproduction system for wafer inspection

The invention discloses a stereoscopic display device and a 3D image reproduction system used for wafer detection, relating to the technical field of crystal component manufacture and detection. Including: stereoscopic structure, stereoscopic display structure and control module, the stereoscopic camera structure including image transform module and image capture module, image capture module including photography lens unit and the photosensitive chip unit, image conversion module, photography lens unit and the photosensitive chip unit are arranged according to the order from left to right, the display unit is placed in the projection lens on the upper side of the side window mirror placed in the projection lens, and window mirror arranged with a certain angle with the horizontal direction. With the above scheme, can realize 3D imaging of small parts, but also to the way 3D display to show the stereo image, greatly simplify the inspection work to enhance detection capabilities, provides a powerful guarantee for the production of high-quality small crystal components.

【技术实现步骤摘要】
一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统
本专利技术涉及晶体元器件制造检测
，特别是涉及一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统。
技术介绍
石英晶体振荡器是利用石英晶体谐振器作为核心元件构成的振荡器，与LC谐振回路相比，其具有更高的品质因数因此频率稳定度非常高，由于晶体谐振器是整个晶体振荡器中最核心的部件，所以生产过程中晶体谐振器的质量直接影响到最终产品晶体振荡器的性能，因此，在生产过程中对晶体元器件尤其是石英晶片的质量监控要求非常高，从裸片到最后的晶体谐振器元件，整个生产过程中涉及到很多的工序，每一道工序都有可能造成一些加工缺陷，从而导致成品指标不达标，所以每一道工序之后都需要对晶片进行自检，剔除缺陷产品，这些检查过程都是通过人工完成的。随着半导体行业的发展，元器件的尺寸越来越小，晶体谐振器也在朝着小型化方向发展。由于晶片非常小，人工检查变得越来越吃力，比如，晶片外观缺陷检查和上架后胶点质量检查，都需要人工一只一只的查看，这样产品量比较大时人很容易产生视觉疲劳，从而工作效率降低，工作质量也无法保证；此外，在借助显微镜对元器件检查时，由于其成像方式限制，它只适合检测平面质量，根本不能够对有立体结构的元器件进行整体检查，这样很容易漏掉元器件的某个细节缺陷，不能够有效的剔除缺陷产品。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统，能够实现对微小元件进行3D成像，并且进行放大缩小变换，同时还能以3D显示的方式把立体图像展示出来，大大简化检查工作提升检测能力，为生产高品质小型化晶体元器件提供了有力的保障。本专利技术所采取的技术方案是：一种立体显示装置，包括：显示单元、投影镜组、视窗镜、第二驱动模块和控制模块，显示单元放置于投影镜组的上侧，控制模块连接着第二驱动模块，第二驱动模块连接着显示单元，用于调整显示单元与投影镜组的等效距离，视窗镜放置于投影镜组的下侧，且视窗镜与水平方向呈一定角度设置。作为进一步的技术方案，所述摄影镜组单元包括一个凸透镜。作为进一步的技术方案，所述显示单元包括LCD投影芯片、DMD投影芯片和空间光调制器。作为进一步的技术方案，所述显示单元包括LCOS投影芯片和显示屏。作为进一步的技术方案，所述视窗镜为透光率可调的半透半反射镜。作为进一步的技术方案，所述视窗镜为表面粘贴有透明液晶屏的半透半反射镜。一种立体显示装置应用在用于晶片检测的3D图像再现系统，包括：立体拍摄结构、立体显示结构和控制模块，立体拍摄结构包括图像变换模块和图像拍摄模块，图像拍摄模块包括摄影镜组单元和感光芯片单元，图像变换模块、摄影镜组单元和感光芯片单元按照从左到右的顺序依次设置，感光芯片单元连接着第一驱动模块，第一驱动模块连接着立体显示装置中的控制模块。作为进一步的技术方案，所述图像变换模块为一物镜组；所述摄影镜组单元包括一个凸透镜。作为进一步的技术方案，所述感光芯片单元包括CCD芯片。作为进一步的技术方案，所述感光芯片单元包括CMOS芯片。作为进一步的技术方案，所述第一驱动模块连接着第一直线马达，摄影镜组单元和感光芯片单元设置在第一直线马达上；第二驱动模块连接着第二直线马达，显示单元和投影镜组设置在第二直线马达上。采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本专利技术通过提供一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统，能够实现对微小元件进行3D成像，并且进行放大缩小变换，同时还能以3D显示的方式把立体图像展示出来，大大简化检查工作提升检测能力，为生产高品质小型化晶体元器件提供了有力的保障。附图说明图1是本专利技术立体显示装置的模块示意图；图2是本专利技术的模块示意图；图3是本专利技术的立体拍摄结构示意图；图4是本专利技术的立体显示结构示意图；图5是本专利技术的透镜成像原理示意图；图6是本专利技术立体显示结构的成像原理示意图；图7是本专利技术另一个实施例的立体显示结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。如图1所示，为本专利技术一个实施例的立体显示装置的模块示意图，包括：显示单元106、投影镜组107、视窗镜108、第二驱动模块105和控制模块104，显示单元106放置于投影镜组107的上侧，控制模块104连接着第二驱动模块105，第二驱动模块105连接着显示单元106，用于调整显示单元106与投影镜组107的等效距离，视窗镜108放置于投影镜组107的下侧，且视窗镜108与水平方向呈一定角度设置。此外，第二驱动模块105也可以连接着投影镜组107，通过调整投影镜组107的位置来调整显示单元106与投影镜组107的等效距离。本方案的立体显示结构所应用的显示技术在很多地方有潜在的应用价值，比如通信、娱乐、医疗、教育、科研等领域，跟以往的显示技术不同，本方案的显示技术可以通过合理的控制显示景深来缓解长时间对着同一焦平面带来的视觉疲劳，还可以通过设定对矫正近视患者进行矫正治疗。如图2所示，为本专利技术用于晶片检测的3D图像再现系统的一个实施例，包括：立体拍摄结构、立体显示结构和控制模块104，立体拍摄结构包括图像变换模块101和图像拍摄模块102，图像拍摄模块102包括摄影镜组单元1021和感光芯片单元1022，图像变换模块101、摄影镜组单元1021和感光芯片单元1022按照从左到右的顺序依次设置，感光芯片单元1022连接着第一驱动模块103，第一驱动模块103连接着立体显示装置中的控制模块104。综上，本方案能在自由空间形成真实地3D画面，而不是使用立体图像对利用视差原理实现的伪3D显示，所以符合人眼观察习惯，不会带来对焦问题引入的不适感；对于晶体线的在线监测比对提供了非常方便、可靠地的手段；2D显示和3D显示兼容，而且即使显示2D画面也是悬空显示的，受环境光影响非常小对比度高画面清晰；可以实现对晶片的实时动态表征，比如振动时微裂纹的发展过程，受热时晶片膨胀等过程进行观察；可以向操作人员提供3D画面形式的工艺标准；可以使用低亮度光源实现高清画面显示，能耗可以大幅度降低。如图3所示，为本专利技术一个实施例的立体拍摄结构方位示意图，可实现图像变换的立体拍摄结构包含：图像变换模块101和图像拍摄模块102，其中图像拍摄模块102拍摄的图像为立体的；所述的图像变换模块101为一物镜组，比如为一个凸透镜，通过控制镜组的几何参数(比如调整物距)就可以实现对所成像的变换；所述的立体图像拍摄模块102由感光芯片单元1022和摄影镜组单元1021组成，其中摄影镜组单元1021可以采用一个凸透镜；摄影镜组单元1021用于对物体进行成像；感光芯片单元1022用于记录所成的像，所述的感光芯片单元1022为CCD芯片或者CMOS芯片。其中，图像变换模块101为一物镜组，优选的，为像差很好的组合透镜。摄影镜组单元1021包括一个凸透镜。投影镜组107包括一个凸透镜。摄影镜组单元1021和感光芯片单元1022在第一驱动模块103下可以实现相对距离（等效距离）的周期扫描，如高速的前后振动，即景深扫描，从而可以实现对不同景深的物体进行3D拍摄。控制模块104采用MCU系列单片机，第一驱动模块103和第二驱动模块105均采用英飞凌品牌的驱动电路。控制模块104通过第一驱动模本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种立体显示装置，其特征在于，包括：显示单元（106）、投影镜组（107）、视窗镜（108）、第二驱动模块（105）和控制模块（104），显示单元（106）放置于投影镜组（107）的上侧，控制模块（104）连接着第二驱动模块（105），第二驱动模块（105）连接着显示单元（106），用于调整显示单元（106）与投影镜组（107）的等效距离，视窗镜（108）放置于投影镜组（107）的下侧，且视窗镜（108）与水平方向呈一定角度设置。

【技术特征摘要】
1.一种立体显示装置，其特征在于，包括：显示单元（106）、投影镜组（107）、视窗镜（108）、第二驱动模块（105）和控制模块（104），显示单元（106）放置于投影镜组（107）的上侧，控制模块（104）连接着第二驱动模块（105），第二驱动模块（105）连接着显示单元（106），用于调整显示单元（106）与投影镜组（107）的等效距离，视窗镜（108）放置于投影镜组（107）的下侧，且视窗镜（108）与水平方向呈一定角度设置。2.根据权利要求1所述的一种立体显示装置，其特征在于所述显示单元（106）包括LCD投影芯片、DMD投影芯片和空间光调制器。3.根据权利要求1所述的一种立体显示装置，其特征在于所述显示单元（106）包括LCOS投影芯片和显示屏。4.根据权利要求1所述的一种立体显示装置，其特征在于所述视窗镜（108）为透光率可调的半透半反射镜。5.根据权利要求1所述的一种立体显示装置，其特征在于所述视窗镜（108）为表面粘贴有透明液晶屏的半透半反射镜。6.如权利要求1-5所述任一项的一种立体显示装置应用在用于晶片检测的3D图像再现系统，其特征在于，还包括：立体拍摄结构和第一驱动模块（103），...

【专利技术属性】
技术研发人员：王广军，
申请(专利权)人：河北博威集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13