The invention provides a layout repeating unit of optical proximity correction consistency check method, first establish the original design layer contains all of the reference pattern and the corresponding original design layer is the graphics library of optical proximity effect correction layer, then each region of the original design of the original design of the reference pattern corresponding to all layers the graphics library and the layout of the complete matching corresponding to the reference pattern the success of the original design of the optical proximity effect correction layer by layer, and all the reference graph corresponding to the graphics library in the original design of the optical proximity effect correction layer by layer for XOR, get the difference and the corresponding difference value, the difference is greater than the acceptable value of the differences are classified, reduce the differences between species, so that it can be divided into tens of millions of level difference Several or dozens of differences greatly enhance the layout design, correction work, repeated area correction, consistency check, accuracy and efficiency.
【技术实现步骤摘要】
版图重复单元光学邻近效应修正一致性检查方法
本专利技术涉及可制造性图形设计领域,特别涉及一种版图重复单元光学邻近效应修正一致性检查方法。
技术介绍
一般来说,集成电路版图设计中设计数据均含有重复性很强的设计,例如逻辑芯片的存储区,摄像芯片的感光区。为了能保证集成电路工作中信号能保持一致,则必须要求所有图形每次经过光学邻近效应处理后所有的图形的版图数据仍然能同时保持高度的统一性。由于设计本身或者光学邻近效应修正软件的错误较容易导致重复图形的修正结果不一致。随着集成电路工艺节点的不断推进,重复图形的修正差异对集成电路的差异影响也越来越大,同时重复图形的数量也越来越大。目前检查的工作主要通过工程师简单的检查,但工程师很难确定数以千万的图形是否每次都一致。同时,许多差异完全可以归纳为同一差异,完全检查消耗大量时间。
技术实现思路
本专利技术提供一种版图重复单元光学邻近效应修正一致性检查方法,用于将版图检查时数以千万的差异归纳为几种或者数十种差异,提升版图设计修正工作在重复区域修正一致性检查工作准确性与效率。为达到上述目的,本专利技术提供一种版图重复单元光学邻近效应修正一致性检查方法,包括以下步骤:步骤一:提供一版图的原始设计,选取任意一个最小单元图形作为基准图形,每个基准图形包括该最小单元图形对应的原始设计层以及所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层,截取所有所述基准图形对应的原始设计层和所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层存入图形库中;步骤二:将所述图形库中所有所述基准图形对应的原始设计层与版图的原始设计的每一区域进行匹配,若完全匹配成功,则找出该基准图形对应的所 ...
【技术保护点】
一种版图重复单元光学邻近效应修正一致性检查方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:提供一版图的原始设计,选取任意一个最小单元图形作为基准图形,每个基准图形包括该最小单元图形对应的原始设计层以及所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层,截取所有所述基准图形对应的原始设计层和所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层存入图形库中;步骤二:将所述图形库中所有所述基准图形对应的原始设计层与版图的原始设计的每一区域进行匹配,若完全匹配成功,则找出该基准图形对应的所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层,与所述图形库中所有所述基准图形对应的所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层作异或运算,得到差异以及对应的差异值;步骤三:设定可接受差异值,在步骤二中得到的差异值中选取大于所述可接受差异值的差异,将选取得到的差异属于同一类的进行归类。
【技术特征摘要】
1.一种版图重复单元光学邻近效应修正一致性检查方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:提供一版图的原始设计,选取任意一个最小单元图形作为基准图形,每个基准图形包括该最小单元图形对应的原始设计层以及所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层,截取所有所述基准图形对应的原始设计层和所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层存入图形库中;步骤二:将所述图形库中所有所述基准图形对应的原始设计层与版图的原始设计的每一区域进行匹配,若完全匹配成功,则找出该基准图形对应的所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层,与所述图形库中所有所述基准图形对应的所述原始设计层被光学邻近效应修正的图层作异或运算,得到差异以及对应的差异值;步骤三:设定可接受差异值,在步骤二中得到的差异值中选取大于所述可接受差异值的差异,将选取得到的差异属于同一类的进行归类。2.如权利要求1所述的版图重复单元光学邻近效应修正一致性检查方法,其特征在于,步骤一中对版图的原始设计进行筛选后进行基准图形的选取。3...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱忠华,阚欢,魏芳,朱骏,张旭升,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。