压电振动片的制造方法技术

本发明专利技术提供能够在单片化时防止压电振动片损伤的压电振动片的制造方法。压电振动片(3)的制造方法具备：在圆片(60)，形成压电板(30)、和经由连结部(61)支撑压电板(30)的框架部(62)的外形形成工序；相对于压电板(30)形成一对激振电极，并且形成从压电板(30)通过连结部(61)延伸到框架部(62)，且相对于一对激振电极分别电连接的一对延伸电极(47、48)的电极形成工序；和截断连结部(61)，以使压电板(30)单片化的单片化工序。在电极形成工序中，将一对延伸电极(47、48)形成在连结部(61)的侧面(61b)上。

Method for producing piezoelectric vibrating sheet

The present invention provides a method for manufacturing a piezoelectric vibrating sheet that prevents damage of a piezoelectric vibrating sheet when it is monolithic. A piezoelectric vibrator (3) with the method of manufacturing in wafer (60), the formation of a piezoelectric plate (30), and through the connecting part (61) supporting piezoelectric plate (30) of the frame part (62) of the shape forming process; relative to the piezoelectric plate (30) forming a pair of excitation electrodes, and the formation of from the piezoelectric plate (30) through a connecting portion (61) extends to the frame portion (62), and with respect to a pair of excitation electrodes are electrically connected to an extension electrode (47, 48) of the electrode forming step; truncation and link (61), in order to make the piezoelectric plate (30) monolithic chip chemical order. In the electrode formation process, a pair of extended electrodes (47, 48) are formed on the side (61b) of the connecting portion (61).

【技术实现步骤摘要】
压电振动片的制造方法
本专利技术涉及压电振动片的制造方法。
技术介绍
例如，在便携电话、便携信息终端设备等电子设备中，作为用于时刻源、控制信号等的定时源、参考信号源等的器件，使用利用了水晶等的压电振动器。作为此种压电振动器，已知在形成有腔的封装件(package)内气密密封了压电振动片的压电振动器。近年来，伴随电子设备的小型化，对压电振动器及压电振动片的小型化的要求日益高涨。例如，如专利文献1所记载的那样，压电振动片利用由压电材料形成的圆片(wafer)一次制造多个。此时，压电振动片在相对于支撑压电板的框架部通过连结部连结的状态下形成。在圆片的一个主面上，从压电板通过连结部延伸到框架部的一对延伸电极与各压电振动片对应地形成。关于压电振动片，将探头等推抵于框架部上的延伸电极以测定频率。之后，压电振动片在连结部处被截断，以单片化。另外，关于压电振动片，存在各部分的强度伴随其小型化而降低的情况。因此，压电振动片具有因在单片化时经由连结部作用的应力而损伤的风险。从而，连结部优选地宽度更窄地形成，以变得能够容易截断。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-194630号公报。专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动片的制造方法，其利用由压电材料形成的圆片来制造压电振动片，所述压电振动片具有压电板、和在所述压电板上形成，且在被施加既定的驱动电压时使所述压电板振动的一对激振电极，其特征在于，具备：外形形成工序，在所述圆片，形成所述压电板、和经由连结部支撑所述压电板的框架部；电极形成工序，在所述圆片的主面上及侧面上构图电极膜，对所述压电板形成所述一对激振电极，并且形成从所述压电板通过所述连结部延伸到所述框架部，且相对于所述一对激振电极分别电连接的一对延伸电极；和单片化工序，截断所述连结部，以使所述压电板单片化，在所述电极形成工序中，将所述一对延伸电极之中的至少任一个延伸电极形成在所述连结部的侧面上...

【技术特征摘要】
2015.11.04 JP 2015-2169361.一种压电振动片的制造方法，其利用由压电材料形成的圆片来制造压电振动片，所述压电振动片具有压电板、和在所述压电板上形成，且在被施加既定的驱动电压时使所述压电板振动的一对激振电极，其特征在于，具备：外形形成工序，在所述圆片，形成所述压电板、和经由连结部支撑所述压电板的框架部；电极形成工序，在所述圆片的主面上及侧面上构图电极膜，对所述压电板形成所述一对激振电极，并且形成从所述压电板通过所述连结部延伸到所述框架部，且相对于所述一对激振电极分别电连接的一对延伸电极；和单片化工序，截断所述连结部，以...

【专利技术属性】
技术研发人员：市村直也，
申请(专利权)人：精工电子水晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP