压电振动片、压电振动器、以及它们的制造方法技术

本发明专利技术抑制由振动(振幅)的追随性引起的振动变得不稳定的情形。压电振动片不是将在振动臂部(7)的前端部设置的配重膜(75)的既定区域整体(总厚度量)熔融除去，而是通过非热加工来除去。在通过非热加工除去配重膜(75)的情况下，以沿着长度方向逐渐变薄的方式形成，从而形成倾斜部(B)。倾斜部(B)的与第一厚度部分(C)相反侧的端部与通过非热加工被除去为比第一厚度部分(C)更薄的第二厚度部分(A)连续。配重膜(75)不是熔融除去，而是通过对配重膜(75)直接照射非热加工激光(Lf)，从而通过非热加工来除去的。在此，非热加工激光(Lf)使用能够进行配重膜(75)的非热加工的脉冲宽度，即脉冲宽度为皮秒(2位以下)至飞秒的激光，例如飞秒激光。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电振动片、压电振动器、压电振动片的制造方法、以及压电振动器的制造方法，详细地，关系到使用音叉型石英的技术。

技术介绍

1、例如，在便携电话、便携信息终端设备等电子设备中，作为在时间源、控制信号等的定时源、参考信号源等中使用的器件，使用利用了形成为音叉型的压电振动片的压电振动器。

2、在这样的音叉型压电振动片中，在振动臂部的前端部分形成金属的配重膜，通过修整该膜来进行频率调整(例如，专利文献1)。即，使装配于封装的压电振动片振荡，测定频率，同时照射脉冲宽度为纳秒左右的激光而熔融除去配重膜，由此进行修整以便减少其质量，从而进行频率调整(专利文献1)。

3、在利用该激光进行修整的情况下，使熔融的配重膜的面朝下，利用在封装底面设置的凹陷部分来接受通过从压电振动片的上表面侧(与配重膜相反的一侧)照射激光而熔融除去的配重膜。

4、图8是表示现有的利用激光将配重膜熔融除去之后的振动臂部前端的状态的图。

5、如图8所示，在以往的修整中，由于将照射了激光的区域的配重膜整体除去，因而在未被除去而保留的配重膜部分与本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种安装于在内侧具备安装部的封装内的、由石英形成为音叉型的压电振动片，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的压电振动片，其特征在于，

5.根据权利要求3或权利要求4所述的压电振动片，其特征在于，

6.根据权利要求1至权利要求5中的任一项权利要求所述的压电振动片，其特征在于，

7.根据权利要求1至权利要求6中的任一项权利要求所述的压电振动片，其特征在于，

8.一种压电振动器，其特征在于，具有：...

【技术特征摘要】

1.一种安装于在内侧具备安装部的封装内的、由石英形成为音叉型的压电振动片，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的压电振动片，其特征在于，

5...

【专利技术属性】
技术研发人员：市村直也，涩谷元规，
申请(专利权)人：精工电子水晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：