激振电极、石英晶振片、石英晶振器、传感器、振荡器及石英晶振片的制备方法技术

本发明专利技术提供不受工序或使用环境下的热影响、能够可靠地抑制频率波动的产生、可实现小型化、并且成本低且生产率优异的激振电极、石英晶振片、石英晶振器、传感器、振荡器以及石英晶振片的制备方法。激振电极41、42，其配置在石英晶体板30的外表面上，对石英晶体板30施加用于激振该石英晶体板30的电场，激振电极41、42为由二维层状物质构成的单层结构，按照隔着石英晶体板30对置的方式成对地配置而使用。英晶体板30对置的方式成对地配置而使用。英晶体板30对置的方式成对地配置而使用。

【技术实现步骤摘要】
激振电极、石英晶振片、石英晶振器、传感器、振荡器及石英晶振片的制备方法


[0001]本公开涉及激振电极、石英晶振片、石英晶振器、传感器、振荡器及石英晶振片的制备方法。

技术介绍

[0002]在例如便携电话或便携信息终端设备等电子设备中，作为用于时间源或控制信号等的定时源、参考信号源等的器件，一直以来使用利用了石英晶体(水晶)的振动子。作为这种石英晶振器(水晶振动子，石英晶体振动子)，例如已知在形成有空腔的封装件内气密密封了石英晶振片的石英晶振器。
[0003]作为如上所述的石英晶振片，例如可列举出具备石英晶体坯料和激振电极的构成的石英晶振片，该石英晶体坯料具有基部和从基部相互平行地延伸设置的一对振动臂部，该激振电极配置在一对振动臂部的表面上(例如，参照专利文献1、2)。通过对激振电极施加电压，石英晶振片的一对振动臂部分别以基端部(与基部的连结部分)为起点在相互接近、分离的方向上以规定的谐振频率振动。
[0004]以往，在石英晶振片中，作为设置在石英晶体坯料的表面上的激振电极，如专利文献1、2那样，采用如下激振电极等：配置在与石英本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.激振电极，其配置于石英晶体坯料的外表面上，对所述石英晶体坯料施加用于激振该石英晶体坯料的电场，其特征在于，所述激振电极为由二维层状物质构成的单层结构，按照隔着所述石英晶体坯料对置的方式成对地配置而使用。2.根据权利要求1所述的激振电极，其特征在于，所述二维层状物质是以碳原子为主元素的石墨烯的单层膜或多层膜。3.根据权利要求1所述的激振电极，其特征在于，所述二维层状物质是硅烯、锗烯、锡烯和铅烯中的任意物质。4.根据权利要求1~3中任一项所述的激振电极，其特征在于，所述二维层状物质掺杂有由第13族元素或第15族元素构成的杂质。5.根据权利要求4所述的激振电极，其特征在于，所述杂质为磷或氮。6.根据权利要求1~3中任一项所述的激振电极，其特征在于，所述二维层状物质具有带导电性的蜂窝结构。7.根据权利要求1~3中任一项所述的激振电极，其特征在于，所述二维层状物质具有带导电性的千层糕结构。8.根据权利要求6所述的激振电极，其特征在于，所述二维层状物质是显示金属或半金属带隙结构的物质。9.根据权利要求7所述的激振电极，其特征在于，所述二维层状物质是显示金属或半金属带隙结构的物质。10.石英晶振片，其特征在于，具有：具有一对振动臂部的石英晶体坯料，和配置于所述石英晶体坯料的外表面上的电极膜；所述电极膜具有配置于所述一对振动臂部的外表面上的一对激振电极，所述激振电极为根据权利要求1~9中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：百濑友博，
申请(专利权)人：精工电子水晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：