多层石墨烯光电传感器制造技术

本发明专利技术公开一种多层石墨烯光电传感器，在石墨烯层之间交替分别形成锡化锗层和硅化锗层，由于石墨烯层的导电性，使得锡化锗层和硅化锗层中产生的载流子能够立即通过石墨烯传导至金属电极，并且交替设置的锡化锗层和硅化锗层经光照能够在结构中产生了内建电场，进一步加速了载流子的收集，另外多层结构更能充分利用照射到的光，使得传感器的灵敏度得到了很大的提升。

【技术实现步骤摘要】
多层石墨烯光电传感器
本专利技术涉及一种传感器，具体涉及一种多层石墨烯光电传感器。
技术介绍
光电传感器是以光电器件作为转换元件的传感器。它可用于检测直接引起光量变化的非电物理量，如光强、光照度、辐射测温、气体成分分析等；也可用来检测能转换成光量变化的其他非电量，如零件直径、表面粗糙度、应变、位移、振动、速度、加速度，以及物体的形状、工作状态的识别等。光电传感器具有非接触、响应快、性能可靠等特点，因此在工业自动化装置和机器人中获得广泛应用。新的光电器件不断涌现，为光电传感器的进一步应用开创了新的一页。石墨烯是一种由碳原子形成的蜂窝状平面薄膜，是一种只有一个原子层厚度的准二维材料，所以又叫做单原子层石墨。它的厚度大约为0.335nm，根据制备方式的不同而存在不同的起伏，通常在垂直方向的高度大约1nm左右，是除金刚石以外所有碳晶体的基本结构单元。石墨烯目前最有潜力的应用是成为硅的替代品，制造超微型晶体管，用来生产未来的超级计算机。用石墨烯取代硅，计算机处理器的运行速度将会快数百倍。另外，石墨烯几乎是完全透明的，只吸收2.3%的光。另一方面，它非常致密，即使是最小的气体分子也无法穿透。这些本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层石墨烯光电传感器，其特征在于，包含：基板，所述基板为绝缘性基板；多个石墨烯层，所述多个石墨烯层分为多个奇数层石墨烯和多个偶数层石墨烯，其中所述偶数层石墨烯与下一层的奇数层石墨烯之间形成有锡化锗层，所述偶数层石墨烯与上一层的奇数层石墨烯之间形成有硅化锗层；所述多个奇数层石墨烯的位置在垂直方向上投影重叠，所述多个偶数层石墨烯的位置也在垂直方向上投影重叠，所述奇数层石墨烯和偶数层石墨烯在水平方向上交错设置，且所述锡化锗层和所述硅化锗层只在交错位置上形成；所述奇数层石墨烯和所述偶数层石墨烯中的非交错位置部分分别形成金属电极。

【技术特征摘要】
1.一种多层石墨烯光电传感器，其特征在于，包含：基板，所述基板为绝缘性基板；多个石墨烯层，所述多个石墨烯层分为多个奇数层石墨烯和多个偶数层石墨烯，其中所述偶数层石墨烯与下一层的奇数层石墨烯之间形成有锡化锗层，所述偶数层石墨烯与上一层的奇数层石墨烯之间形成有硅化锗层；所述多个奇数层石墨烯的位置在垂直方向上投影重叠，所述多个偶数层石墨烯的位置也在垂直方向上投影重叠，所述奇数层石墨烯和偶数层石墨烯在水平方向上交错设置，且所述锡化锗层和所述硅化锗层只在交错位置上形成；所述奇数层石墨烯和所述偶数层石墨烯中的非交错位置部分分别形成金属电极。2.如权利要求1所述的多层石墨烯光电传感器，其特征在于，一个所述奇数层石墨烯、该奇数层石墨烯上的锡化锗层、该锡化锗层上的偶数层石墨烯和该偶数层石墨烯上的硅化锗...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾玥，
申请(专利权)人：成都佰思汇信科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：四川,51