一种图形化蓝宝石衬底的加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括底座，所述底座安装有第一气缸和第一连接柱，第一气缸位于第一连接柱的一侧，第一气缸远离第一连接柱的一侧设有第一凹槽，第一凹槽内滑动连接有夹持固定装置，第一气缸的活塞杆焊接有夹持固定装置装置，所述夹持固定装置包括固定块，固定块上开有第二凹槽，第二凹槽内设有第一夹持块和第二夹持块，第一夹持块和第二夹持块的截面均为L形，第一夹持块的侧壁底端开有第三凹槽，第三凹槽内设有第二气缸，第二气缸的输出轴连接有第二夹持块，第二夹持块的底端侧壁与第三凹槽的侧壁滑动连接。本实用新型专利技术结构简单，稳固性高，蓝宝石衬底的抛光效果好。

Processing device for patterned sapphire substrate

The processing device, the utility model discloses a patterned sapphire substrate comprises a base, wherein the seat is provided with a first cylinder and a first connecting column, the first cylinder located on the side of the first connecting column, the first cylinder away from the side of the first connecting column is provided with a first groove, the first groove is glidingly connected with a clamping device, a piston rod the first cylinder is welded with a clamping device, wherein the clamping fixing device comprises a fixing block, a fixed block is provided with second grooves second are arranged in the grooves of the first clamp block and the second clamp block section of the first clamp block and the second clamping blocks are L shape, the side wall of the first clamp the bottom end is provided with third grooves third are arranged in the second cylinder, second cylinder is connected with the output shaft of the second clamping blocks, second clamping blocks at the bottom of the side wall and the third side wall of the sliding groove. Answer. The utility model has the advantages of simple structure, high stability and good polishing effect of the sapphire substrate.

【技术实现步骤摘要】
一种图形化蓝宝石衬底的加工装置
本技术涉及LED灯
，尤其涉及一种图形化蓝宝石衬底的加工装置。
技术介绍
图形化蓝宝石衬底也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，再在其上生长GaN材料，使GaN材料的纵向外延变为横向外延，一方面可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小有源区的非辐射复合，减小反向漏电流，提高LED的寿命;另一方面有源区发出的光，经GaN和蓝宝石衬底界面多次散射，改变了全反射光的出射角，增加了倒装LED的光从蓝宝石衬底出射的几率，从而提高了光的提取效率，在加工蓝宝石衬底的程序中需要进行镜面抛光，为此我们提出一种图形化蓝宝石衬底的加工装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种图形化蓝宝石衬底的加工装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案。一种图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括底座，所述底座安装有第一气缸和第一连接柱，第一气缸位于第一连接柱的一侧，第一气缸远离第一连接柱的一侧设有第一凹槽，第一凹槽内滑动连接有夹持固定装置，第一气缸的活塞杆焊接有夹持固定装置装置，所述夹持固定装置包括固定块，固定块上开有第二凹槽，第二凹槽内设有第一夹持块和第二夹持块，第一夹持块和第二夹持块的截面均为L形，第一夹持块的侧壁底端开有第三凹槽，第三凹槽内设有第二气缸，第二气缸的输出轴连接有第二夹持块，第二夹持块的底端侧壁与第三凹槽的侧壁滑动连接，第一夹持块靠近第二夹持块的一侧设有活动夹板，活动夹板与第一夹持块之间连接有弹簧，所述第一连接柱的顶端开有第四凹槽，第四凹槽内设有垂直设置的第三气缸，第三气缸的活塞杆连接有第二连接柱，第二连接柱与第四凹槽的侧壁滑动连接，所述第二连接柱的顶端焊接有横梁，横梁的顶端安装有电动机，电动机的输出轴连接有固定架，固定架位于横梁的下方，固定架上安装有两个出液管，固定架的底端安装有抛光工件。优选的，所述夹持固定装置的底端设有两个滑块，第一凹槽的底端侧壁上设有两个平行设置的滑轨，滑块与滑轨相配合。优选的，所述活动夹板与第一夹持块之间连接有四个弹簧，且四个弹簧分别安装在活动夹板的四角。优选的，所述底座上开有导液槽，导液槽位于第一凹槽的底端，底座的侧壁上设有接料箱，导液槽的出液口位于接料箱的顶端。优选的，所述第一夹持块和第二夹持块对称设置，且第一夹持块和第二夹持块的顶端位于同一直线上。优选的，所述出液管的底端连接有喷头。本技术的有益效果：通过活动夹板、弹簧、第一夹持块和第二夹持块的设置，能够对蓝宝石衬底进行初步固定；通过第二气缸、第三凹槽的设置，能够对蓝宝石衬底进行二次固定，稳固性高，在抛光时不容易晃动；通过第一气缸和第二气缸的设置，能够方便蓝宝石衬底的加工，通过电动机和出液管的设置，使得蓝宝石衬底的抛光效果更好，本装置结构简单，稳固性高，蓝宝石衬底的抛光效果好。附图说明图1为本技术提出的一种图形化蓝宝石衬底的加工装置的结构示意图。图2为本技术提出的一种图形化蓝宝石衬底的加工装置的夹持固定装置的结构示意图。图中：1底座、2第一凹槽、3第一气缸、4第三气缸、5第一连接柱、6第二连接柱、7横梁、8电动机、9固定架、10出液管、11抛光工件、12夹持固定装置、13第二凹槽、14固定块、15第二气缸、16第三凹槽、17第一夹持块、18弹簧、19活动夹板、20第二夹持块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-2，一种图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括底座1，底座1安装有第一气缸3和第一连接柱5，第一气缸3位于第一连接柱5的一侧，第一气缸3远离第一连接柱5的一侧设有第一凹槽2，第一凹槽2内滑动连接有夹持固定装置12，第一气缸3的活塞杆焊接有夹持固定装置12装置，夹持固定装置12包括固定块14，固定块14上开有第二凹槽13，第二凹槽13内设有第一夹持块17和第二夹持块20，第一夹持块17和第二夹持块20的截面均为L形，第一夹持块17的侧壁底端开有第三凹槽16，第三凹槽16内设有第二气缸15，第二气缸15的输出轴连接有第二夹持块20，第二夹持块20的底端侧壁与第三凹槽16的侧壁滑动连接，第一夹持块17靠近第二夹持块20的一侧设有活动夹板19，活动夹板19与第一夹持块17之间连接有弹簧18，第一连接柱5的顶端开有第四凹槽，第四凹槽内设有垂直设置的第三气缸4，第三气缸4的活塞杆连接有第二连接柱6，第二连接柱6与第四凹槽的侧壁滑动连接，第二连接柱6的顶端焊接有横梁7，横梁7的顶端安装有电动机8，电动机8的输出轴连接有固定架9，固定架9位于横梁7的下方，固定架9上安装有两个出液管10，固定架9的底端安装有抛光工件11，夹持固定装置12的底端设有两个滑块，第一凹槽2的底端侧壁上设有两个平行设置的滑轨，滑块与滑轨相配合，活动夹板19与第一夹持块17之间连接有四个弹簧18，且四个弹簧18分别安装在活动夹板19的四角，底座1上开有导液槽，导液槽位于第一凹槽2的底端，底座1的侧壁上设有接料箱，导液槽的出液口位于接料箱的顶端，第一夹持块17和第二夹持块20对称设置，且第一夹持块17和第二夹持块20的顶端位于同一直线上，出液管10的底端连接有喷头。工作原理：将蓝宝石衬底通过活动夹板19和弹簧18的作用固定在活动夹板19和第二夹持块20之间，通过第二气缸16带动第二夹持块20运动，第一夹持块17和第二夹持块20对蓝宝石衬底进行二次固定，稳固性更高，通过第一气缸3带动夹持固定装置12在第一凹槽2内运动，调整蓝宝石衬底与抛光工件11的左右位置，通过第三气缸4带动第二连接柱6向下运动，使得抛光工件11靠近蓝宝石衬底，通过电动机8带动固定架9和抛光工件11转动，对蓝宝石衬底进行抛光11，通过出液管10向蓝宝石衬底喷洒研磨液。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）安装有第一气缸（3）和第一连接柱（5），第一气缸（3）位于第一连接柱（5）的一侧，第一气缸（3）远离第一连接柱（5）的一侧设有第一凹槽（2），第一凹槽（2）内滑动连接有夹持固定装置（12），第一气缸（3）的活塞杆焊接有夹持固定装置（12）装置，所述夹持固定装置（12）包括固定块（14），固定块（14）上开有第二凹槽（13），第二凹槽（13）内设有第一夹持块（17）和第二夹持块（20），第一夹持块（17）和第二夹持块（20）的截面均为L形，第一夹持块（17）的侧壁底端开有第三凹槽（16），第三凹槽（16）内设有第二气缸（15），第二气缸（15）的输出轴连接有第二夹持块（20），第二夹持块（20）的底端侧壁与第三凹槽（16）的侧壁滑动连接，第一夹持块（17）靠近第二夹持块（20）的一侧设有活动夹板（19），活动夹板（19）与第一夹持块（17）之间连接有弹簧（18），所述第一连接柱（5）的顶端开有第四凹槽，第四凹槽内设有垂直设置的第三气缸（4），第三气缸（4）的活塞杆连接有第二连接柱（6），第二连接柱（6）与第四凹槽的侧壁滑动连接，所述第二连接柱（6）的顶端焊接有横梁（7），横梁（7）的顶端安装有电动机（8），电动机（8）的输出轴连接有固定架（9），固定架（9）位于横梁（7）的下方，固定架（9）上安装有两个出液管（10），固定架（9）的底端安装有抛光工件（11）。...

【技术特征摘要】
1.一种图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）安装有第一气缸（3）和第一连接柱（5），第一气缸（3）位于第一连接柱（5）的一侧，第一气缸（3）远离第一连接柱（5）的一侧设有第一凹槽（2），第一凹槽（2）内滑动连接有夹持固定装置（12），第一气缸（3）的活塞杆焊接有夹持固定装置（12）装置，所述夹持固定装置（12）包括固定块（14），固定块（14）上开有第二凹槽（13），第二凹槽（13）内设有第一夹持块（17）和第二夹持块（20），第一夹持块（17）和第二夹持块（20）的截面均为L形，第一夹持块（17）的侧壁底端开有第三凹槽（16），第三凹槽（16）内设有第二气缸（15），第二气缸（15）的输出轴连接有第二夹持块（20），第二夹持块（20）的底端侧壁与第三凹槽（16）的侧壁滑动连接，第一夹持块（17）靠近第二夹持块（20）的一侧设有活动夹板（19），活动夹板（19）与第一夹持块（17）之间连接有弹簧（18），所述第一连接柱（5）的顶端开有第四凹槽，第四凹槽内设有垂直设置的第三气缸（4），第三气缸（4）的活塞杆连接有第二连接柱（6），第二连接柱（6）与第四凹槽的侧壁滑动连接，所述第二连接柱（6）的顶端焊接...

【专利技术属性】
技术研发人员：仇凯弘，侯想，
申请(专利权)人：福建中晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35