自动倒废光刻胶装置制造方法及图纸

技术编号:33498220 阅读:31 留言:0更新日期:2022-05-19 01:09
本实用新型专利技术涉及光刻胶废液收集装置技术领域,尤其涉及一种自动倒废光刻胶装置。其技术方案包括:工作架与爬梯,工作架的顶部设置有两组进料口,工作架的顶部均匀设置有固定架,固定架中均设置有下料机构,进料口的底部设置有灌装漏斗,且进料口远离固定架的一端设置有导料板,下料机构包括有翻斗架,翻斗架的左右两端均固定设置有连接杆,连接杆均与固定架转动连接。通过锥齿轮、连接杆、弹簧、抵接件、翻斗架、灌装漏斗和滚轮的配合,实现能够代替工作人员对废液塑料桶中的废液倒出,使得倒液过程中液体流畅排出,且通过两组翻斗架相反旋转的配合,有效的提高了废液灌装的作业效率。有效的提高了废液灌装的作业效率。有效的提高了废液灌装的作业效率。

【技术实现步骤摘要】
自动倒废光刻胶装置


[0001]本技术涉及光刻胶废液收集装置
,尤其涉及一种自动倒废光刻胶装置。

技术介绍

[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X 射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。
[0003]光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。废光刻胶里面含有丙酮、乙丙醇、去边液等,生产车间经过光刻机用后的废液会装在20L的塑料桶,集中转移到危废仓库后,统一再倒入装危废液的吨桶里。
[0004]原对废液灌装入吨桶中,是通过工作人员爬到吨桶的顶部,再佩戴上防毒面具,将20L容量装有废液的塑料桶的一桶一桶提起向吨桶中顷倒。
[0005]在快速倒液体时,液体会迅速度堵住瓶口,造成瓶内气压低,外部空气挤压进去以达到内外气压平衡,这样一堵一挤,造成液体断断续续,因此在顷倒过程中,需要缓慢的变换角度,给瓶口流出进气通道,内外气压时刻处于平衡,才可使得液体流畅的倒出来,因此,较为耗时费力,经计算,收集一吨废液需要3个工时,效率很低;
[0006]由于这种废光刻胶挥发出来的气体存在有毒有害物质,工作人员吸入后会出现头晕的现象,因此安全危险系数较高,故需要对其作出改进。

技术实现思路

[0007]本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题,提出一种便于顷倒的自动倒废光刻胶装置。
[0008]本技术的技术方案:自动倒废光刻胶装置,包括工作架与爬梯,所述工作架的顶部设置有两组进料口,所述工作架的顶部均匀设置有固定架,所述固定架中均设置有下料机构,进料口的底部设置有灌装漏斗,且进料口远离所述固定架的一端设置有导料板。
[0009]优选的,下料机构包括有翻斗架,所述翻斗架的左右两端均固定设置有连接杆,所述连接杆均与所述固定架转动连接。
[0010]优选的,所述工作架的顶部设置有安装架,所述安装架的顶部设置有电机,所述电机的输出端设置有转轴。
[0011]优选的,相邻两组所述连接杆的一端均设置有第一锥齿轮,所述转轴的外端设置有第二锥齿轮,所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合。
[0012]优选的,所述翻斗架的一端均设置有矩形件,所述矩形件均设有开口向下的夹腔,夹腔中均匀设置有弹簧,并嵌入有限位块,所述限位块的底部转动设置有滚动杆。
[0013]优选的,所述翻斗架设置有内腔,内腔的腔壁均匀开设有矩形槽,矩形槽中均匀转动设置有滚轮。
[0014]与现有技术相比,本技术具有如下有益的技术效果:
[0015]通过锥齿轮、连接杆、弹簧、抵接件、翻斗架、灌装漏斗和滚轮的配合,实现能够代替工作人员对废液塑料桶中的废液倒出,使得倒液过程中液体流畅排出,且通过两组翻斗架相反旋转的配合,有效的提高了废液灌装的作业效率。
附图说明
[0016]图1给出本技术一种实施例的左视结构示意图;
[0017]图2为图1的正视剖面结构示意图;
[0018]图3为图1中下料机构结构示意图;
[0019]图4为图1中翻斗架正视剖面结构示意图。
[0020]附图标记:1

工作架,111

橡胶条,112

爬梯,2

安装架,3
‑ꢀ
灌装漏斗,4

电机,5

导料板,6

翻斗架,601

连接杆,7

固定架, 8

矩形件,9

弹簧,10

限位块,11

滚动杆,101

U形架,102

第一防护杆,103

第二防护杆,104

第三防护杆,12

第一锥齿轮,121
‑ꢀ
第二锥齿轮,13

转轴,14

滚轮。
具体实施方式
[0021]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0022]实施例一
[0023]如图1

4所示,本技术提出的自动倒废光刻胶装置,包括工作架1与爬梯112,工作架1的顶部设置有两组进料口,工作架1的顶部均匀设置有固定架7,固定架7中均设置有下料机构,进料口的底部设置有灌装漏斗3,且进料口远离固定架7的一端设置有导料板5,翻斗架6的一端均设置有矩形件8,矩形件8均设有开口向下的夹腔,夹腔中均匀设置有弹簧9,并嵌入有限位块10,限位块10的底部转动设置有滚动杆11,翻斗架6设置有内腔,内腔的腔壁均匀开设有矩形槽,矩形槽中均匀转动设置有滚轮14。
[0024]本实施例中,在作业时,工作架1的底部会放置有收集废光刻胶用的吨桶,使得吨桶的进料口处与灌装漏斗3的底部连通,由于废光刻胶里面含有丙酮、乙丙醇、去边液等,在废光刻胶挥发出来的气体存在有毒有害物质,工作人员吸入后会出现头晕的现象,因此工作人员佩戴防毒面罩后,通过爬梯112爬到工作架1的顶部,再对塑料桶进行安装。因为两组翻斗架6的设置方向相反,目的是在其中一组翻斗架6带动塑料桶进行翻转倒液时,工作人员可以对另外一组翻斗架 6上安装的塑料桶进行拆卸,并换上未倒液的塑料桶,以此提高灌装的效率,节省灌装时间。
[0025]先对正向的翻斗架6进行安装,也就是矩形件8向上的一组,先将灌装有废料的塑料桶底部放入翻斗架6所设的内腔中,使得塑料桶的底部经过U形架101的顶部进入内腔中,且废液塑料桶的顶部灌装口处要靠近工作人员进行安装,由于顶部设置有限位块10进行限位,此时工作人员施力将限位块10向夹腔中移动,此时弹簧9回缩,带动限位块10移动至夹腔中,使得塑料桶进入内腔中,翻斗架6的顶部设置有第三防护杆104与第二防护杆103,第二防护杆103优先设置为L形直角杆,以此为塑料桶的出料口处留得放置空间,使得第二防护杆103的外端对准塑料桶的出料口,再松开限位块10,此时弹簧9回弹,在弹簧9的作用下,带动限位块10向下移动,对废液塑料桶在翻转倒液时,对塑料桶的侧面进行防护,避免塑料
桶滑落掉出翻斗架6。
[0026]翻斗架6内腔的腔壁中所设的滚轮14能够使得塑料桶翻转倒液时,平稳的在内腔中移动。
[0027]实施例二
[0028]如图1

3所示,本技术提出的自动倒废光刻胶装置,相较于实施例一,本实施例还包括下料机构包括有翻斗架6,翻斗架6的左右两端均固定设置有连接杆601,连接杆601均与固定架7转动连接,工作架1的顶部设置有架安装架2,安装架2的顶部设置有电机4,电机4的输出端设置有转轴13,相邻两组连接杆601的一端均设置有第一锥齿轮12,转轴13的外端设置有第二锥齿轮121,第一锥齿轮本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.自动倒废光刻胶装置,包括工作架(1)与爬梯(112),所述工作架(1)的顶部设置有两组进料口,其特征在于:所述工作架(1)的顶部均匀设置有固定架(7),所述固定架(7)中均设置有下料机构,进料口的底部设置有灌装漏斗(3),且进料口远离所述固定架(7)的一端设置有导料板(5)。2.根据权利要求1所述的自动倒废光刻胶装置,其特征在于:下料机构包括有翻斗架(6),所述翻斗架(6)的左右两端均固定设置有连接杆(601),所述连接杆(601)均与所述固定架(7)转动连接。3.根据权利要求2所述的自动倒废光刻胶装置,其特征在于:所述工作架(1)的顶部设置有安装架(2),所述安装架(2)的顶部设置有电机(4),所述电机(4)的输出端设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:王友林孔令滨沈伟辉卢建周张坤珏廖健
申请(专利权)人:福建中晶科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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