【技术实现步骤摘要】
基于圆弧铰链夹持与多自由度解耦的圆柱度仪水平导轨驱动装置
本专利技术属于精密测量与仪器
,特别涉及一种基于圆弧铰链夹持与多自由度解耦的圆柱度仪水平导轨驱动装置。
技术介绍
在精密测量与仪器
,直线基准是精密/超精密测量仪器、试验装备与制造装备中的核心技术之一。影响导轨直线运动精度的因素主要有装配误差和驱动机构的干扰,这就对导轨的装配提出了严峻的挑战,也对驱动力的传递方式提出了更高的要求。清华大学提出了两自由度运动解耦柔性铰链机构(专利公开号:CN104895913A),该装置包括柔性铰链支链和刚性连接件,刚性连接件包括位于柔性铰链基体中间部分的终端刚性输出平台和分别位于柔性铰链基体上、下、左、右部分的上端、下端、左端、右端刚性平台;通过该专利技术的两自由度运动解耦柔性铰链机构可以实现终端各向运动和力之间的解耦,从而有助于提高两自由度运动解耦柔性铰链机构的运动精度,但是该专利技术只能解决二维平面内的运动解耦问题,使用起来具有一定的局限性。浙江工业大学提出了一种全解耦动态平衡装置(专利公开号:CN103116362A),该装置包括基座和工作台,工作台底面安 ...
【技术保护点】
一种基于圆弧铰链夹持与多自由度解耦的圆柱度仪水平导轨驱动装置,其特征在于:该装置包括夹持部件(A)、倾斜角调节部件(B)和转角调节部件(C),夹持部件(A)呈四面环绕式夹持精密气浮导轨(E),转角调节部件(C)安装在驱动部件(D)的凹槽内;夹持部件(A)包括矩形框架(1)、支承方向铰链(2)、导向方向铰链(3)、弧形槽(4)、减摩片(5)、紧定螺钉(6)、支承方向调节顶丝(7)、导向方向调节顶丝(8);矩形框架(1)内侧加工有弧形槽(4),紧定螺钉(6)用以固定矩形框架(1),减摩片(5)贴在矩形框架(1)的4个内壁上,支承方向调节顶丝(7)作用在支承方向铰链(2)上,导向 ...
【技术特征摘要】
1.一种基于圆弧铰链夹持与多自由度解耦的圆柱度仪水平导轨驱动装置,其特征在于:该装置包括夹持部件(A)、倾斜角调节部件(B)和转角调节部件(C),夹持部件(A)呈四面环绕式夹持精密气浮导轨(E),转角调节部件(C)安装在驱动部件(D)的凹槽内;夹持部件(A)包括矩形框架(1)、支承方向铰链(2)、导向方向铰链(3)、弧形槽(4)、减摩片(5)、紧定螺钉(6)、支承方向调节顶丝(7)、导向方向调节顶丝(8);矩形框架(1)内侧加工有弧形槽(4),紧定螺钉(6)用以固定矩形框架(1),减摩片(5)贴在矩形框架(1)的4个内壁上,支承方向调节顶丝(7)作用在支承方向铰链(2)上,导向方向调节顶丝(8)作用在导向方向铰链(3)上;精密气浮导轨(E)安装在矩形框架(1)内,且精密气浮导轨(E)的4个工作面均由减摩片(5)压紧;倾斜角调节部件(B)包括U型框架(9)、调节铰链(10)、保持架(11)、限位柱(12)、滑块(13)、钢珠A(14);U型框架(9)内安装有限位柱(12),用以限制滑块(13)的滑动,U型框架(9)与滑块(13)之间为滚动摩擦;保持架(11)上加工有两排圆柱形通孔,通孔内嵌钢珠A(14);在倾斜角调节部件(B)的上端,U型框架(9)与矩形框架(1)通过螺纹结构连接;转角调节部件(C)包括回转轴(15)、上外壳(16)、转接凸台(17)、下外壳(18)、下保持架(19)、上保持架(20)、筒型框架(21)、筒型保持架(22)、钢珠B(23)、调整垫块(24)、底部端盖(25);转接凸台(17)与驱动部件(D)螺纹连接;筒型框架(21)的外侧同心安装有上外壳(16)和下外壳(18);筒型框架(21)的内侧由上至下依次同心安装有上保持架(20)、筒型保持架(22)和下保持架(19);上保持架(20)、下保持架(19)和筒型保持架(22)上均加工有周向均匀分布的圆柱形通孔,通孔内嵌钢珠B(23);上保持架(20)、筒型保持架(22)和下保持架(19)内侧同心安装有回转轴(15),回转轴(15)与筒型框架(21)之间为滚动摩擦;回转轴(15)...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄景志,温众普,胡星烨,谭久彬,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:黑龙江,23
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