基板支撑杆制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基板支撑杆，包括：外支撑杆，其为一表面开口的盒体结构；内支撑杆，容置于所述外支撑杆内，具有用于支撑基板的支撑面；用于控制所述内支撑杆做升降运动以使得所述内支撑杆在第一状态和第二状态之间变化的升降结构，所述升降结构包括一穿过所述外支撑杆的底部以支撑所述内支撑杆的连接杆；防静电液涂覆结构，用于在所述内支撑杆位于所述第一状态时，在所述内支撑杆上涂覆防静电液；其中，所述第一状态为所述内支撑杆完全位于所述外支撑杆内部，所述第二状态为所述内支撑杆的所述支撑面与所述外支撑杆的具有开口的表面平齐。实现防静电液的自动涂覆，防止涂覆防静电液时对基板等的污染、且避免人身危害。

【技术实现步骤摘要】
基板支撑杆
本技术涉及液晶产品制作
，尤其涉及一种基板支撑杆。
技术介绍
在TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)领域的工艺制程中，曝光机主要是将掩膜版上的膜层进行对位并曝光在涂胶后的玻璃基板上，玻璃基板是通过基台进行承载，而Liftbar(支撑杆)主要起的作用是：Loading(装载)基板时，Liftbar升起，接收Robotarm(机器人手臂)送入曝光机内的基板，再降至基台表面，将基板均匀放置在基台表面上；Unloading(卸载)基板时，Liftbar升起，待Robotarm将基板取走后，等待下一片基板送入继续接收。ESD(静电释放)一直是LCD(液晶显示器)和半导体产业中的顽敌，曝光机在Unloading基板时，Liftbar将基板顶起与基台表面分离的瞬间，基台与基板之间会产生瞬时高压静电，将膜层击穿烧毁，从而产生ESD不良，随着设备老化，Liftbar磨损，这种不良会越来越严重。而通过在Liftbar表面涂覆防静电液，可以有效的防止ESD高发。目前使用的方法是在Liftbar表面手动涂覆防静电液，而这种方式不仅难以均匀全面的涂覆，使除静电能力变差，还存在很多风险。技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板支撑杆，其特征在于，包括：外支撑杆，其为一表面开口的盒体结构；内支撑杆，容置于所述外支撑杆内，具有用于支撑基板的支撑面；用于控制所述内支撑杆做升降运动以使得所述内支撑杆在第一状态和第二状态之间变化的升降结构；防静电液涂覆结构，用于在所述内支撑杆位于所述第一状态时，在所述内支撑杆上涂覆防静电液；其中，所述第一状态为所述内支撑杆完全位于所述外支撑杆内部，所述第二状态为所述内支撑杆的所述支撑面与所述外支撑杆的具有开口的表面平齐。

【技术特征摘要】
1.一种基板支撑杆，其特征在于，包括：外支撑杆，其为一表面开口的盒体结构；内支撑杆，容置于所述外支撑杆内，具有用于支撑基板的支撑面；用于控制所述内支撑杆做升降运动以使得所述内支撑杆在第一状态和第二状态之间变化的升降结构；防静电液涂覆结构，用于在所述内支撑杆位于所述第一状态时，在所述内支撑杆上涂覆防静电液；其中，所述第一状态为所述内支撑杆完全位于所述外支撑杆内部，所述第二状态为所述内支撑杆的所述支撑面与所述外支撑杆的具有开口的表面平齐。2.根据权利要求1所述的基板支撑杆，其特征在于，所述内支撑杆的边缘与所述外支撑杆之间具有缝隙。3.根据权利要求1或2所述的基板支撑杆，其特征在于，所述内支撑杆上设置有多个供防静电液通过的通孔；所述防静电液涂覆结构包括：固定于所述外支撑杆上与所述开口相对的表面的防静电液供给结构；用于将所述防静电液供给结构提供的防静电液输送至所述支撑面上的、数量与所述通孔对应的多个连接管，每个所述连接管的一端与所述防静电液供给结构连通，另一端与所述内支撑杆上的相应的通孔连通。4.根据权利要求3所述的基板支撑杆，其特征在于，所述连接管为可弯折的弹性软管。5.根据权利要求3所述的基板支撑杆，其特征在于，还包括防静电液回收结构，固定于所述外支撑杆上与所述开口相对的表面，并通过管道与所述外支撑杆内部连通。6.根据权利要求1所述的基板支撑杆，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：金宇，黄文同，张玉虎，刘小波，苏琦，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34