一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置，属于光电领域及微纳检测领域，本发明专利技术包括四个镀膜的直角棱镜,四个直角棱镜的直角面两两重合，四个直角棱镜的直角棱相重合，四个直角棱镜构成立方体棱镜。本发明专利技术可解决定中心和非定中心旋转的光程差测量问题，能够保证旋转光程差和位移光程差测得的光程差互不耦合。

A device for dispensing micro movement and rotation angle measurement

The invention discloses a device for dispensing micro movement and rotation angle measurement, which belongs to the photoelectric field and micro nano detection field, right angle prism of the invention comprises four coating, four rectangular prism angle 22 overlap, rectangular ridge four rectangular prisms coincide, four rectangular prism cube prism. The invention solves the problem of measuring the optical path difference of the center of rotation and the rotation of the non centering center, and can ensure that the optical path difference between the rotating optical path difference and the displacement optical path difference is mutually uncoupled.

【技术实现步骤摘要】
一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置
本专利技术涉及微纳操作平台的激光检测
，尤其涉及一种用于微纳移动及旋转角度测量的四棱镜配镜装置。
技术介绍
随着微纳操作技术的发展及应用，多自由度尤其是实现旋转自由度的微纳操作平台日益得到关注，目前非定中心的旋转问题、角位移和线位移的同步测量问题都没有得到很好的解决。激光干涉仪因分辨率高、非接触、受环境影响小、反应灵敏等优点广泛应用于各种精密测量系统中。目前多个激光干涉仪成套使用时，其光路的对称性得不到保证，纵向光路和横向光路不能够保证其相互垂直，当待测物同步发生位移和旋转时，不能够测量出位移和旋转的单独光程差。由于直角棱镜具有出射光束平行与入射光束的特性，所以被广泛的应用于精密的光学测量中。当微纳平台旋转时，依然可使激光干涉仪捕获到反射光进行干涉测量。但当在横向和纵向成对的放置直角棱镜时，不能够保证横向和纵向直角镜的相对垂直，因此，如何设计一种能够分辨光程差来源的配镜装置，是本领域技术人员亟需解决的。专利附图图1为直角棱镜；图2为直角棱镜组成的立方体；其中图1中的1和2为直角棱镜的镀膜面；图2中的1、2、3和4为直角棱镜。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置，其装置结构包括：由四个直角棱镜构成的立方体棱镜，所述直角棱镜的两个直角面上镀有反射膜，所述立方体棱镜的顶面镀有反光膜。

【技术特征摘要】
1.一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置，其装置结构包括：由四个直角棱镜构成的立方体棱镜，所述直角棱镜的两个直角面上镀有反射膜，所述立方体棱镜的顶面镀有反光膜。2.根据权利要求1所述的一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置，其特征在于，四个直角棱镜的直角边两两重合，四个直角棱镜的直角棱相重合，直角面上所镀的反光膜，其特征在于，四个直角棱镜的八...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蓓，刘雨，张承乾，闫鹏，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京,11