下载一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置的技术资料

文档序号:15838656

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本发明公开了一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置,属于光电领域及微纳检测领域,本发明包括四个镀膜的直角棱镜,四个直角棱镜的直角面两两重合,四个直角棱镜的直角棱相重合,四个直角棱镜构成立方体棱镜。本发明可解决定中心和非定中心旋转的光程差测...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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