自动变焦装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种自动变焦装置，其包括移动限制模块、驱动模块、激光源底座模块、连接片和压杆，所述移动限制模块与驱动模块通过所述连接片相连，所述驱动模块与激光源底座模块通过上述压杆相连，所述移动限制模块包括导轨以及滑块，所述滑块的一部分内嵌于所述导轨中，所述导轨包括导轨主体部和导轨磁性部，所述滑块包括滑块主体部和滑块磁性部，所述导轨磁性部和滑块磁性部极性相同，并且，所述导轨磁性部和所述滑块磁性部之间具有一间隙。解决了传统的自动变焦装置在使用过程中，滑块与导轨之间产生摩擦阻力，进而导致导轨和螺纹丝杆变形的问题。

【技术实现步骤摘要】
自动变焦装置
本技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种自动变焦装置。
技术介绍
如图1所示，其是传统的自动变焦装置的示意图，其包括移动限制模块、驱动模块、激光源底座模块、连接片101和压杆102；所述移动限制模块包括导轨111、滑块112、挡片113和光线传感器114、115，所述滑块112部分内嵌于所述导轨111(如图2所示)，所述滑块112靠近所述光线传感器114一端连接有所述挡片113，所述挡片113位于所述光线传感器114和光线传感器115之间；所述驱动模块包括变焦马达121、螺纹丝杆122和连接块123，所述螺纹丝杆122穿过所述连接块123并与所述变焦马达121连接，所述螺纹丝杆122为表面连接有螺旋形纹路的杆状物，所述连接块123与所述螺纹丝杆122接触部分有与所述螺纹丝杆122匹配的纹路；所述激光源底座模块包括激光源底座131和位于激光源底座131上的激光源132；所述滑块112未连接挡片113的一端通过连接片101与所述连接块123靠近导轨的一端相连接；所述连接块123背离导轨一端(即靠近所述激光源底座131一端)通过所述压杆102与所述激光源底座131相连接。继续参阅图1，当所述变焦马达转动121转动时，会带动所述螺纹丝杆122转动，由于所述连接块123与所述螺纹丝杆122接触部分分布有与所述螺纹丝杆122相匹配的纹路，所以当所述螺纹丝杆转122转动时，所述螺纹丝杆122上的连接块123会随之在X轴方向移动，进而，所述连接块123带动所述滑块112沿导轨(即X轴方向)移动，由于所述滑块112一端连接有所述挡片113，当所述挡片113靠近所述光线传感器114或者所述光线传感器115时，所述变焦马达121会停止转动，从而达到限制所述滑块112和所述连接块123位移量的作用。所述连接块123移动时，同时也会带动与之相连的压杆102产生位移，由于所述压杆102固定于在X轴方向无法移动的所述激光源底座131上，故所述压杆102会产生Y轴方向上的位移，同时带动所述激光源底座131也产生Y轴方向上的位移，所述激光源132就安装于所述激光源底座131上。在进行晶圆表面缺陷检测时，待检测晶圆就放置于所述激光源底座131下方，所述激光源132产生激光照射于晶圆待检测位置，当所述激光源底座131产生Y轴方向上的位移时，所述激光源132与下方晶圆的距离也随之改变，即，焦距随之改变，从而达到自动变焦的功能。由于所述滑块112和所述连接块111的位移量被限制，所以焦距的变焦范围也受到相应限制。如图2所示，其是所述自动变焦装置的导轨111和滑块112的截面图，所述导轨111与所述滑块112直接接触。由于所述滑块112与所述连接块123之间的连接片101为倾斜设置，其拉动所述滑块112时，会产生一沿Y轴负轴方向的分力，同时所述连接块123也会受到一沿Y轴正轴方向的分力。由于所述导轨111与所述滑块112直接接触，所以所述滑块112滑动时会受到摩擦阻力，使得所述变焦马达121需要一较大的力才能拉动所述滑块112，此时所述滑块112以及与之连接的导轨111受到的沿Y轴负轴方向的分力也较大，同时所述连接块123以及与之连接的螺纹丝杆122受到的沿Y轴正轴方向的力也较大，在长时间使用后，所述导轨111和所述螺纹丝杆122会产生变形，并导致所述滑块112在滑动时会由于所述导轨111不水平而卡住。此时进行人工复位时，需要更大的力对所述滑块112拉动，导致所述导轨111与所述螺纹丝杆122进一步变形。综上所述，如何减小甚至消除所述滑块112滑动时与所述导轨111之间的摩擦阻力，成为亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术提供了一种自动变焦装置，以解决传统的自动变焦装置在使用过程中，滑块与导轨之间产生摩擦阻力，进而导致导轨和螺纹丝杆变形的问题。本技术提供了一种自动变焦装置，其包括移动限制模块、驱动模块、激光源底座模块、连接片和压杆，所述移动限制模块与驱动模块通过所述连接片相连，所述驱动模块与激光源底座模块通过上述压杆相连，所述移动限制模块包括导轨以及滑块，所述滑块的一部分内嵌于所述导轨中，所述导轨包括导轨主体部和导轨磁性部，所述滑块包括滑块主体部和滑块磁性部，所述导轨磁性部和滑块磁性部极性相同，并且，所述导轨磁性部和所述滑块磁性部之间具有一间隙。可选的，所述导轨主体部为一具有缺口的轨道结构，所述导轨磁性部位于所述导轨主体部具有缺口的一面的内部；所述滑块主体部的一部分内嵌于所述导轨主体部中，所述滑块磁性部与所述导轨磁性部相对设置。可选的，所述导轨主体部为一具有缺口的轨道结构，所述导轨磁性部位于所述导轨主体部内部带缺口一面的内部，以及与所述带缺口一面相接的两侧面的内部；所述滑块主体部的一部分内嵌于所述导轨主体部中，所述滑块磁性部与所述导轨磁性部相对设置。可选的，所述移动限制模块还包括若干个传感器，所述传感器安装于所述滑块沿所述导轨滑动的路线上。进一步，所述传感器的数量为两个，两个所述传感器之间的距离为所述滑块最大的位移量。更进一步，所述传感器为光线传感器。可选的，所述激光源底座模块包括一激光源底座以及安装在所述激光源底座上的激光源。可选的，所述驱动模块包括变焦马达、螺纹丝杆和连接块，所述螺纹丝杆穿过所述连接块与变焦马达连接；所述连接块靠近滑块一端与连接片的一端相连，所述连接片的另一端与所述滑块相连；所述连接块靠近激光源底座一端与所述压杆的一端相连，所述压杆的另一端与所述激光源底座相连。进一步，所述螺纹丝杆为表面设置有螺旋形纹路的杆状物。更进一步，所述连接块与所述螺纹丝杆接触部分设置有与所述螺纹丝杆匹配的纹路。可选的，所述导轨主体部和滑块主体部为塑料材质。采用本技术提供的自动变焦装置进行自动变焦时，由于导轨和滑块各自包括磁性部，并且，导轨磁性部和滑块磁性部极性相同，使得导轨磁性部和滑块磁性部之间具有一间隙，即使得滑块与导轨之间不直接接触，因此滑块滑动时不会受到摩擦阻力，可减小所述驱动模块拉动滑块所需的拉力，减小所述导轨和所述驱动模块受到的竖直方向的分力，进而避免导轨和/或螺纹丝杆变形的问题。附图说明图1是传统的自动变焦装置的示意图；图2是传统的自动变焦装置的导轨和滑块的截面示意图；图3是本技术实施例一提供的自动变焦装置的示意图；图4是本技术实施例一提供的自动变焦装置的导轨和滑块的截面示意图；图5是本技术实施例二提供的自动变焦装置的导轨和滑块的截面示意图；附图1-附图3的标记说明如下：101、201-连接片；102、202-压杆；111、211、311-导轨；112、212、312-滑块；113、213-挡片；114、214、115、215-光线传感器；121、221-变焦马达；122、222-螺纹丝杆；123、223-连接块；131、231-激光源底座；132、232-激光源；2111、3111-导轨主体部；2112、3112-导轨磁性部；2121、3121-滑块主体部；2122、3122-滑块磁性部。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的自动变焦装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动变焦装置，其包括移动限制模块、驱动模块、激光源底座模块、连接片和压杆，所述移动限制模块与驱动模块通过所述连接片相连，所述驱动模块与激光源底座模块通过上述压杆相连，所述移动限制模块包括导轨以及滑块，所述滑块的一部分内嵌于所述导轨中，其特征在于，所述导轨包括导轨主体部和导轨磁性部，所述滑块包括滑块主体部和滑块磁性部，所述导轨磁性部和滑块磁性部极性相同，并且，所述导轨磁性部和所述滑块磁性部之间具有一间隙。

【技术特征摘要】
1.一种自动变焦装置，其包括移动限制模块、驱动模块、激光源底座模块、连接片和压杆，所述移动限制模块与驱动模块通过所述连接片相连，所述驱动模块与激光源底座模块通过上述压杆相连，所述移动限制模块包括导轨以及滑块，所述滑块的一部分内嵌于所述导轨中，其特征在于，所述导轨包括导轨主体部和导轨磁性部，所述滑块包括滑块主体部和滑块磁性部，所述导轨磁性部和滑块磁性部极性相同，并且，所述导轨磁性部和所述滑块磁性部之间具有一间隙。2.如权利要求1所述的自动变焦装置，其特征在于，所述导轨主体部为一具有缺口的轨道结构，所述导轨磁性部位于所述导轨主体部具有缺口的一面的内部，所述滑块主体部的一部分内嵌于所述导轨主体部中，所述滑块磁性部与所述导轨磁性部相对设置。3.如权利要求1所述的自动变焦装置，其特征在于，所述导轨主体部为一具有缺口的轨道结构，所述导轨磁性部部分位于所述导轨主体部内部带缺口一面的内部以及与所述带缺口一面相连接的两侧面的内部；所述滑块主体部的一部分内嵌于所述导轨主体部中，所述滑块磁性部与所述导轨磁性部相对设置。4.如权利要求1-3中任一项所述的自动变焦装置，其特征在于，所述移动限制模块还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐纯，赵开乾，莫少文，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31