基于线性酚树脂的高酸解活性酯醚化合物或醚化合物及其合成方法技术

公开了一种基于线性酚树脂的高酸解活性酯醚化合物或醚化合物及其合成方法。本发明专利技术的基于线性酚树脂的高酸解活性酯醚化合物或醚化合物利用聚对羟基苯乙烯（ＰＨＳ）、线性酚醛树脂以及其它含酚类基团的线性高分子先与酯化试剂进行部分酯化，然后进一步与醚化试剂在溶剂中，在酸催化或无酸催化的条件下进行醚化合成，其醚化转化率可接近１００％且醚化速度也非常快，是现有技术中未曾见到过的。用这种高酸解活性酯醚化合物或醚化合物所配制的感射线组合物在红外、紫外、电子束的作用下，可通过酸解促溶的反应机制获得阳图图像（在稀碱显影液中）及阴图图像（在有机溶剂显影液中），在热敏ＣＴＰ版和光致抗蚀剂方面有良好应用前景。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及成像信息记录用功能高分子新材料。具体而言，本专利技术涉及基于线性酚树脂的高酸解活性酯醚化合物或醚化合物，其通过利用红外、紫外、电子射线作为物理刺激源由射线产酸源产生的酸而发生酸解，从而在显影液中显影得到图像，因此能作为热敏CTP版、传统PS版的光活性化合物；也可作光致抗蚀剂、电子束抗蚀剂或化学增幅抗蚀剂等功能高分子。本专利技术还涉及这些酯醚化合物或醚化合物的合成方法。
技术介绍
以往感光、感X射线、感电子射线的正性抗蚀剂有过许多报道，其中正性光致抗蚀剂中的光活性化合物都用重氮萘醌磺酸酯。八十年代初IBM公司研制开发出化学增幅抗蚀剂，当时就使用酸解脱保护基的基本原理，在感光组合物中，主体组分为叔丁氧甲酸聚对羟基苯乙烯酯，它是一种遇质子酸在120℃左右可以脱去保护基(其中叔丁氧甲酰基被除去，重新形成聚对羟基苯乙烯)的光功能或酸解功能的高分子，所以将它与产酸源以适当比例混合可作成化学增幅抗蚀剂。遗憾的是这一体系的感度较低，酸解必须在较高温度下进行，显影前必须预烘，不但工艺复杂而且由于预烘过程导致图像的缺陷产生。进入九十年代，人们较多的考虑用氯甲基烷基醚、乙烯基烷基醚、二氢本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于线性酚树脂的高酸解活性酯醚化合物或醚化合物，其中线性酚树脂中酚羟基的酯化率为０－４０％且醚化率为２０－１００％。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余尚先，王雪飞，顾江楠，邹应全，
申请(专利权)人：北京师范大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]