A device for conical or spherical workpiece etching, the workpiece table includes a level, the workpiece table is fixedly connected with at least one level of the first bevel gear, the first bevel gear is provided with tilt table coaxial rotating, the tilt table includes a angle with the horizontal plane to support 10 45 degrees, the supporting part is provided with a rotatable supporting rod, the supporting rod second is provided with a bevel gear with the first bevel gear meshing. A conical or spherical workpiece device used for etching provided by the invention can ensure the conical or spherical workpiece in eccentric rotation continuously in different parts of the etching and the ion source etching was instantly formed etching of the same distance with the same etching angle, so that it can guarantee the consistency of cone shaped or spherical workpiece in different positions the etching, the etching uniformity is good, which can guarantee the product performance of etching production.
【技术实现步骤摘要】
一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置
本专利技术涉及离子束加工
,特别涉及一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置。
技术介绍
在航天航空等诸多领域,各种锥形或球冠形工件非常多,很多产品需要在锥面或球冠表面通过刻蚀技术获得刻蚀深度一致的各种图形。特别是在航空航天领域中,各种锥形或球冠形工件的材料通常采用超硬的材料,因此这种刻蚀多采用离子束刻蚀方法。由于产生离子束的离子源是平面的,所以离子束对平面样品轰击刻蚀时,往往能获得较好的刻蚀均匀性,现有的对锥形或球冠形工件进行离子束刻蚀的方法,通常是使锥形或球冠形工件在与离子源平行的平面内自转,从而进行刻蚀,但是由于锥形或球冠形工件上不同位置与离子源的距离、角度不同,而离子束轰击时,不同距离,特别是不同入射角度的刻蚀速率差异很大,这样就造成的锥形或球冠形工件最终刻蚀槽的深度不同,即刻蚀均匀性较差,严重影响产品性能。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置,以减少或避免前面所提到的问题。为解决上述技术问题,本专利技术提出了一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置,其用于在真空腔室中对锥形或球冠形工件进行离子束刻蚀,其包括一个水平的工件台,所述工件台固定连接有至少一个水平的第一锥齿轮,所述第一锥齿轮设置有同轴可旋转的倾斜台,所述倾斜台包括一个与所述水平面的夹角为10-45°的支撑部,所述支撑部设置有一个可旋转的支撑杆,所述支撑杆设置有一个与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮。优选地,所述支撑杆为可伸缩杆。优选地,所述支撑杆是自锁液压/气压杆。优选地,所述支撑杆设置有可拆卸的端头部。优选地,所述倾 ...
【技术保护点】
一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置,其特征在于,其用于在真空腔室中对锥形或球冠形工件进行离子束刻蚀,其包括一个水平的工件台,所述工件台固定连接有至少一个水平的第一锥齿轮,所述第一锥齿轮设置有同轴可旋转的倾斜台,所述倾斜台包括一个与所述水平面的夹角为10‑45°的支撑部,所述支撑部设置有一个可旋转的支撑杆,所述支撑杆设置有一个与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮。
【技术特征摘要】
1.一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置,其特征在于,其用于在真空腔室中对锥形或球冠形工件进行离子束刻蚀,其包括一个水平的工件台,所述工件台固定连接有至少一个水平的第一锥齿轮,所述第一锥齿轮设置有同轴可旋转的倾斜台,所述倾斜台包括一个与所述水平面的夹角为10-45°的支撑部,所述支撑部设置有一个可旋转的支撑杆,所述支撑杆设置有一个与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮。2.根据权利要求1所述的用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置,其特征在于,所述支撑杆为可伸缩杆...
【专利技术属性】
技术研发人员:关江敏,孙洁,
申请(专利权)人:北京创世威纳科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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