一种多晶硅铸锭炉的隔热结构制造技术

本实用新型专利技术涉及多晶硅铸锭炉辅助设备，旨在提供一种多晶硅铸锭炉的隔热结构。该种多晶硅铸锭炉的隔热结构包括隔热层、隔热层导向机构、隔热层驱动机构，隔热层为三层，且其中两层隔热层上开有规则或不规则几何形状的流通孔。本实用新型专利技术通过控制三层隔热层的开合程度，可以有效控制长晶过程中的温度变化；同时，由于新隔热结构可以控制隔热层的开合程度，可以解决传统多晶炉长晶阶段由于底部温度大幅下降而导致的电能浪费问题，有效降低能耗，节省电能；另外，隔热层采用的是碳纤维材料，耐高温性能较好，高温状态下较为稳定，可以长时间使用；整个结构相对较为简单，易于控制。

Heat insulation structure of polycrystalline silicon ingot furnace

The utility model relates to an auxiliary device of a polycrystalline silicon ingot furnace, in order to provide a heat insulation structure of a polycrystalline silicon ingot furnace. The insulation structure of a polycrystalline silicon ingot furnace comprises a heat insulation layer, insulating layer and insulation layer guiding mechanism, driving mechanism, heat insulation layer as the three layer, and two layer flow holes on the heat insulating layer has a regular or irregular geometry. The utility model through the opening degree control three insulation layer, can effectively control the temperature change in the crystal growth process; at the same time, because of the degree of opening of the new insulation structure can control the heat insulating layer, can solve the traditional polycrystalline growth furnace bottom due to temperature dropped and the energy wasting problem caused by the effective reduction of energy consumption in addition, save energy; heat insulation layer, the use of carbon fiber materials, high temperature performance, high temperature condition is stable, can be used for a long time; the whole structure is relatively simple, easy to control.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅铸锭炉的隔热结构
本技术是关于多晶硅铸锭炉辅助设备领域，特别涉及一种多晶硅铸锭炉的隔热结构。
技术介绍
目前，大多数多晶硅铸锭炉在其加热系统和底部冷却系统之间有一个单层或双层的隔热结构，通过控制该隔热结构的开合，控制加热系统和底部冷却系统之间的通断，从而实现加热系统的冷却和保温，然而，上述隔热结构只存在全开和全闭两种状态，无法有效控制长晶过程中的温度变化。现有技术多采用单层对开式的隔热结构，即采用单层的相向运动的两扇隔热结构，通过控制两扇隔热结构的开合，达到增大或减少冷却面积的方式，从而控制温度变化；但是，此方式存在较大缺陷：由于所采用的的是单层隔热结构，隔热效果相对较差，其次，开合过程中冷却面积均是由中间向四周变化，会导致中间冷却效果较好而四周较差，不利于长晶工艺调整。综上所述，改善隔热结构，使其能够控制长晶过程中的温度变化，已经成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能对长晶过程中温度变化实现控制的隔热结构。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：提供一种多晶硅铸锭炉的隔热结构，包括隔热层，还包括隔热层导向机构、隔热层驱动机构A、隔热层驱动机构B；所述隔热层包括上隔热层、中隔热层、下隔热层，且上隔热层与中隔热层之间、中隔热层与下隔热层之间之间通过中隔热层连接；所述上隔热层上开有均布的流通孔，且上隔热层固定不动；所述中隔热层上开有均布的流通孔，且该流通孔的形状、尺寸与上隔热层的流通孔相同；中隔热层采用两块对开式的隔热板实现，中隔热层还连接有隔热层驱动机构A，隔热层驱动机构A能带动两块隔热板A以对开式打开和关闭，用于调节中隔热层的流通孔与上隔热层的腰型孔的正对面积，且当两块隔热板A关闭时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位置错开，当两块隔热板A打开到合适位置时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位置重合；所述下隔热层采用两块对开式的隔热板B实现，且下隔热层连接有隔热层驱动机构B，隔热层驱动机构B能带动两块隔热板B以对开式打开和关闭；所述隔热层驱动机构A采用电机驱动，经过减速机之后，带动丝杠或直线运动单元运动，从而驱动中隔热层的两块隔热板A实现开合；所述隔热层驱动机构B采用气缸驱动，直接带动下隔热层的隔热板B运动，实现两块隔热板B开合。作为进一步的改进，所述上隔热层和中隔热层的流通孔都为腰型孔。作为进一步的改进，所述下隔热层采用两块对开式的碳纤维板实现。作为进一步的改进，所述上隔热层、中隔热层上开孔的面积均为整块板面积的65％。本技术的工作原理：当铸锭工艺处于熔料阶段时，通过控制隔热层驱动机构A，将中隔热层关闭，使上隔热层和中隔热层上的腰型孔正对面积为0，同时控制隔热层驱动机构B，将下隔热层关闭，实现良好地保温；当铸锭工艺处于长晶阶段时，通过控制隔热层驱动机构，将下隔热层完全打开，然后缓慢打开中隔热层，使得上隔热层和中隔热层上的腰型孔正对面积增大，操作者可以根据需要的温度调节中隔热层的开合程度，从而实现对长晶温度变化的控制。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过控制三层隔热层的开合程度，可以有效控制长晶过程中的温度变化；同时，由于新隔热结构可以控制隔热层的开合程度，可以解决传统多晶炉长晶阶段由于底部温度大幅下降而导致的电能浪费问题，有效降低能耗，节省电能。另外，隔热层采用的是碳纤维材料，耐高温性能较好，高温状态下较为稳定，可以长时间使用；整个结构相对较为简单，易于控制。附图说明图1为本技术的隔热层完全闭合时的结构示意图。图2为本技术的隔热层完全打开时的示意图。图3为本技术的隔热层完全闭合时的俯视图。图中的附图标记为：1上隔热层；2中隔热层；3下隔热层；4冷却系统；5隔热层导向机构；6隔热层驱动机构A；7隔热层驱动机构B。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细描述：如图1所示的一种多晶硅铸锭炉的隔热结构包括上隔热层1、中隔热层2、下隔热层3、隔热层导向机构5、隔热层驱动机构，用于安装在多晶硅铸锭炉的加热系统和底部冷却系统4之间。多晶硅铸锭炉的隔热结构的隔热层为三层，且其中两层隔热层上开有规则或不规则几何形状的流通孔，可通过隔热层的运动控制温度，实现对长晶温度变化的控制。所述上隔热层1上开有均布的腰型孔，开孔的面积为整块板的面积的65％，且上隔热层1固定不动。所述中隔热层2上开有均布的腰型孔，开孔的面积为整块板的面积的65％，且该腰型孔的形状、尺寸与上隔热层1的腰型孔相同；中隔热层2采用两块对开式的隔热板A，中隔热层2还连接有隔热层驱动机构A6，隔热层驱动机构A6能带动两块隔热板A以对开式打开和关闭，用于调节中隔热层2与上隔热层1上腰型孔的正对面积，且当两块隔热板A关闭时，中隔热层2的腰型孔与上隔热层1的腰型孔的位置错开，当两块隔热板A打开到合适位置时，中隔热层2的腰型孔与上隔热层1的腰型孔的位置重合。所述下隔热层3采用两块对开式的碳纤维板，且下隔热层3连接有隔热层驱动机构B7，隔热层驱动机构B7能带动两块碳纤维板以对开式打开和关闭。所述隔热层驱动机构A6采用电机驱动，经过减速机之后，带动丝杠或直线运动单元运动，从而驱动中隔热层2实现开合。所述隔热层驱动机构B7采用气缸驱动，直接带动下隔热层3运动，实现开合。工作时：如图1所示，在熔料阶段时，上隔热层1固定不动，通过控制隔热层驱动机构A6，将中隔热层2和下隔热层3均闭合，使得中隔热层2上的腰型孔正好与上隔热层1上的腰型孔完全错开，使其正对面积为0，将冷却系统4与加热系统隔离开，最大限度削弱其冷却效果，实现良好地保温。当处于长晶阶段时，操作者可以根据所需要的温度，通过控制隔热层驱动机构B7，将下隔热层3完全打开，然后缓慢调节中隔热层2的开合程度，以增大或者减小中隔热层2上腰型孔与上隔热层1上腰型孔的正对面积，从而控制长晶过程所需要的温度，其极限位置如图2所示。由上可知，本隔热结构能通过控制隔热层的开合程度，可以有效控制长晶过程中所需的温度。最后，需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本技术公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉的隔热结构，包括隔热层，其特征在于，还包括隔热层导向机构、隔热层驱动机构A、隔热层驱动机构B；所述隔热层包括上隔热层、中隔热层、下隔热层，且上隔热层与中隔热层之间、中隔热层与下隔热层之间之间通过中隔热层连接；所述上隔热层上开有均布的流通孔，且上隔热层固定不动；所述中隔热层上开有均布的流通孔，且该流通孔的形状、尺寸与上隔热层的流通孔相同；中隔热层采用两块对开式的隔热板实现，中隔热层还连接有隔热层驱动机构A，隔热层驱动机构A能带动两块隔热板A以对开式打开和关闭，用于调节中隔热层的流通孔与上隔热层的腰型孔的正对面积，且当两块隔热板A关闭时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位置错开，当两块隔热板A打开到合适位置时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位置重合；所述下隔热层采用两块对开式的隔热板B实现，且下隔热层连接有隔热层驱动机构B，隔热层驱动机构B能带动两块隔热板B以对开式打开和关闭；所述隔热层驱动机构A采用电机驱动，经过减速机之后，带动丝杠或直线运动单元运动，从而驱动中隔热层的两块隔热板A实现开合；所述隔热层驱动机构B采用气缸驱动，直接带动下隔热层的隔热板B运动，实现两块隔热板B开合。...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉的隔热结构，包括隔热层，其特征在于，还包括隔热层导向机构、隔热层驱动机构A、隔热层驱动机构B；所述隔热层包括上隔热层、中隔热层、下隔热层，且上隔热层与中隔热层之间、中隔热层与下隔热层之间之间通过中隔热层连接；所述上隔热层上开有均布的流通孔，且上隔热层固定不动；所述中隔热层上开有均布的流通孔，且该流通孔的形状、尺寸与上隔热层的流通孔相同；中隔热层采用两块对开式的隔热板实现，中隔热层还连接有隔热层驱动机构A，隔热层驱动机构A能带动两块隔热板A以对开式打开和关闭，用于调节中隔热层的流通孔与上隔热层的腰型孔的正对面积，且当两块隔热板A关闭时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位置错开，当两块隔热板A打开到合适位置时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，曹建伟，孙明，叶欣，俞安洲，张兴隆，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33