一种多晶硅铸锭炉的隔热结构制造技术

本实用新型专利技术涉及多晶硅铸锭炉辅助设备，旨在提供一种多晶硅铸锭炉的隔热结构。该种多晶硅铸锭炉的隔热结构包括隔热层、隔热层导向机构、隔热层驱动机构，隔热层为三层，且其中两层隔热层上开有规则或不规则几何形状的流通孔。本实用新型专利技术通过控制三层隔热层的开合程度，可以有效控制长晶过程中的温度变化；同时，由于新隔热结构可以控制隔热层的开合程度，可以解决传统多晶炉长晶阶段由于底部温度大幅下降而导致的电能浪费问题，有效降低能耗，节省电能；另外，隔热层采用的是碳纤维材料，耐高温性能较好，高温状态下较为稳定，可以长时间使用；整个结构相对较为简单，易于控制。

Heat insulation structure of polycrystalline silicon ingot furnace

The utility model relates to an auxiliary device of a polycrystalline silicon ingot furnace, in order to provide a heat insulation structure of a polycrystalline silicon ingot furnace. The insulation structure of a polycrystalline silicon ingot furnace comprises a heat insulation layer, insulating layer and insulation layer guiding mechanism, driving mechanism, heat insulation layer as the three layer, and two layer flow holes on the heat insulating layer has a regular or irregular geometry. The utility model through the opening degree control three insulation layer, can effectively control the temperature change in the crystal growth process; at the same time, because of the degree of opening of the new insulation structure can control the heat insulating layer, can solve the traditional polycrystalline growth furnace bottom due to temperature dropped and the energy wasting problem caused by the effective reduction of energy consumption in addition, save energy; heat insulation layer, the use of carbon fiber materials, high temperature performance, high temperature condition is stable, can be used for a long time; the whole structure is relatively simple, easy to control.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅铸锭炉的隔热结构
本技术是关于多晶硅铸锭炉辅助设备领域，特别涉及一种多晶硅铸锭炉的隔热结构。
技术介绍
目前，大多数多晶硅铸锭炉在其加热系统和底部冷却系统之间有一个单层或双层的隔热结构，通过控制该隔热结构的开合，控制加热系统和底部冷却系统之间的通断，从而实现加热系统的冷却和保温，然而，上述隔热结构只存在全开和全闭两种状态，无法有效控制长晶过程中的温度变化。现有技术多采用单层对开式的隔热结构，即采用单层的相向运动的两扇隔热结构，通过控制两扇隔热结构的开合，达到增大或减少冷却面积的方式，从而控制温度变化；但是，此方式存在较大缺陷：由于所采用的的是单层隔热结构，隔热效果相对较差，其次，开合过程中冷却面积均是由中间向四周变化，会导致中间冷却效果较好而四周较差，不利于长晶工艺调整。综上所述，改善隔热结构，使其能够控制长晶过程中的温度变化，已经成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能对长晶过程中温度变化实现控制的隔热结构。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：提供一种多晶硅铸锭炉的隔热结构，包括隔热层，还包括隔热层导向机构、隔热层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉的隔热结构，包括隔热层，其特征在于，还包括隔热层导向机构、隔热层驱动机构A、隔热层驱动机构B；所述隔热层包括上隔热层、中隔热层、下隔热层，且上隔热层与中隔热层之间、中隔热层与下隔热层之间之间通过中隔热层连接；所述上隔热层上开有均布的流通孔，且上隔热层固定不动；所述中隔热层上开有均布的流通孔，且该流通孔的形状、尺寸与上隔热层的流通孔相同；中隔热层采用两块对开式的隔热板实现，中隔热层还连接有隔热层驱动机构A，隔热层驱动机构A能带动两块隔热板A以对开式打开和关闭，用于调节中隔热层的流通孔与上隔热层的腰型孔的正对面积，且当两块隔热板A关闭时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位置错开...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉的隔热结构，包括隔热层，其特征在于，还包括隔热层导向机构、隔热层驱动机构A、隔热层驱动机构B；所述隔热层包括上隔热层、中隔热层、下隔热层，且上隔热层与中隔热层之间、中隔热层与下隔热层之间之间通过中隔热层连接；所述上隔热层上开有均布的流通孔，且上隔热层固定不动；所述中隔热层上开有均布的流通孔，且该流通孔的形状、尺寸与上隔热层的流通孔相同；中隔热层采用两块对开式的隔热板实现，中隔热层还连接有隔热层驱动机构A，隔热层驱动机构A能带动两块隔热板A以对开式打开和关闭，用于调节中隔热层的流通孔与上隔热层的腰型孔的正对面积，且当两块隔热板A关闭时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位置错开，当两块隔热板A打开到合适位置时，中隔热层的流通孔与上隔热层的流通孔的位...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，曹建伟，孙明，叶欣，俞安洲，张兴隆，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33