一种自动扫描发射探针装置制造方法及图纸

一种自动扫描发射探针装置，属于等离子体科学与技术领域。该装置由计算机、数据采集卡、隔离运放、探针加热电路、探针偏置电路和探针组成；数据采集卡的模拟输出通道a通过隔离运放a连接探针加热电路，探针加热电路输出端连接探针两端；数据采集卡的模拟输出通道b连接探针偏置电路，探针偏置电路输出端分别连接探针加热电路和等离子体参考地；探针加热电流信号由数据采集卡的模拟输入通道a采集、探针偏置电压信号和探针发射/收集电流信号分别由模拟输入通道b和c采集。本发明专利技术能自动扫描电子加热电流和探针偏置电压，测量过程耗时短、效率高；探针工作温度低、对等离子体扰动小、测量空间分辨精度高、测量准确，且探针不易烧断、寿命长。

Automatic scanning emission probe device

The utility model relates to an automatic scanning emission probe device, belonging to the field of plasma science and technology. The device is composed of computer, data acquisition card, isolation amplifier, probe heating circuit and bias circuit probe and a probe; multi-channel analog output data acquisition card a through isolation amplifier a connection probe heating circuit, the output end is connected with both ends of the probe probe heating circuit; analog output channel data acquisition card B connect the probe bias circuit, output probe the bias circuit is respectively connected with the probe heating circuit and plasma reference probe; heating current signal by data acquisition card a acquisition analog input channel, the probe bias voltage signal and current signal transmitting / receiving probe set respectively by the analog input channels B and C acquisition. The invention can automatically scan the electronic heating current and bias voltage probe, the measurement process of short time, high efficiency; low temperature probe of plasma, small disturbance, measurement of spatial resolution precision, accurate measurement, and the probe is not easy to burn, long life.

【技术实现步骤摘要】
一种自动扫描发射探针装置
本专利技术属于等离子体科学与
，涉及到一种自动扫描发射探针装置。
技术介绍
等离子体空间电位是一个重要的等离子体参数，它是测量等离子体的电子密度和电子能量分布函数的基点。等离子体空间电位测量是否准确直接影响电子密度和电子能量分布函数测量的准确度。粗略地测量等离子体空间电位可以用朗缪尔探针，而准确地测量等离子体空间电位需要用发射探针。发射探针诊断方法是将一段钨丝(即探针)置于等离子体中，并通电加热到足够高温度使其发射电子，然后在钨丝与等离子体参考地之间加一个扫描偏置电压，测量探针电流随扫描偏置电压的变化，获得伏安特性曲线，找到伏安特性曲线的拐点，读出对应的偏置电压值，即拐点电位；通过改变钨丝加热电流使其温度和电子发射电流改变，在不同的电子发射电流下重复上述过程，获得拐点电位随电子发射电流的变化，将这个变化延拓至零电子发射极限，所对应的值就是准确的等离子体空间电位。目前国内外还没有自动实现上述诊断过程的发射探针装置的商用产品，实验室中都是采用自制的手动装置实现上述诊断过程。这些自制的装置存在的问题是：1.测量过程需要不断地手动调整电子发射电流，工作强度大、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动扫描发射探针装置，其特征在于：由计算机(1)、数据采集卡(2)、隔离运放a(3)、隔离运放b(4)、探针加热电路(5)、探针扫描偏置电路(6)和探针(7)组成；探针(7)置于等离子体(8)中；数据采集卡(2)的模拟输出通道a(9)通过隔离运放a(3)连接探针加热电路(5)，探针加热电路(5)两输出端连接探针(7)两端，向探针(7)提供加热电流；探针(7)加热电流大小由模拟输出通道a(9)的信号控制；数据采集卡(2)的模拟输出通道b(10)连接探针扫描偏置电路(6)，探针扫描偏置电路(6)两输出端分别连接探针加热电路(5)和等离子体参考地(14)，探针扫描偏置电路(6)产生扫描偏置电压加...

【技术特征摘要】
1.一种自动扫描发射探针装置，其特征在于：由计算机(1)、数据采集卡(2)、隔离运放a(3)、隔离运放b(4)、探针加热电路(5)、探针扫描偏置电路(6)和探针(7)组成；探针(7)置于等离子体(8)中；数据采集卡(2)的模拟输出通道a(9)通过隔离运放a(3)连接探针加热电路(5)，探针加热电路(5)两输出端连接探针(7)两端，向探针(7)提供加热电流；探针(7)加热电流大小由模拟输出通道a(9)的信号控制；数据采集卡(2)的模拟输出通道b(10)连接探针扫描偏置电路(6)，探针扫描偏置电路(6)两输出端分别连接探针加热电路(5)和等离子体参考地(14)，探针扫描偏置电路(6)产生扫描偏置电压加在探针(7)和等离子体参考地(14)之间，扫描偏...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆文琪，李建泉，徐军，王奇，
申请(专利权)人：大连理工常州研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32