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一种自动扫描发射探针装置，属于等离子体科学与技术领域。该装置由计算机、数据采集卡、隔离运放、探针加热电路、探针偏置电路和探针组成；数据采集卡的模拟输出通道a通过隔离运放a连接探针加热电路，探针加热电路输出端连接探针两端；数据采集卡的模拟输出...
该专利属于大连理工常州研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工常州研究院有限公司授权不得商用。

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