硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器制造技术

本发明专利技术的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及间接式热电式功率传感器所构成，整个结构基于高阻Si衬底制作，其上有四个缝隙耦合结构，上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量，下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量，在前后缝隙之间有一个移相器；Wilkinson功分器和Wilkinson功合器主要是由共面波导、非对称共面带线和电阻组成；间接式热电式功率传感器由共面波导、两个电阻以及热电堆所构成，热电堆是由两种不同半导体臂级联组成，它能够将终端电阻所散发的热量转换成热电势。这些结构能够将频率、相位和功率检测集成在一起，大大提高了信号检测器的效率。

Indirect millimeter wave signal detector based on silicon gap coupling

Indirect type silicon coupling type of the millimeter wave signal detector is composed of coplanar waveguide, coupling structure, phase shifter, SPDT Switch, Wilkinson power divider, Wilkinson power combiner and indirect type thermoelectric power sensor is composed of high resistivity Si substrate making the whole structure based on four slot the coupling structure, two slot coupling structure above the frequency measurement signal, two slot coupled structure below the implementation phase of the measuring signal, there is a gap between before and after the phase shifter; Wilkinson power divider and Wilkinson power combiner is mainly composed of a coplanar waveguide, asymmetrical coplanar stripline and resistor.; indirect type thermoelectric power sensor by coplanar waveguide, two resistors and a thermopile, thermopile is composed of two different kinds of semiconductor arm cascade, it can be the electric terminal The heat emitted by a barrier is converted to a thermal potential. These structures can integrate frequency, phase and power detection, greatly improving the efficiency of the signal detector.

【技术实现步骤摘要】
硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器
本专利技术提出了硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器，属于微电子机械系统(MEMS)的

技术介绍
在当今的通信系统中，对信号的检测和控制是人们一直关注的重要研究方向，尤其是对于频率较高的毫米波来说，如何高效和简便地检测毫米波信号的各个参数对人们来说也是需要攻克的难题。毫米波信号拥有三个重要的参数，分别为频率、相位和功率，这三个参数的测量技术在军事、航天航空和微波通信等领域有着非常广泛的应用，因此在信息技术日益发展的今天，对毫米波频率、相位和功率的高精度检测是关系国家经济发展和科技创新的重要内容。但是现有的频率检测器、相位检测器和功率检测器不仅结构复杂、成本较高，而且大多不能集成在一起进行统一测量，从而降低了对信号参数检测的效率，因此传统的信号检测技术已经无法实现对毫米波信号的高效监测了。针对以上毫米波信号检测的难题，随着对共面波导缝隙耦合结构、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及间接式热电式功率传感器的深入研究，本专利技术在高阻Si衬底上设计了一种将毫米波频率、相位和功率检测集成在一起的信号检测器，这种利用缝隙耦合结构的信号检测器结构简单新颖，而且制作成本较低，具有较高的潜在应用价值。
技术实现思路
技术问题：本专利技术的目的是提供一种硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器，在毫米波范围内，信号的频率检测、相位检测和功率检测的传统结构较为复杂，若只是简单地拼凑集成在一起难度较大，而且效率也较为低下，而本专利技术就利用共面波导缝隙耦合结构简便地将毫米波信号的频率、相位和功率检测集成在了一起，大大提高了效率。技术方案：本专利技术的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器制作在高阻Si衬底上，是由共面波导、一号缝隙耦合结构、二号缝隙耦合结构、三号缝隙耦合结构、四号缝隙耦合结构、移相器、一号单刀双掷开关、二号单刀双掷开关、一个Wilkinson功分器、三个Wilkinson功合器以及六个间接式热电式功率传感器所构成，具体结构的连接关系如下：第一端口是信号输入端，一号缝隙耦合结构和二号缝隙耦合结构位于共面波导上侧地线，三号缝隙耦合结构和四号缝隙耦合结构则位于共面波导下侧地线，这两对缝隙关于中心信号线对称，它们之间由一个移相器隔开，首先来看频率检测模块，一号缝隙耦合结构连接到第二端口，第二端口与一号单刀双掷开关的输入端相连，一号单刀双掷开关的输出端分别连接到一号Wilkinson功合器和一号间接式热电式功率传感器，同样的，二号缝隙耦合结构连接到第三端口，第三端口与二号单刀双掷开关的输入端相连，二号单刀双掷开关的输出端分别连接到一号Wilkinson功合器和二号间接式热电式功率传感器，而一号Wilkinson功合器的输出端连接到三号间接式热电式功率传感器；再看相位检测模块，三号缝隙耦合结构与第四端口相连，第四端口连接到二号Wilkinson功合器，四号缝隙耦合结构与第五端口相连，第五端口连接到三号Wilkinson功合器，参考信号通过四号Wilkinson功分器的输入端输入，四号Wilkinson功分器的输出端分别连接到二号Wilkinson功合器和三号Wilkinson功合器，然后，二号Wilkinson功合器的输出端连接四号间接式热电式功率传感器，三号Wilkinson功合器的输出端连接五号间接式热电式功率传感器，最后是功率检测模块，在第六端口处连接着六号间接式热电式功率传感器。当毫米波信号在共面波导上传播时，共面波导上的缝隙耦合结构可以耦合出小部分的电磁场信号，这部分被耦合出的小信号拥有与原信号相同的相位和频率，因此可以通过某些电路来检测信号的频率和相位，此外，由于缝隙耦合出来的信号能量较小，大部分的信号还是会继续通过共面波导向后传播，最后通过间接式功率传感器来检测功率的大小。首先，对于毫米波的频率检测模块，它主要是由两个缝隙耦合结构、一段移相器、两个单刀双掷开关、一个Wilkinson功合器以及三个间接式热电式功率传感器所构成，毫米波信号首先经过第一个缝隙耦合结构耦合出小部分的信号P1，然后经过一段移相器之后再由另一个缝隙耦合结构耦合出另一部分的信号P2，这样两个耦合信号之间就产生了一定的相位差实际上这段移相器就是一段共面波导，它的长度设置为以中心频率f0为35GHz处波长的1/4，此时相位差就是90°，但是当频率f变化时，相位差是频率f的函数，可以表示为：其中f为毫米波信号的频率，c为光速，εer为传输线的相对介电常数，ΔL为移相器的长度。从公式中可以看出只要测得的值，就能得到频率f的大小，于是将两个耦合信号P1、P2经过Wilkinson功合器进行合成，再用间接式热电式功率传感器去检测合成信号功率Ps的大小，合成信号的功率Ps是关于相位差的三角函数关系:由于耦合信号P1、P2的大小未知，因此这里采用了两个单刀双掷开关将两个耦合出来的小信号率先进行功率检测，得到其功率大小，然后再通过Wilkinson功合器进行功率合成，于是由公式(2)就能计算出频率f的大小。注意这里的相位差只是两个耦合小信号之间的相位差，并不是原毫米波信号的相位Φ，还需要通过相位检测模块来精确确定原毫米波信号的相位Φ。对于毫米波的相位检测模块，同样地也是由两个缝隙耦合结构耦合出部分小信号P3和P4，由于缝隙尺寸相同，所以它们的功率大小等于之前测得的耦合小信号P1和P2，并且它们的初始相位都为Φ，只是其中第二个缝隙耦合信号多传播了相位参考信号Pc经过Wilkinson功分器分解成左右两路一模一样的信号，左边一路信号与第一个缝隙耦合信号进行功率合成，得到合成功率PL，它是关于相位Φ的三角函数关系；而右边一路信号与第二个缝隙耦合信号进行功率合成，得到合成功率PR，它是关于相位的三角函数关系；其中P3＝P1、P4＝P2，结合以上两个关系式，不仅可以得到相位Φ的大小，还可以得到相位的超前或滞后关系。有益效果：在本专利技术中，为了提高毫米波信号的检测效率，将毫米波信号的频率、相位以及功率实现一体化检测，采取了简单新颖的缝隙耦合结构，这种缝隙耦合结构能够将在共面波导中传播的电磁场能量耦合出一小部分，从而利用这耦合出的部分小信号来检测原毫米波信号的频率和相位大小，同时由于耦合出的信号能量和原信号相比非常小，因此几乎对原毫米波信号影响不大，原毫米波信号可以继续向后传播进行功率测量,大大提高了信号检测器的效率，具有较高的潜在应用价值。附图说明图1为本专利技术的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器的俯视图图2为本专利技术的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器中单刀双掷开关的俯视图图3为本专利技术的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器中单刀双掷开关AA’方向的剖面图图4为本专利技术的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器中Wilkinson功分器和Wilkinson功合器的俯视图图5为本专利技术的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器中间接式热电式功率传感器的俯视图图6为本专利技术的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器中间接式热电式功率传感器的剖面图图中包括：共面波导1，缝隙耦合结构2-1，缝隙耦合结构2-2，缝隙耦合结构2-3，缝隙耦合结构2-4，移相器3，频率检测模块4，相位检测模块5，功率检测模块6，电阻7，P型半导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器，其特征在于，该信号检测器制作在高阻Si衬底(14)上，是由共面波导(1)、一号缝隙耦合结构(2‑1)、二号缝隙耦合结构(2‑2)、三号缝隙耦合结构(2‑3)、四号缝隙耦合结构(2‑4)、移相器(3)、一号单刀双掷开关(20)、二号单刀双掷开关(21)、一个Wilkinson功分器、三个Wilkinson功合器以及六个间接式热电式功率传感器所构成，具体结构的连接关系如下：第一端口(1‑1)是信号输入端，一号缝隙耦合结构(2‑1)和二号缝隙耦合结构(2‑2)位于共面波导(1)上侧地线，三号缝隙耦合结构(2‑3)和四号缝隙耦合结构(2‑4)则位于共面波导(1)下侧地线，这两对缝隙关于中心信号线对称，它们之间由一个移相器(3)隔开，首先来看频率检测模块(4)，一号缝隙耦合结构(2‑1)连接到第二端口(1‑2)，第二端口(1‑2)与一号单刀双掷开关(20)的输入端相连，一号单刀双掷开关(20)的输出端分别连接到一号Wilkinson功合器和一号间接式热电式功率传感器，同样的，二号缝隙耦合结构(2‑2)连接到第三端口(1‑3)，第三端口(1‑3)与二号单刀双掷开关(21)的输入端相连，二号单刀双掷开关(21)的输出端分别连接到一号Wilkinson功合器和二号间接式热电式功率传感器，而一号Wilkinson功合器的输出端连接到三号间接式热电式功率传感器；再看相位检测模块(5)，三号缝隙耦合结构(2‑3)与第四端口(1‑4)相连，第四端口(1‑4)连接到二号Wilkinson功合器，四号缝隙耦合结构(2‑4)与第五端口(1‑5)相连，第五端口(1‑5)连接到三号Wilkinson功合器，参考信号通过四号Wilkinson功分器的输入端输入，四号Wilkinson功分器的输出端分别连接到二号Wilkinson功合器和三号Wilkinson功合器，然后，二号Wilkinson功合器的输出端连接四号间接式热电式功率传感器，三号Wilkinson功合器的输出端连接五号间接式热电式功率传感器，最后是功率检测模块(6)，在第六端口(1‑6)处连接着六号间接式热电式功率传感器。...

【技术特征摘要】
1.一种硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测器，其特征在于，该信号检测器制作在高阻Si衬底(14)上，是由共面波导(1)、一号缝隙耦合结构(2-1)、二号缝隙耦合结构(2-2)、三号缝隙耦合结构(2-3)、四号缝隙耦合结构(2-4)、移相器(3)、一号单刀双掷开关(20)、二号单刀双掷开关(21)、一个Wilkinson功分器、三个Wilkinson功合器以及六个间接式热电式功率传感器所构成，具体结构的连接关系如下：第一端口(1-1)是信号输入端，一号缝隙耦合结构(2-1)和二号缝隙耦合结构(2-2)位于共面波导(1)上侧地线，三号缝隙耦合结构(2-3)和四号缝隙耦合结构(2-4)则位于共面波导(1)下侧地线，这两对缝隙关于中心信号线对称，它们之间由一个移相器(3)隔开，首先来看频率检测模块(4)，一号缝隙耦合结构(2-1)连接到第二端口(1-2)，第二端口(1-2)与一号单刀双掷开关(20)的输入端相连，一号单刀双掷开关(20)的输出端分别连接到一号Wilkinson功合器和一号间接式热电式功率传感器，同样的，二号缝隙耦合结构(2-2)连接到第三端口(1-3)，第三端口(1-3)与二号单刀双掷开关(21)的输入端相连，二号单刀双掷开关(21)的输出端分别连接到一号Wilkinson功合器和二号间接式热电式功率传感器，而一号Wilkinson功合器的输出端连接到三号间接式热电式功率传感器；再看相位检测模块(5)，三号缝隙耦合结构(2-3)与第四端口(1-4)相连，第四端口(1-4)连接到二号Wilkinson功合器，四号缝隙耦合结构(2-4)与第五端口(1-5)相连，第五端口(1-5)连接到三号Wilkinson功合器，参考信号通过四号Wilkinson功分器的输入端输入，四号Wilkinson功分器的...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，褚晨蕾，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32