检查/维修/再检查系统技术方案
Inspection / maintenance / re check system
The invention discloses a lens assembly for circuit inspection / maintenance / inspection system, the lens assembly includes a scanning lens, its operation in the maintenance for a specific wavelength laser beam under the correction of the deviation of the laser beam; and the camera lens, the operation through the scanning lens the light receiving from the workpiece and correction of deviation in at least one specific wavelength by sensing camera, the wavelength is not for the specific wavelength of the laser beam of the maintenance.
【技术实现步骤摘要】
检查/维修/再检查系统本申请是申请日为2012年8月8日、申请号为“201280040194.7”、专利技术名称为“检查/维修/再检查系统”的专利技术专利申请的分案申请。相关申请案的交叉参考参考2011年8月18日申请且标题为检查/维修/检查系统(Inspection/Repair/Inspectionsystem)的第61/524,995号美国临时专利申请案，所述临时专利申请案的揭示内容以引用的方式并入本文中且根据37CFR1.78(a)(4)及(5)(i)主张其优先权。
本专利技术涉及电路的检查及维修系统，且更特定来说，涉及用于其中的光学器件。
技术介绍
认为下列公开案代表当前技术状态：C·布林顿(C.Bliton)等人的以通过紫外线及可见波长光激励的染料实现同时共焦成像的光学修改(Opticalmodificationsenablingsimultaneousconfocalimagingwithdyesexcitedbyultraviolet-andvisible-wavelengthlight)，显微镜学杂志(JournalofMicroscopy)，第...
【技术保护点】
一种用于电路的检查/维修/再检查系统，其包括：声光调制器及电光调制器中的至少一者；快速转向镜；及控制组合件，其操作以精确协调声光调制器及电光调制器中的所述至少一者与所述快速转向镜。
【技术特征摘要】
2011.08.18 US 61/524,9951.一种用于电路的检查/维修/再检查系统，其包括：声光调制器及电光调制器中的至少一者；快速转向镜；及控制组合件，其操作以精确协调声光调制器及电光调制器中的所述至少一者与所述快速转向镜。2.根据权利要求1所述的用于电路的检查/维修/再检查系统，且其还包括将所述镜及所述声光调制器与所述控制组合件互连的控制线。3.根据权利要求1所述的用于电路的检查/维修/再检查系统，其中所述控制组合件操作以相对于所述声光调制器定位所述镜，使得从所述声光调制器输出的激光束精确撞击在由所述系统检查/维修/再检查的工件上的所要点处。4.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的用于电路的检查/维修/再检查系统，其中所述控制组合件经配置以检查所述快速转向镜的位置。5.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的用于电路的检查/维修/再检查系统，其中所述快速转向镜经操作以发送“开启”触发至所述声光调制器及电光调制器中的至少一者。6.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的用于电路的检查/维修/再检查系统，其中所述快速转向镜经操作以发送“关闭”触发至所述声光调制器及电光调制器中的至少一者。7.一种用于电路的检查/维修/再检查系统中的组合器组合件，其包括：第一组合器，其布置在扫描镜与扫描透镜之间以用于将来自所述扫描镜的第一波长下的激光能量引导穿过所述扫描透镜到达工件上，并允许不同于所述第一波长的第二波长下的光穿过所述第一组合器；第二组合器，其布置在第一相机与所述第一组合器之间以用于将穿过所述第一组合器的来自所述工件的光引导到所述第一相机；及第三组合器，其布置在...
【专利技术属性】
技术研发人员：维克多·莱巴尔金，伊利亚·拉茨科，
申请(专利权)人：奥宝科技有限公司，
类型：发明
国别省市：以色列,IL
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