The utility model relates to a full automatic ball device, the device comprises a ball mechanism, ball screen (5) and six axis manipulator (7), where a ball mechanism comprises a ball box (4), for the tube (1), (2) and ball cylinder linear module (8) for the ball, box (4) mounted on the linear module (8), and the tube (1) connected ball cylinder (2) for opening and closing action of the ball box (4) solder ball through the supply tube (1) evenly distributed on the ball screen (5) side. Reballing stencil (5) on the processing and corresponding PAD wafer for solder leakage into the mesh, six axis manipulator (7) fixed on the ball screen (5). Compared with the prior art, the utility model has the advantages of convenient lifting efficiency, simple structure, etc..
【技术实现步骤摘要】
一种全自动植球装置
本技术属于半导体高端封装设备领域,尤其是涉及一种全自动植球装置,属于先进封装工艺过程中植球设备。
技术介绍
晶圆级植球机是一种高端半导体封装设备,用于将锡球精准放置于已经印刷助焊剂的晶圆上,目前晶圆级植球机使用的锡球球径一般在75μm~300μm范围内,植球时需要大量的锡球,供球是其关键技术之一。晶圆级植球设备基本采用治具供球、自动植球机构供球、人工手动植球等方式,目前晶圆植球机主要采用自动植球机构供球、人工手动植球方式。治具供球方面,授权公告号CN201529822U、授权公告号CN2691767Y、授权公告号CN2691766Y的中国专利公开了制作一个与基板或晶圆大小相同的治具,治具上制作与需要植球位置相对应的针或孔,利用真空在震动的供料槽或摆动供料槽将微球吸到治具上,再通过精确的定位系统将微球植入晶圆。此种方式治具制作复杂昂贵、动作机构复杂,需要图像识别系统、精确定位系统、高性能检测系统等,硬件质量要求较高,价格极其昂贵。自动植球机构供球方面,公开号:CN1984535A、授权公告号CN101604618B、授权公告号CN202796892U的中国专利公开了针对自动毛刷植球或弹性压头式植球,供球机构随植球头一起运动,机构设计复杂、治具更换麻烦,焊锡球可能残留在植球机构中,不易清理,可能出现混球现象。人工手动植球方面,授权公告号CN203774257U授权公告号CN203617255U的中国专利公开了采用手工操作,此种方式需要专业操作人员操作,不易把握锡球的需求量,有时会出现浪费锡球的现象,在工厂大批量生产情况下,植球质量可能受人工 ...
【技术保护点】
一种全自动植球装置,其特征在于,该装置包括供球机构、植球网板(5)及六轴机械手(7),所述的供球机构包括供球盒(4)、供球管(1)、供球气缸(2)及直线模组(8),所述的供球盒(4)可拆卸式连接在直线模组(8)上,与供球管(1)连通,所述的供球气缸(2)开闭动作使供球盒(4)中的焊锡球通过供球管(1)均匀分布在植球网板(5)的一侧,所述的植球网板(5)上加工与晶圆PAD点相对应、用于锡球漏入的网孔,所述的六轴机械手(7)固定在植球网板(5)旁侧,通过植球刮板(6)沿设定路径将供球机构供应的焊锡球通过植球网板(5)植到晶圆上。
【技术特征摘要】
1.一种全自动植球装置,其特征在于,该装置包括供球机构、植球网板(5)及六轴机械手(7),所述的供球机构包括供球盒(4)、供球管(1)、供球气缸(2)及直线模组(8),所述的供球盒(4)可拆卸式连接在直线模组(8)上,与供球管(1)连通,所述的供球气缸(2)开闭动作使供球盒(4)中的焊锡球通过供球管(1)均匀分布在植球网板(5)的一侧,所述的植球网板(5)上加工与晶圆PAD点相对应、用于锡球漏入的网孔,所述的六轴机械手(7)固定在植球网板(5)旁侧,通过植球刮板(6)沿设定路径将供球机构供应的焊锡...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘劲松,邱进军,陈桦明,
申请(专利权)人:上海微松工业自动化有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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