一种特气分配箱及其零件更换方法技术

本发明专利技术涉及一种特气分配箱及其零件更换方法，包括氮气处理管路，利用氮气处理管路中高速流动的氮气产生虹吸负压，抽取待更换零件所在管路内部的特气，氮气主管路再向待更换零件所在管路内部灌入氮气，抽取与灌入重复多次，直至此管路中特气浓度趋近于零时，再更换待更换零件；用氮气处理管路替代现有技术中的外接抽气泵和尾气处理系统，有效避免受现场空间和环境的影响及厂务安排的制约，且零件更换操作简单安全，成功率高。

Special gas distribution box and parts replacement method thereof

The invention relates to a special gas distribution box and parts replacement method, including nitrogen treatment pipeline, nitrogen flow in the pipeline processing high-speed siphon vacuum extraction using nitrogen to replace parts of pipeline internal gas, nitrogen gas to be in charge of road and replacement parts where the pipe filled with nitrogen, extraction and filling repeated many times, until the Luzhongte tube gas concentration is close to zero, and then replace the parts to be replaced; with nitrogen treatment pipeline to replace the existing technology in external pump and exhaust gas treatment system, effectively avoid the affected site space and environment and restricted facility arrangement, and parts replacement simple and safe operation, high success rate.

【技术实现步骤摘要】
一种特气分配箱及其零件更换方法
本专利技术涉及工艺制程领域，特别涉及一种特气分配箱及其零件更换方法。
技术介绍
在诸如半导体工艺制程中会使用到易燃易爆、有毒有害、腐蚀性等各类特气，如甲硅烷、氨气和氯气等。机台使用的特气是由厂务端经过中央供气系统输送过来的，从厂务端输送过来的一条特气管路并非单独给某一个机台供气，而是同时给多个机台供气。特气分配箱就是用来将一个主管路分配成几个支管路，以此来实现同时给多个机台供气。特气分配箱中零件，如手阀和气动阀的作用是实现特气的开启与关停，它们的质量对特气的运转状况是否平稳起到至关重要的作用，当手阀或气动阀需要关停，却关不死，出现内漏；或特气管路内的特气泄露到特气分配箱，出现外漏时，就需要对相应管路的手阀或气动阀进行更换。现有零件更换方法通常为外接抽气泵和尾气处理系统，与特气分配箱内的氮气管路相配合，抽气泵将待更换零件的相应管路中的特气抽取到尾气处理系统，氮气管路再向此管路灌入氮气，抽取与灌入重复多次，直至此管路中特气浓度趋近于零时，才更换相应的零件。但是，此种方法外接抽气泵和尾气处理系统受现场空间和环境的影响，还受到厂务安排的制约，如果尾气处理系统距离特气分配箱距离较远，还需添加配管，因此，操作性极差。
技术实现思路
本专利技术目的是提供一种特气分配箱及其零件更换方法，解决现有技术中存在的上述问题。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种特气分配箱，包括第一特气主管路，所述第一特气主管路的一端用于与特气供应系统连接，另一端分别与至少两个特气支管路的一端连接，每个所述特气支管路的另一端分别用于与待供气机台连接；所述第一特气主管路上设置有第一特气主管路阀，每个所述特气支管路上沿特气供应方向依次设置有第一特气支管路阀和第二特气支管路阀；每个所述特气支管路位于所述第一特气支管路阀和第二特气支管路阀之间的部分连接有第一氮气支管路，每个所述第一氮气支管路相对所述特气支管路的另一端均与氮气主管路的一端连接，所述氮气主管路的另一端用于与氮气供应系统连接，每个所述第一氮气支管路上设置有第一氮气支管路阀；还包括氮气处理管路，所述氮气处理管路的一端用于与氮气供应系统连接，另一端用于与尾气处理系统连接；每个所述特气支管路位于所述第一特气支管路阀和第二特气支管路阀之间的部分还连接有第二氮气支管路，每个所述第二氮气支管路相对所述特气支管路的另一端均与所述氮气处理管路位于氮气供应系统和尾气处理系统之间的部分连接，每个所述第二氮气支管路上设置有第二氮气支管路阀，每个所述第二氮气支管路位于特气支管路和第二氮气支管路阀之间的部分设置有第一压力传感器。本专利技术的有益效果是：利用氮气处理管路中高速流动的氮气产生虹吸负压，抽取待更换零件所在管路内部的特气，氮气主管路再向待更换零件所在管路内部灌入氮气，抽取与灌入重复多次，直至此管路中特气浓度趋近于零时，再更换待更换零件；用氮气处理管路替代现有技术中的外接抽气泵和尾气处理系统，有效避免受现场空间和环境的影响及厂务安排的制约，且零件更换操作简单安全，成功率高。在上述技术方案的基础上，本专利技术还可以做如下改进。进一步，所述氮气处理管路上设置有氮气处理管路阀。采用上述进一步方案的有益效果是：对氮气处理管路中氮气的流动进行控制，当无零件更换时，关闭氮气处理管路阀，避免氮气的浪费。进一步，所述氮气主管路上设置有氮气主管路阀。采用上述进一步方案的有益效果是：氮气主管路阀与第一氮气支管路上的第一氮气支管路阀相配合，同时对待更换零件所在管路内部氮气的通入进行控制，形成双层控制保险。进一步，所述氮气主管路位于氮气主管路阀和第一氮气支管路之间的部分设置有第二压力传感器。采用上述进一步方案的有益效果是：从第二压力传感器的示数，准确获知氮气主管路中氮气流动情况。进一步，所述第一特气主管路阀包括分别设置在第一特气主管路上的手动阀和气动阀。采用上述进一步方案的有益效果是：手动阀和气动阀同时对第一特气主管路中特气的通入进行控制，形成双层控制保险，且气动阀可实现远程控制。进一步，所述第一特气支管路阀为气动阀。采用上述进一步方案的有益效果是：对特气支管路中特气的通入实现远程控制。进一步，所述第二特气支管路阀、第一氮气支管路阀和第二氮气支管路阀均为手动阀。采用上述进一步方案的有益效果是：在待更换零件的更换过程中，手动阀易于随时准确操作。进一步，所述第一特气主管路位于所述第一特气主管路阀和特气支管路之间的部分设置有第三压力传感器。采用上述进一步方案的有益效果是：从第三压力传感器的示数，准确获知第一特气主管路中特气流动情况。进一步，所述第一特气主管路位于其用于与特气供应系统连接的一端和所述第一特气主管路阀之间的部分设置有第二特气主管路阀，且位于所述第一特气主管路阀和第二特气主管路阀之间连接有第二特气主管路，所述第二特气主管路相对于所述第一特气主管路的另一端用于与其它特气分配箱连接，且所述第二特气主管路上设置有第三特气主管路阀。采用上述进一步方案的有益效果是：提供给其它特气分配箱输入特气的第二特气主管路，实现特气分配箱之间的级联；且第二特气主管路阀与第三特气主管路阀同时对第二特气主管路中特气的通入进行控制，形成双层控制保险；第二特气主管路阀与第一特气主管路阀同时对第一特气主管路中特气的通入进行控制，形成双层控制保险；且第二特气主管路阀和第三特气主管路阀，可使用本专利技术零件更换方法对其进行更换。本专利技术的另一技术方案如下：一种特气分配箱的零件更换方法，采用上述一种特气分配箱实现零件更换，包括如下步骤：步骤1，关闭待更换零件所在管路相应管路阀，使所述待更换零件所在的管路两端密闭，所述两端的内部管路导通，且所述内部管路至少连接有一个第一氮气支管路和一个第二氮气支管路；步骤2，待氮气处理管路中的气体流动稳定后，打开所述第二氮气支管路上的第二氮气支管路阀产生虹吸负压，通过所述第二氮气支管路抽取所述内部管路中的气体；步骤3，待所述第二氮气支管路上的第一压力传感器的压力示数变小且稳定，关闭所述第二氮气支管路阀；步骤4，打开所述第一氮气支管路上的第一氮气支管路阀，氮气主管路中的氮气通过所述第一氮气支管路通入所述内部管路中；步骤5，待所述第一压力传感器的压力示数变大且稳定，关闭所述第一氮气支管路阀；步骤6，判断所述内部管路中特气浓度是否趋于零；是，则执行步骤7，反之，返回执行步骤2；步骤7，更换所述待更换零件；步骤8，打开所述第一氮气支管路上的第一氮气支管路阀，氮气主管路中的氮气通过所述第一氮气支管路通入所述内部管路中，待所述第一压力传感器的压力示数变大且稳定，关闭所述第一氮气支管路阀，如果，在预设时间内，所述第一压力传感器的压力示数在预设幅度内变化，则保压测试合格，执行步骤10；反之，则保压测试不合格，执行步骤9；步骤9，检查更换所述待更换零件时拆装的接头部分，并更换对应的密封器件，返回执行步骤8；步骤10，重复执行步骤2至步骤5，待所述内部管路中氮气浓度趋于100％时停止，打开步骤1中关闭的相应管路阀，恢复特气供应。本专利技术的有益效果是：安全更换待更换零件的同时，实现拆装管路的保压测试及内部环境纯净无杂，保证成功更换。附图说明图1为本专利技术一种特气分配箱的结构示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、第一特气主管路，1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种特气分配箱，其特征在于，包括第一特气主管路(1)，所述第一特气主管路(1)的一端用于与特气供应系统连接，另一端分别与至少两个特气支管路(2)的一端连接，每个所述特气支管路(2)的另一端分别用于与待供气机台连接；所述第一特气主管路(1)上设置有第一特气主管路阀(11)，每个所述特气支管路(2)上沿特气供应方向依次设置有第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)；每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分连接有第一氮气支管路(31)，每个所述第一氮气支管路(31)相对所述特气支管路(2)的另一端均与氮气主管路(3)的一端连接，所述氮气主管路(3)的另一端用于与氮气供应系统连接，每个所述第一氮气支管路(31)上设置有第一氮气支管路阀(311)；还包括氮气处理管路(4)，所述氮气处理管路(4)的一端用于与氮气供应系统连接，另一端用于与尾气处理系统连接；每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分还连接有第二氮气支管路(41)，每个所述第二氮气支管路(41)相对所述特气支管路(2)的另一端均与所述氮气处理管路(4)位于氮气供应系统和尾气处理系统之间的部分连接，每个所述第二氮气支管路(41)上设置有第二氮气支管路阀(411)，每个所述第二氮气支管路(41)位于特气支管路(2)和第二氮气支管路阀(411)之间的部分设置有第一压力传感器(412)。...

【技术特征摘要】
1.一种特气分配箱，其特征在于，包括第一特气主管路(1)，所述第一特气主管路(1)的一端用于与特气供应系统连接，另一端分别与至少两个特气支管路(2)的一端连接，每个所述特气支管路(2)的另一端分别用于与待供气机台连接；所述第一特气主管路(1)上设置有第一特气主管路阀(11)，每个所述特气支管路(2)上沿特气供应方向依次设置有第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)；每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分连接有第一氮气支管路(31)，每个所述第一氮气支管路(31)相对所述特气支管路(2)的另一端均与氮气主管路(3)的一端连接，所述氮气主管路(3)的另一端用于与氮气供应系统连接，每个所述第一氮气支管路(31)上设置有第一氮气支管路阀(311)；还包括氮气处理管路(4)，所述氮气处理管路(4)的一端用于与氮气供应系统连接，另一端用于与尾气处理系统连接；每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分还连接有第二氮气支管路(41)，每个所述第二氮气支管路(41)相对所述特气支管路(2)的另一端均与所述氮气处理管路(4)位于氮气供应系统和尾气处理系统之间的部分连接，每个所述第二氮气支管路(41)上设置有第二氮气支管路阀(411)，每个所述第二氮气支管路(41)位于特气支管路(2)和第二氮气支管路阀(411)之间的部分设置有第一压力传感器(412)。2.根据权利要求1所述一种特气分配箱，其特征在于，所述氮气处理管路(4)上设置有氮气处理管路阀(42)。3.根据权利要求1所述一种特气分配箱，其特征在于，所述氮气主管路(3)上设置有氮气主管路阀(32)。4.根据权利要求3所述一种特气分配箱，其特征在于，所述氮气主管路(3)位于氮气主管路阀(32)和第一氮气支管路(31)之间的部分设置有第二压力传感器(33)。5.根据权利要求1所述一种特气分配箱，其特征在于，所述第一特气主管路阀(11)包括分别设置在第一特气主管路(1)上的手动阀和气动阀。6.根据权利要求1所述一种特气分配箱，其特征在于，所述第一特气支管路阀(21)为气动阀。7.根据权利要求1所述一种特气分配箱，其特征在于，所述第二特气支管路阀(22)、第一氮气支管路阀(311)和第二氮气支管路阀(411)均为手动阀。8.根据权利要求1所述一种特气分配箱，其特征在于，所述第一特气主管...

【专利技术属性】
技术研发人员：周成志，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42