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本发明涉及一种特气分配箱及其零件更换方法，包括氮气处理管路，利用氮气处理管路中高速流动的氮气产生虹吸负压，抽取待更换零件所在管路内部的特气，氮气主管路再向待更换零件所在管路内部灌入氮气，抽取与灌入重复多次，直至此管路中特气浓度趋近于零时，再...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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