显示面板用基板制作方法及Mn掺杂ZnS量子点的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种显示面板用基板的制作方法，包括：准备透明衬底；在所述透明衬底上形成Mn掺杂ZnS量子点发光体的色阻层。通过实施本发明专利技术，采用Mn掺杂ZnS量子点发光体，形成耐高温的量子点色阻层，降低了基板在烘烤制程中高温造成荧光淬灭的可能性。

Method for manufacturing substrate for display panel and method for preparing Mn doped ZnS quantum dots

The invention discloses a method for manufacturing a substrate for a display panel, comprising: preparing a transparent substrate; forming a color resist layer of the Mn doped ZnS quantum point phosphor on the transparent substrate. By implementing the invention, the Mn doped ZnS quantum point luminescent body is adopted to form a high temperature resistant quantum dot color barrier layer, thereby reducing the possibility of the fluorescence quenching of the substrate in the baking process.

【技术实现步骤摘要】
显示面板用基板制作方法及Mn掺杂ZnS量子点的制备方法
本专利技术涉及显示
，特别是涉及显示面板用基板的制作方法及Mn掺杂ZnS量子点的制备方法。
技术介绍
目前量子点技术应用在液晶显示面板上，主要分为背光源采用量子点发光和背光源加量子点彩膜层两种方式。用量子点作为背光源技术中，量子点长期靠近发热的光源，长期的高温环境易导致量子点荧光寿命缩短；而背光源加量子点彩膜层技术，难以将量子点彩膜与Array基板精确对准，易出现对准偏移造成漏光和良率下降的情况。目前COA技术将量子点直接集成到Array基板上，这样即可解决以上问题。然而现有技术中，采用电化学沉积量子点彩膜的方法增加了工艺难度且需要增加额外的设备，难以实现经济化应用；也有在量子点彩膜上增加一层有机光阻增加发光效率的方法，这增加了制程与工艺，造成生产成本增高。同时，如若采用简单的制程，则在烘烤制程中由于温度较高容易导致荧光淬灭效应。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种显示面板用基板的制作方法及色阻用量子点的制备方法，能够形成耐高温的量子点色阻层，以降低烘烤制程中高温造成荧光淬灭的可能性。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：提供一种显示面板用基板的制作方法，包括：准备透明衬底；在所述透明衬底上形成Mn掺杂ZnS量子点发光体的色阻层。进一步地，包括：在所述透明衬底上形成薄膜晶体管层。进一步地，包括：所述在所述透明衬底上形成薄膜晶体管层包括：在衬底上依次形成第一金属层、栅绝缘层、有源层、欧姆接触层、第二金属层以及第一钝化层。进一步地，包括：在所述第一钝化层上形成黑矩阵；将红色、绿色、蓝色、黄色以及白色光敏分散液按照预定的颜色组合和/或预定的颜色排列设置于所述黑矩阵所定义的像素区域中，形成所述色阻层；依次在所述色阻层上形成第二钝化层和像素电极层。其中，所述将红色、绿色、蓝色、黄色或白色光敏分散液按照预定的颜色组合和/或预定的颜色排列设置于所述黑矩阵所定义的像素区域中，形成色阻层之前，包括：分别制备红色、绿色、蓝色、黄色的所述Mn掺杂ZnS量子点；利用所述红色、绿色、蓝色、黄色的所述Mn掺杂ZnS量子点配制所述红色、绿色、蓝色、黄色光敏分散液；以及，配制所述白色光敏分散液。为解决上述技术问题，本专利技术又采用的技术方案是：提供一种用于制作色阻的Mn掺杂ZnS量子点发光体的制备方法，获得游离的锰离子溶液；加热所述锰离子溶液至第一温度之上；在所述加热的所述锰离子溶液中加入硫前驱体溶液并降温；进一步加入锌前驱体溶液，并升温至第二温度之上，以得到红色、绿色、蓝色、黄色的Mn掺杂ZnS量子点。进一步地，包括：对所述红色、绿色、蓝色、黄色的Mn掺杂ZnS量子点进行纯化处理。其中，在保证Zn、Mn、S三种元素的摩尔比不变的情况下，分别控制所述游离的锰离子溶液、硫前驱体溶液以及锌前驱体溶液的加入浓度的大小和/或反应时间的长短，进而制得不同颜色的量子点。其中，所述Zn、Mn、S三种元素的摩尔比为1：1：1。其中，所述红色、绿色、蓝色、黄色的Mn掺杂ZnS量子点的发光波长分别为630nm、520nm、460nm、570nm。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术通过采用Mn掺杂ZnS量子点发光体，具有耐高温性能，从而在基板的烘烤制程中降低高温导致荧光淬灭的可能性，提升量子点的发光质量，进而提升显示面板的显示效果。附图说明图1是本专利技术显示面板用基板的制作方法第一实施例的流程示意图；图2是本专利技术显示面板用基板的制作方法第二实施例的流程示意图；图3是本专利技术显示面板用基板的制作方法第二实施例中步骤S240之前进一步包括的流程示意图；图4至图9是本专利技术显示面板用基板的制作方法第二实施例的制程示意图；图10是本专利技术用于制作色阻的Mn掺杂ZnS量子点发光体的制备方法一实施例的流程示意图。具体实施方式请参阅图1，本专利技术显示面板用基板的制作方法第一实施例，包括：S110，准备透明衬底；其中，透明衬底具体可以是玻璃、透明硅片或者透明塑料等中的至少一种。S120，在透明衬底上形成Mn掺杂ZnS量子点发光体的色阻层。具体地，通过旋涂将Mn掺杂ZnS量子点发光体稀溶液涂布在透明衬底上，装有透明衬底的旋转机开始由慢到快旋转，用离心力将底板上的溶液涂布成厚度从微米到纳米的薄膜；然后进行曝光、显影、洗涤、烘烤等制程形成上述色阻层。在一些应用场景中，也可以通过电化学沉积等方式将量子点发光体设置在透明衬底上。其中，Mn掺杂ZnS量子点发光体具有耐高温的性能，使用该种量子点发光体形成的色阻层能够抵抗烘烤制程中的高温，以降低高温导致的荧光淬灭效应出现的几率，进而提高显示面板的成像质量、显示效果等。同时，该量子点发光体不含镉，有效降低了金属毒性及对环境的污染。请参阅图2至图9，本专利技术显示面板用基板的制作方法第二实施例，包括：S210，准备透明衬底41；S220，在透明衬底41上形成薄膜晶体管层42。具体地，在透明衬底41上形成薄膜晶体管层42包括：在透明衬底上依次形成第一金属层、栅绝缘层、有源层、欧姆接触层、第二金属层以及第一钝化层。其中，第一金属层即栅极层，具体地，在透明衬底41上通过金属溅射沉积，再进行光刻胶涂覆、曝光、显影、蚀刻以及光刻胶剥离等工艺以形成预定图案的第一金属层，即栅极层。第一金属层具体可以为单金属层或复合金属层，如Cr、Mo、Mo/Al、Mo/Ti、Cu等。栅绝缘层具体是在形成的第一金属层上进一步通过化学气相沉积以及黄光蚀刻工艺形成。其中，栅绝缘层主要由氮化硅、氧化硅等其中至少一种组成，当然在其它应用场景中也可以由其它绝缘物质组成。有源层即金属氧化物半导体层，其形成方法与第一金属电极层22相似。该层主要含有铟氧化物、锌氧化物、锡氧化物、镓氧化物中的至少一种，在本实施例中为铟镓锌氧化物半导体层。欧姆接触层即在有源层与第二金属层之间，该层电阻值远小于半导体本身的电阻，使得组件操作时大部分的电压降在活动区而不在第二金属层与有源层的接触面。具体可以通过在半导体表面层进行高掺杂或者引入大量复合中心形成。在形成方式上，第二金属层与第一金属层相似，第一钝化层与栅绝缘层相似，具体如上，此处不再赘述。容易理解地，在其它应用场景中，第一金属层、栅绝缘层、有源层、欧姆接触层、第二金属层以及第一钝化层也可以采用其它形成方法，例如通过喷涂的方式等，所采用的原材料也可以是其它物质，此处不做限定。可选地，进一步包括：S230，在第一钝化层上形成黑矩阵43；黑矩阵43是沉积在色阻图案之间的不透光部分，基本功能是遮光，目的是提高对比度，避免相连色层混色，增加颜色的纯度。黑矩阵43可通过溅射铬层，然后光刻出所需图案的方法形成，也可采用含有黑色染料的树脂光刻胶，用光刻法制备等。S240，将红色、绿色、蓝色、黄色以及白色光敏分散液按照预定的颜色组合和/或预定的颜色排列设置于黑矩阵43所定义的像素区域中，形成色阻层44；预定的颜色组合为红、绿、蓝组合，红、绿、蓝、黄组合，红、绿、蓝、白组合，以及红、绿、蓝、黄、白组合等中的至少一种。预定的颜色排列为将预定的颜色组合按不同顺序的排列。如红、绿、蓝组合所具有的颜色排列为红绿蓝、绿红蓝、蓝绿红等中的至少一种。具体地，通过旋涂将要涂布的红色、绿色、蓝色、黄色以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板用基板的制作方法，其特征在于，包括：准备透明衬底；在所述透明衬底上形成Mn掺杂ZnS量子点发光体的色阻层。

【技术特征摘要】
1.一种显示面板用基板的制作方法，其特征在于，包括：准备透明衬底；在所述透明衬底上形成Mn掺杂ZnS量子点发光体的色阻层。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：在所述透明衬底上形成薄膜晶体管层。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述在所述透明衬底上形成薄膜晶体管层包括：在衬底上依次形成第一金属层、栅绝缘层、有源层、欧姆接触层、第二金属层以及第一钝化层。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，进一步包括：在所述第一钝化层上形成黑矩阵；将红色、绿色、蓝色、黄色以及白色光敏分散液按照预定的颜色组合和/或预定的颜色排列设置于所述黑矩阵所定义的像素区域中，形成所述色阻层；依次在所述色阻层上形成第二钝化层和像素电极层。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述将红色、绿色、蓝色、黄色或白色光敏分散液按照预定的颜色组合和/或预定的颜色排列设置于所述黑矩阵所定义的像素区域中，形成色阻层之前，包括：分别制备红色、绿色、蓝色、黄色的所述Mn掺杂ZnS量子点；利用所述红色、绿色、蓝色、黄色的所述Mn掺杂ZnS量...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢华飞，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44