一种工艺参数的处理方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种工艺参数的处理方法和装置，其中的方法包括：在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。本发明专利技术实施例可以提高Recipe参数处理效率。

Method and device for processing process parameter

The embodiment of the invention provides a method and apparatus for processing parameters, the method includes: to the first configuration file Recipe template in the detection of change, on the basis of the second existing Recipe configuration file records the first configuration file identifier, lookup second configuration file has Recipe corresponding to the Recipe template the comparison; modifications to the second configuration files with the first configuration file. The embodiment of the invention can improve the processing efficiency of the Recipe parameter.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体集成电路领域，特别是涉及一种工艺参数的处理方法和装置。
技术介绍
Recipe(制程方法)是指工业自动化制造过程中的工艺制程，Recipe中可以包括以下信息：物料加工过程中的多个步骤、每个步骤中各种工艺参数的数值、以及各步骤的结束条件等等。在实际应用中，Recipe可以通过Recipe模板生成。然而，在半导体集成电路领域，由于加工精细度越来越高，制造过程也变得越来越复杂，因此，一个Recipe中包含的信息也越来越多，所以需要对Recipe模板进行修改，如修改或者增加模板中的参数。在修改了Recipe模板之后，按照修改前的Recipe模板生成的Reicpe变的不可用，因此，还需要对已经生成的Recipe进行相应的修改。目前，对Recipe模板的修改通常可以通过修改Recipe模板的配置文件来实现，即修改下位机中Recipe模板的配置文件，在Recipe模板的配置文件中修改或者增加参数。在Recipe模板修改完成之后，需要对按照修改前Recipe模板生成的Recipe进行修改，具体地，按照修改后的Recipe模板，对之前已经存在并使用的Recipe的配置文件一一进行对照修改。然而，随着工艺过程的日益复杂，一个Recipe中包含的信息也越来越多，Recipe模板改变的参数也会逐渐增多，Recipe模板的改变，导致之前的Recipe都得重新修改或者重新编辑；这样，在Recipe数量较大的情况下对每个Recipe的配置文件一一进行修改，工作量较大，使得修改的效率较低，此外，由于修改Recipe需要较强的专业技术知识，因此，修改过程对实施人员要求也比较高。
技术实现思路
本专利技术实施例为解决上述问题提供了一种工艺参数的处理方法和装置，能够提高Recipe参数处理效率。为了解决上述问题，本专利技术公开了一种工艺参数的处理方法，包括：在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。优选地，所述对所述第二配置文件进行与所述第一配置文件进行对比修改的步骤，包括：依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改。优选地，所述对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改的步骤，包括：对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。优选地，所述方法还包括：在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。优选地，所述方法还包括：在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。优选地，通过如下步骤检测Recipe模板的第一配置文件发生改变：在下位机的启动过程中，通过对比Recipe模板的第一配置文件和该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件是否相符，检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变；或者，通过实时监测Recipe模板中的第一参数信息是否发生改变，检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变。依据本专利技术的另一个方面，提供了一种工艺参数的处理装置，包括：检测模块，用于在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；及修改模块，用于对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。优选地，所述修改模块，包括：第一获取子模块，用于依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；第二获取子模块，用于依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；修改子模块，用于对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改。优选地，所述修改子模块，包括：第一修改单元，用于对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；第二修改单元，用于在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。优选地，所述装置还包括：新增模块，用于在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。优选地，所述装置还包括：文件生成模块，用于在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。与现有技术相比，本专利技术实施例包括以下优点：本专利技术在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，则对该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件进行相应修改。避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件一一进行修改的情况，从而提高了Recipe参数处理效率。此外，由于避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件进行修改，减少了实施人员的操作，可以降低人为修改过程中由于操作失误带来的风险。附图说明图1示出了本专利技术的一种工艺参数的处理方法实施例一的步骤流程图；图2示出了本专利技术的一种工艺参数的处理方法实施例二的步骤流程图；图3示出了本专利技术一种工艺参数的处理装置实施例的结构框图。具体实施方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。实施例一参照图1，示出了本专利技术的一种工艺参数的处理方法实施例一的步骤流程图，具体可以包括：步骤101、在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到所述已有Recipe的第二配置文件；目前在半导体集成电路领域，由于加工精细度越来越高，工艺过程也变得越来越复杂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工艺参数的处理方法，其特征在于，所述方法包括：在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。

【技术特征摘要】
1.一种工艺参数的处理方法，其特征在于，所述方法包括：在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述第二配置文件进行与所述第一配置文件进行对比修改的步骤，包括：依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改的步骤，包括：对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第
\t二配置文件。6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过如下步骤检测Recipe模板的第一配置文件发生改变：在下位机的启动过程中，通过对比Recipe模板的第一配置文件和该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件是否相...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡纯兴，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11