The utility model relates to an air spring mounting support, which comprises a fixing seat and a mounting seat. The fixing seat is provided with a slide way and three fixing holes, wherein the three fixing holes are arranged on the three corners of the baffle plate in an isosceles right angle shape. The mounting seat is provided with two fixing holes which are transversely arranged on the mounting seat. One end of the gas spring is connected with the air spring mounting screw thread, and the other end is connected with the slide way. The invention provides a gas spring support which can realize the operation of the switch cavity in the semiconductor plasma processing device more light and flexible, and can save space.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种安装支座，尤其是一种气弹簧安装支座，属于半导体设备
技术介绍
如今，半导体行业中等离子体设备反应模块中气弹簧安装支座的设计十分重要，它不仅涉及到进行开关腔操作时的轻便性、灵活性，而且也涉及到弹簧本身的形成大小以及安装过程所需要的范围和空间。在以往的设计中，随意性大，偏被动，尺寸出现偏差时则需要重新设计安装。目前，随着半导体技术水平的不断发展，要求我们在保证一定精度的同时，能够减小开关腔的施力并且能够增大安装范围，变被动为主动设计，在保证以上条件的同时还能使设备开关腔行动变得平缓。因此，需要设计一种新型的气弹簧安装支座或者是对传统的气弹簧安装支座进行改善设计，以此来达到设计目的。
技术实现思路
本专利技术是鉴于改善等离子体设备中气弹簧安装支座出现一定尺寸的设计偏差时产生挤压现象而提出的，其目的是提供一种在保证较好的轻便性、灵活性的基础上，增大安装范围的气弹簧安装支座。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种气弹簧安装支座，包括固定座和安装座，两者通过气弹簧连接。所述的固定座上设有一个滑道和三个固定孔，三个固定孔呈等腰直角形分布在挡板上面的三个角上，滑道设置在另一个角上。安装座上横向排列的两个固定孔，气弹簧安装螺纹设置在固定孔之间。气弹簧一端与气弹簧安装螺纹连接，另一端与滑道连接。优选的，所述的滑道是直线槽口形。优选的，所述的固定孔是直径相同的通孔。本专利技术提供一种能够在半导体等离子体处理装置中实现开关腔操作更加轻便、灵活，并且能够节约空间的气弹簧支座。通过对气弹簧支座中固定座的滑道和滑块设计可实现半导体等离...
【技术保护点】
一种气弹簧安装支座，其特征在于：包括固定座和安装座，两者通过气弹簧连接；所述的固定座上设有一个滑道和三个固定孔，三个固定孔呈等腰直角形分布在挡板上面的三个角上，滑道设置在另一个角上；安装座上横向排列的两个固定孔，气弹簧安装螺纹设置在固定孔之间；气弹簧一端与气弹簧安装螺纹连接，另一端与滑道连接。
【技术特征摘要】
1.一种气弹簧安装支座，其特征在于：包括固定座和安装座，两者通过气弹簧连接；所述的固定座上设有一个滑道和三个固定孔，三个固定孔呈等腰直角形分布在挡板上面的三个角上，滑道设置在另一个角上；安装座上横向排列的两个固定孔，气弹簧安装螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：王燚，续震，丁宁，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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