二维纳米柔性运动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种二维纳米柔性运动平台，包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件，两个X向柔性导向件分别与X向连接杆的两端相连；两个Y向柔性导向件，两个Y向柔性导向件分别与Y向连接杆的两端相连；两个X向柔性解耦件，两个X向柔性解耦件分别与X向连接杆的两端相连，两个X向柔性解耦件分别与两个X向柔性导向件相连；两个Y向柔性解耦件，两个Y向柔性解耦件分别与Y向连接杆的两端相连，两个Y向柔性解耦件分别与两个Y向柔性导向件相连；X向驱动器和Y向驱动器。根据本发明专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。

Two dimensional nano flexible motion platform

The invention discloses a two-dimensional nano flexible platform, including: a base; terminal platform; X and Y to the connecting rod to the connecting rod; two X to two X flexible guide to flexible guide respectively with both ends of the connecting rod is connected to the X; two Y flexible guide two Y and Y respectively to flexible Guide to both ends of the connecting rod is connected; two X to two X flexible decoupling, decoupling and X respectively to the flexible parts to both ends of the connecting rod is connected to a flexible decoupling two X respectively with two X to the flexible guide connected; two Y to flexible decoupling two, Y and Y respectively to the flexible parts to both ends of the connecting rod is connected to a flexible decoupling two Y respectively with two Y to the flexible guide connected to the driver and X; Y to drive. According to the embodiment of the invention, the two-dimensional nano flexible motion platform has the advantages of small error and high precision.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及纳米级位移输出
，具体而言，涉及一种二维纳米柔性运动平台。
技术介绍
相关技术中的二维纳米柔性运动平台，其寄生误差较大，特别是对于大行程的二维纳米柔性运动平台尤为明显，影响二维纳米柔性运动平台的运动精度。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本专利技术提出一种二维纳米柔性运动平台,该二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。为实现上述目的，根据本专利技术的实施例提出一种二维纳米柔性运动平台，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连。根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台，具有误差小、精度高等优点。另外，根据本专利技术上述实施例的二维纳米柔性运动平台还可以具有如下附加的技术特征：根据本专利技术的一个实施例，两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性导向件在Y向上对称设置，两个所述X向柔性解耦件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性解耦件在Y向上对称设置。根据本专利技术的一个实施例，每个所述X向柔性导向件包括X向内侧板簧、X向外侧板簧和X向刚性连接件，两个所述X向内侧板簧分别与所述X向连接杆的两端相连，所述X向外侧板簧位于所述X向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述X向内侧板簧和所述X向外侧板簧通过所述X向刚性连接件相连，每个所述Y向柔性导向件包括Y向内侧板簧、Y向外侧板簧和Y向刚性连接件，两个所述Y向内侧板簧分别与所述Y向连接杆的两端相连，所述Y向外侧板簧位于所述Y向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述Y向内侧板簧和所述Y向外侧板簧通过所述Y向刚性连接件相连。根据本专利技术的一个实施例，所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度低于所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧。根据本专利技术的一个实施例，所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同。根据本专利技术的一个实施例，所述终端平台、所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同。根据本专利技术的一个实施例，所述X向连接杆、Y向连接杆、所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度相同。根据本专利技术的一个实施例，所述基座包括：基板；四个内连接凸台，四个所述内连接凸台在所述基板的上表面间隔设置，每个所述X向内侧板簧的两端分别与相邻的两个所述内连接凸台相连，每个所述Y向内侧板簧的两端分别与相邻的两个所述内连接凸台相连；四个外连接凸台，四个所述外连接凸台在所述基板的上表面间隔设置且位于四个所述内连接凸台的外侧，每个所述X向外侧板簧的两端分别与相邻的两个所述外连接凸台相连，每个所述Y向外侧板簧的两端分别与相邻的两个所述外连接凸台相连。根据本专利技术的一个实施例，每个所述X向柔性解耦件包括两个X向外平行板簧、两个X向内平行板簧和两个X向刚性连接板，两个所述X向外平行板簧均与所述终端平台的同一侧边沿相连，两个所述X向内平行板簧位于两个所述X向外平行板簧的内侧且与两个所述X向外平行板簧平行设置，两个所述X向内平行板簧均与对应的所述X向柔性导向件相连，两个所述X向外平行板簧分别通过两个所述X向刚性连接板与两个所述X向内平行板簧相连，每个所述Y向柔性解耦件包括两个Y向外平行板簧、两个Y向内平行板簧和两个Y向刚性连接板，两个所述Y向外平行板簧均与所述终端平台的同一侧边沿相连，两个所述Y向内平行板簧位于两个所述Y向外平行板簧的内侧且与两个所述Y向外平行板簧平行设置，两个所述Y向内平行板簧均与对应的所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向外平行板簧分别通过两个所述Y向刚性连接板与两个所述Y向内平行板簧相连。根据本专利技术的一个实施例，所述X向驱动器和所述Y向驱动器为音圈电机或压电陶瓷。附图说明图1是根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图。图2是根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图。图3是根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图，其中终端平台未示出。图4是根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图，其中终端平台、X向柔性解耦件和Y向柔性解耦件未示出。附图标记：二维纳米柔性运动平台1、基座100、基板110、内连接凸台120、外连接凸台130、终端平台200、X向连接杆310、Y向连接杆320、X向柔性导向件410、X向内侧板簧411、X向外侧板簧412、X向刚性连接件413、Y向柔性导向件420、Y向内侧板簧421、Y向外侧板簧422、Y向刚性连接件423、X向柔性解耦件510、X向外平行板簧511、X向内平行板簧512、X向刚性连接板513、Y向柔性解耦件520、Y向外平行板簧521、Y向内平行板簧522、Y向刚性连接板523、X向驱动器610、Y向驱动器620。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。下面参考附图描述根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台1。如图1-图4所示，根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台1包括基座10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连。...

【技术特征摘要】
1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连。2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性导向件在Y向上对称设置，两个所述X向柔性解耦件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性解耦件在Y向上对称设置。3.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，每个所述X向柔性导向件包括X向内侧板簧、X向外侧板簧和X向刚性连接件，两个所述X向内侧板簧分别与所述X向连接杆的两端相连，所述X向外侧板簧位于所述X向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述X向内侧板簧和所述X向外侧板簧通过所述X向刚性连接件相连，每个所述Y向柔性导向件包括Y向内侧板簧、Y向外侧板簧和Y向刚性连接件，两个所述Y向内侧板簧分别与所述Y向连接杆的两端相连，所述Y向外侧板簧位于所述Y向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述Y向内侧板簧和所述Y向外侧板簧通过所述Y向刚性连接件相连。4.根据权利要求3所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方...

【专利技术属性】
技术研发人员：张震，刘志青，闫鹏，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11