整体式二维运动工作平台制造技术

一种整体式二维运动工作平台，包括：机座、Ｘ轴向传动机构和Ｙ轴向传动机构，其特征在于：工作平台架设在框形平台的Ｙ轴辅助滚动导轨上，工作平台设有一对可夹持滑轨的夹紧滚轮，滑轨与Ｙ轴向传动机构连接。整体式二维运动工作平台所设置的框形平台Ｘ轴向运动由Ｘ轴向传动机构驱动，辅助平台Ｙ轴向运动由Ｙ轴向传动机构驱动，由于工作平台的Ｙ轴向运动是通过滑轨与夹紧滚轮的配合和工作平台与Ｙ辅助滚珠导轨的配合来实现的，因此工作平台的Ｙ轴向运动不会影响其Ｘ轴向运动。本整体式二维运动工作平台结构紧凑，消除了自身的运动负荷，整体刚性和平稳性得到了提高。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及的是二维运动工作平台的结构改进，尤其是一种整体式二维运动工作平台。双层式二维运动工作平台(见图4)应用最早最为广泛，如用在机床、机器人、电子元件装配自动化设备、半导体制造设备、以及其它需要精密定位的自动化设备。这种双层式二维运动工作平台，具有定位精确、工艺性好、成本较低等优点。但由于是双层式结构，实现工作台二维运动的Y轴向传动机构的所有部件(Y轴机座、丝杠、电机、导轨)均叠加在X轴向传动机构上，成为X轴向传动机构电机的负荷，降低了工作平台承载的能力，使得工作平台X轴向运动速度提高受限，最后导致整个二维运动工作平台的运行速度难以提高。对于运动速度要求越来越高的半导体制造设备而言，这种结构的使用将会形为设备速度提升的瓶颈。分体式拖钩式二维运动工作平台的结构(如图5)。这种二维运动工作平台是通过增加一个相当于拖钩的中间环节(滚轮加推杆)，将X轴向传动机构和Y轴向传动机构之传动部件分离，使实现工作平台二维运动的各轴向传动机构之传动零部件仅为自身的负荷，消除了两轴向传动机构负荷叠加的问题。工作平台的速度提高了许多。这种分体式拖钩式二维运动工作平台由于其X轴向工作平台和Y轴向工作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种整体式二维运动工作平台，包括：机座、Ｘ轴向传动机构和Ｙ轴向传动机构，其特征在于：所述的机座为框形结构，Ｘ轴向传动机构通过轴承安装在机座的侧壁，垂直于Ｘ轴向传动机构之机座中线位置通过轴承安装Ｙ轴向传动机构；机座的对应两侧边框端面设有平行于Ｘ轴向传动机构的Ｘ轴滚动导轨，Ｘ轴滚动导轨上设有与之配合在其上滑移的框形平台，框形平台一端与Ｘ轴向传动机构的滚珠丝杆副之螺母连接，框形平台两侧边框端面设有一对与Ｙ轴向传动机构平行的Ｙ轴辅助滚动导轨，Ｙ轴辅助滚动导轨上安装一可沿其轴向滑移的工作平台；工作平台的背面设有一对用于夹持滑轨的夹紧滚轮，所述的滑轨固定连接在Ｙ轴向传动机构的Ｙ滚珠丝杆副之螺母上；机座的背...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵斌，
申请(专利权)人：深圳商巨自动化有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]