【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片原料酸洗设备,特别是一种硅片原料酸洗加酸循环系统。
技术介绍
目前,硅片加工生产企业对硅片原料进行酸洗处理的加酸循环系统由布置于酸洗箱内的酸液入口和酸液出口、设于酸洗箱外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道、设于循环管道上的酸泵组成,在酸泵的作用下使酸循环,在酸箱中造成酸的扰动,达到酸洗的目的。现有的加酸循环系统多适用于处理多晶硅料和整段的头尾料,因此,酸液出口通常直通口,对于处理原料种类非常繁多和复杂的企业来说并不适用,主要原因在于,处理原料总会有一些碎料产生,在抽取酸的过程中碎料通过管道很容易进入酸泵,碎料的进入会对酸泵的内部结构造成极大的损伤,严重的影响酸泵的使用寿命。为了防止碎料进入酸泵,通常有使用者在酸液出口(直通口)处安装过滤网,以防止碎料进入循环管道,但其仍存在如下问题:1、过滤网的使用使酸泵单位时间内流量处理量降低,造成酸液在酸箱中扰动效果差;2、过滤网使用寿命较短,需要频繁更换,不利于连续生产。
技术实现思路
本技术的目的是为了提供一种解决上述问题的结构设计合理、使用可靠的硅片原料酸洗加酸循环系统。本技术的技术方案是:一种硅片原料酸洗加酸循环系统,包括布置于酸洗箱内的酸液入口和酸液出口、设于酸洗箱外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道、设于循环管道上的酸泵,其特征在于:所述酸液出口处连接有一段前端封堵的PP-R热熔管,所述PP-R热熔管的外周均匀布满圆通孔, ...
【技术保护点】
一种硅片原料酸洗加酸循环系统,包括布置于酸洗箱内的酸液入口和酸液出口、设于酸洗箱外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道、设于循环管道上的酸泵,其特征在于:所述酸液出口处连接有一段前端封堵的PP‑R热熔管,所述PP‑R热熔管的外周均匀布满圆通孔,所述酸泵的入口之前的循环管道上增设有一段过滤管道,所述过滤管道状似三通管,其由与酸液流动方向平行的水平连接段和连接于水平连接段下方的后倾段组成,所述后倾段向酸泵的方向倾斜且末端设有封堵盖,所述水平连接段靠近酸泵侧端部内置有过滤网。
【技术特征摘要】
1.一种硅片原料酸洗加酸循环系统,包括布置于酸洗箱内的酸液入口和酸液出口、设于
酸洗箱外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道、设于循环管道上的酸泵,其特征
在于:所述酸液出口处连接有一段前端封堵的PP-R热熔管,所述PP-R热熔管的外周均匀布
满圆通孔,所述酸泵的入口之前的循环管道上增设有一段过滤管道,所述过滤管道状似三通
管,其由与酸液流动方向平行的水...
【专利技术属性】
技术研发人员:谭鑫,王谙宇,陈鹏,王楠,
申请(专利权)人:锦州阳光能源有限公司,辽宁理工职业学院,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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