一种可拆卸的用于非蒸散型吸气剂吸气性能测试的样品室制造技术

一种可拆卸的用于非蒸散型吸气剂吸气性能测试的样品室，结构为：样品室上部分的第一法兰为电极法兰，在电极法兰上开有孔，孔的数量与电极芯柱的数量相同；电极芯柱焊接在可伐陶瓷芯柱内；陶瓷芯柱焊接在电极法兰上的孔内；电极法兰连接在真空管道上的第二法兰上；真空管道外接抽真空系统；样品室下部分的壳体的一端开口，另一端封闭；壳体的开口端与可伐环焊接；可伐环焊接在第四法兰上；第四法兰连接在真空管道上的第三法兰上；第二法兰的轴线和第三法兰的轴线所成角度为钝角或180度角，或者两轴线平行；电极芯柱伸入到下样品室内，且电极芯柱的末端在壳体内；电极芯柱的末端连接有热偶丝的正负极；电极芯柱的首端设有用于连接温控器及电源端子的连接结构。

A sample chamber for removable non evaporable getter suction performance test

As the structure of a sample chamber for removable performance of non evaporable getter suction test: sample chamber on the part of the first flange to flange flange in the electrode, the electrode is provided with a hole, the same number of column number and the electrode hole; the electrode welding core in Kovar ceramic stem; ceramic stem in welding electrode on the flange hole; second flange flange connection electrode in the vacuum pipe of the vacuum pipeline; external vacuum system; one end part of the shell of the sample chamber under the opening, the other end is closed; the open end of the shell and Kovar ring welding; Kovar ring welded on the flange fourth; third flange fourth flange in the vacuum pipe; second axis and third axis flange flange angle is an obtuse angle or 180 degrees, or two axis parallel electrode; stem extending into the sample chamber, and At the end of the pole core column in the shell body; the tail end of the electrode with a thermocouple wire connecting the negative pole; the first end is provided with a connecting structure for connecting the thermostat and the power supply terminal of the electrode column.

【技术实现步骤摘要】

本技术属于真空器件测试
，具体是一种可拆卸的用于非蒸散型吸气剂吸气性能测试的样品室。
技术介绍
现有技术中，非蒸散型吸气剂吸气性能测试采用的样品室一般是玻璃材质的真空室。需要采用专业的玻璃工人玻封焊接样品室，在作业时候，是把吸气剂样品置于样品室内后，再对玻璃进行焊接。实践中，该方式较为繁琐，还需要特殊工艺对玻璃进行焊接，操作难度较高，样品室内真空度不易保证。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述问题，本技术提出一种可拆卸的用于非蒸散型吸气剂吸气性能测试的样品室，具体技术方案如下：一种可拆卸的用于非蒸散型吸气剂吸气性能测试的样品室，包括可拆卸连接的上下两部分；样品室上部分的结构为：包括电极芯柱、第一法兰和真空管道；所述第一法兰为电极法兰，在电极法兰上开有孔，孔的数量与电极芯柱的数量相同；电极芯柱焊接在可伐陶瓷芯柱内；陶瓷芯柱焊接在电极法兰上的孔内；电极法兰连接在真空管道上的第二法兰上；真空管道外接抽真空系统；样品室下部分的结构为：包括第四法兰、可伐环和石英玻璃材质的壳体，壳体的一端开口，另一端封闭；壳体的开口端与可伐环焊接；可伐环焊接在第四法兰上；第四法兰连接在真空管道上的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可拆卸的用于非蒸散型吸气剂吸气性能测试的样品室，其特征是包括可拆卸连接的上下两部分；样品室上部分的结构为：包括电极芯柱、第一法兰和真空管道；所述第一法兰为电极法兰，在电极法兰上开有孔，孔的数量与电极芯柱的数量相同；电极芯柱焊接在可伐陶瓷芯柱内；陶瓷芯柱焊接在电极法兰上的孔内；电极法兰连接在真空管道上的第二法兰上；真空管道外接抽真空系统；样品室下部分的结构为：包括第四法兰、可伐环和石英玻璃材质的壳体，壳体的一端开口，另一端封闭；壳体的开口端与可伐环焊接；可伐环焊接在第四法兰上；第四法兰连接在真空管道上的第三法兰上；所述第二法兰的轴线和第三法兰的轴线所成角度为钝角或180度角，或者两轴线平行；...

【技术特征摘要】
1.一种可拆卸的用于非蒸散型吸气剂吸气性能测试的样品室，其特征是包括可拆卸连接的上下两部分；样品室上部分的结构为：包括电极芯柱、第一法兰和真空管道；所述第一法兰为电极法兰，在电极法兰上开有孔，孔的数量与电极芯柱的数量相同；电极芯柱焊接在可伐陶瓷芯柱内；陶瓷芯柱焊接在电极法兰上的孔内；电极法兰连接在真空管道上的第二法兰上；真空管道外接抽真空系统；样品室下部分的结构为：包括第四法兰、可伐环和石英玻璃材质的壳体，壳体的一端开口，另一端封闭；壳体的开口端与可伐环焊接；可伐环焊接在第四法兰上；第四法兰连接在真空管道上的第三法兰上；所述第二法兰的轴线和第三法兰的轴线所成角度为钝角或180度角，或者两轴线平行；所述电极芯柱伸入到下样品室内，且电极芯柱的末端在壳体内；电极芯柱的末端连接有热偶丝的正负极；电极芯柱的首端设有用于连接温控器及电源端...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文一，陈军，石晓沛，
申请(专利权)人：南京益东惠电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32